טאַק קאָוטאַד גראַפיט רינג

VET ענערגיע פאָקוסירט אויף דער פאָרשונג און אַנטוויקלונג און פּראָדוקציע פון ​​הויך-פאָרשטעלונג CVD טאַנטאַלום קאַרבייד (TaC) באדעקטע גראַפיט רינגען, און איז באַגאַנגען צו צושטעלן קערן קאָנסומאַבלע מאַטעריאַל סאַלושאַנז פֿאַר האַלב-קאָנדוקטאָר, פאָטאָוואָלטאַיק און הויך-טעמפּעראַטור ינדאַסטריז. אונדזער זעלבסטשטענדיק דעוועלאָפּעד כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (CVD) טעכנאָלאָגיע פאָרמירט אַ געדיכטע און מונדיר טאַנטאַלום קאַרבייד קאָוטינג אויף דער ייבערפלאַך פון די גראַפיט סאַבסטראַט דורך פּינטלעכקייט פּראַסעסאַז, וואָס באַדייטנד ימפּרוווז די פּראָדוקט ס הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל (>3000 ℃), קעראָוזשאַן קעגנשטעל און טערמאַל קלאַפּ קעגנשטעל, פאַרלענגערן די דינסט לעבן מיט מער ווי 3 מאָל, און רעדוצירן קאַסטאַמערז פולשטענדיק קאָס.

אונדזערע טעכנישע מעלות:
1. הויך טעמפּעראַטור אַקסאַדיישאַן קעגנשטעל
אין אַ לופט אַטמאָספער פון 1200 ℃, איז די אַקסאַדיישאַן וואָג געווינען קורס ≤0.05 מג/קמ²/ה, וואָס איז מער ווי 3 מאָל די אַקסאַדיישאַן קעגנשטעל לעבן פון פּראָסט גראַפיט, און איז פּאַסיק פֿאַר הויך-פרעקווענץ היץ-קילונג ציקל באדינגונגען.
2. קעגנשטעל צו געשמאָלצן סיליקאָן/מעטאַל קעראָוזשאַן
טאַק קאָוטינג איז גאָר אינערט צו מעטאַלן ווי פליסיק סיליקאָן (1600 ℃), געשמאָלצן אַלומינום/קופּער, אאז"וו, און דאָס פאַרמייַדט סטרוקטורעלע דורכפאַל פון טראַדיציאָנעלע פירער רינגען צוליב מעטאַל דורכדרינגונג, ספּעציעל פּאַסיק פֿאַר מאַכט האַלב-קאָנדוקטאָרן און דריט-דור האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע.
3. אולטרא-נידעריקע פּאַרטיקל קאַנטאַמאַניישאַן
דער CVD פּראָצעס דערגרייכט אַ קאָוטינג געדיכטקייט פון >99.5% און אַ ייבערפלאַך ראַפנאַס פון Ra≤0.2μm, וואָס ראַדוסירט דעם ריזיקירן פון פּאַרטיקל אָפּפאַל פון דער מקור און טרעפט די שטרענגע ריינקייט רעקווירעמענץ פון 12-אינטש וועיפער פאַבריקאַנט.
4. פּינקטלעכע גרייס קאָנטראָל
מיט CNC פּרעציזיע מאַשינינג, די גרייס טאָלעראַנץ פון גראַפיט סאַבסטראַט איז ±0.01 מם, און די קוילעלדיקע דעפאָרמאַציע נאָך קאָוטינג איז <±5μm, וואָס איז פּאַסיק פֿאַר ינסטאַלירונג אין הויך-פּרעציזיע ויסריכט טשיימבערז.