TaC Coated Graphite Ring

VET Energy fokus ing R&D lan produksi CVD tantalum carbide (TaC) rings grafit ditutupi kinerja dhuwur, lan setya nyediakake solusi bahan consumable inti kanggo industri semikonduktor, photovoltaic lan suhu dhuwur. Teknologi deposisi uap kimia (CVD) sing dikembangake kanthi mandiri mbentuk lapisan karbida tantalum sing padhet lan seragam ing permukaan substrat grafit liwat proses presisi, kanthi nyata ningkatake resistensi suhu dhuwur produk (> 3000 ℃), tahan karat lan tahan kejut termal, ndawakake umur layanan luwih saka 3 kali, lan nyuda biaya komprehensif pelanggan.

Keuntungan teknis kami:
1. Resistance oksidasi suhu dhuwur
Ing atmosfer udhara 1200 ℃, tingkat gain bobot oksidasi yaiku ≤0.05mg / cm² / h, sing luwih saka 3 kaping umur resistance oksidasi grafit biasa, lan cocok kanggo kahanan siklus pemanasan-pendingin frekuensi dhuwur.
2. Resistance kanggo molten silikon / karat logam
Lapisan TaC arang banget inert kanggo logam kayata silikon cair (1600 ℃), aluminium / tembaga molten, lan sapiturute, ngindhari kegagalan struktur cincin pandhuan tradisional amarga penetrasi logam, utamane cocok kanggo semikonduktor daya lan manufaktur semikonduktor generasi katelu.
3. Kontaminasi partikel ultra-kurang
Proses CVD entuk Kapadhetan lapisan> 99.5% lan kekasaran permukaan Ra≤0.2μm, nyuda resiko partikel partikel saka sumber lan nyukupi syarat kebersihan sing ketat saka manufaktur wafer 12 inci.
4. Kontrol ukuran sing tepat
Ngadopsi mesin presisi CNC, toleransi ukuran substrat grafit yaiku ± 0.01mm, lan deformasi sakabèhé sawise lapisan <± 5μm, sing cocok kanggo instalasi ing kamar peralatan kanthi tliti dhuwur.