חברת VET Energy מתמקדת במחקר ופיתוח וייצור של טבעות גרפיט מצופות טנטלום קרביד (TaC) בעלות ביצועים גבוהים בציפוי CVD, ומחויבת לספק פתרונות חומרי צריכה מרכזיים לתעשיות מוליכים למחצה, פוטו-וולטאיות וטמפרטורה גבוהה. טכנולוגיית שקיעת אדים כימית (CVD) שפותחה באופן עצמאי שלנו יוצרת ציפוי טנטלום קרביד צפוף ואחיד על פני מצע הגרפיט באמצעות תהליכים מדויקים, ומשפרת משמעותית את עמידות המוצר בטמפרטורות גבוהות (>3000℃), את עמידותו בפני קורוזיה ואת עמידותו בפני הלם תרמי, מאריכה את חיי השירות ביותר מפי 3 ומפחיתה את עלויות הלקוחות.
היתרונות הטכניים שלנו:
1. עמידות בפני חמצון בטמפרטורה גבוהה
באטמוספירה של 1200 ℃, קצב עלייה במשקל החמצון הוא ≤0.05 מ"ג/סמ"ר/שעה, שהוא יותר מפי 3 מאורך חיי ההתנגדות לחמצון של גרפיט רגיל, והוא מתאים לתנאי מחזור חימום-קירור בתדירות גבוהה.
2. עמידות בפני קורוזיה של סיליקון מותך/מתכת
ציפוי TaC אינרטי ביותר למתכות כגון סיליקון נוזלי (1600℃), אלומיניום/נחושת מותכת וכו', ומונע כשל מבני של טבעות הנחיה מסורתיות עקב חדירת מתכת, מתאים במיוחד לייצור מוליכים למחצה להספק וייצור מוליכים למחצה מהדור השלישי.
3. זיהום חלקיקים נמוך במיוחד
תהליך ה-CVD משיג צפיפות ציפוי של >99.5% וחספוס פני שטח של Ra≤0.2μm, מה שמפחית את הסיכון לנשירת חלקיקים מהמקור ועומד בדרישות הניקיון המחמירות של יצרני פרוסות 12 אינץ'.
4. בקרת גודל מדויקת
אימוץ עיבוד שבבי מדויק CNC, סבילות הגודל של מצע הגרפיט היא ±0.01 מ"מ, והעיוות הכולל לאחר הציפוי הוא <±5 מיקרומטר, המתאים להתקנה בתאי ציוד מדויקים.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 תכונות פיזיקליות של טאק שִׁכבָה | |
| 密度צפיפות | 14.3 (גרם/סמ"ק) |
| 比辐射率 פליטה ספציפית | 0.3 |
| 热膨胀系数 מקדם התפשטות תרמית | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ קשיות (HK) | 2000 הונג קונגי |
| 电阻 / התנגדות | 1×10-5 אוהם*ס"מ |
| 热稳定性 יציבות תרמית | <2500 ℃ |
| 石墨尺寸变化 שינויים בגודל הגרפיט | 10-~20 מיקרון |
| 涂层厚度 עובי ציפוי | ערך טיפוסי של ≥30 מיקרון (35 מיקרון ± 10 מיקרון) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd היא מפעל היי-טק המתמקד בפיתוח וייצור של חומרים מתקדמים באיכות גבוהה. החומרים והטכנולוגיה כוללים גרפיט, סיליקון קרביד, קרמיקה, טיפולי שטח כמו ציפוי SiC, ציפוי TaC, ציפוי פחמן זכוכיתי, ציפוי פחמן פירוליטי וכו'. מוצרים אלה נמצאים בשימוש נרחב בתחומי הפוטו-וולטאית, מוליכים למחצה, אנרגיה חדשה, מטלורגיה וכו'.
הצוות הטכני שלנו מגיע ממוסדות מחקר מקומיים מובילים, ופיתח מספר טכנולוגיות פטנטיות כדי להבטיח ביצועי מוצר ואיכות, ויכול גם לספק ללקוחות פתרונות חומרים מקצועיים.
