VET Energy einbeitir sér að rannsóknum og þróun og framleiðslu á háafköstum CVD tantalkarbíðhúðuðum grafíthringjum (TaC) og hefur skuldbundið sig til að bjóða upp á lausnir fyrir kjarnanotkunarefni fyrir hálfleiðara-, sólarorku- og háhitaiðnað. Sjálfstætt þróaða efnagufuútfellingartækni okkar (CVD) myndar þétta og einsleita tantalkarbíðhúð á yfirborði grafítundirlagsins með nákvæmum ferlum, sem bætir verulega viðnám vörunnar gegn háum hita (>3000℃), tæringarþol og hitaáfallsþol, lengir endingartíma um meira en þrefalt og lækkar heildarkostnað viðskiptavina.
Tæknilegir kostir okkar:
1. Oxunarþol við háan hita
Í lofthjúpi við 1200°C er oxunarþyngdaraukningin ≤0,05 mg/cm²/klst., sem er meira en þrisvar sinnum oxunarþolstími venjulegs grafíts og hentar því fyrir hátíðni hitunar- og kælingarhringrásarskilyrði.
2. Viðnám gegn tæringu bráðins kísils/málms
TaC húðun er afar óvirk gagnvart málmum eins og fljótandi sílikoni (1600℃), bráðnu áli/kopar o.s.frv., sem kemur í veg fyrir byggingarbilun í hefðbundnum leiðarhringjum vegna málmgegndræpi, sérstaklega hentug fyrir aflgjafaframleiðslu og framleiðslu á þriðju kynslóð hálfleiðara.
3. Mjög lítil agnamengun
CVD ferlið nær húðunarþéttleika >99,5% og yfirborðsgrófleika Ra≤0,2μm, sem dregur úr hættu á agnalosun frá upptökum og uppfyllir strangar hreinlætiskröfur framleiðenda 12 tommu skífu.
4. Nákvæm stærðarstýring
Með nákvæmri CNC vinnslu er stærðarþol grafít undirlagsins ±0,01 mm og heildaraflögunin eftir húðun er <±5 μm, sem hentar til uppsetningar í nákvæmum búnaðarklefum.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Eðliseiginleikar TaC húðun | |
| 密度/ Þéttleiki | 14,3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Sértæk útgeislun | 0,3 |
| 热膨胀系数 / Varmaþenslustuðull | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Hörku (HK) | 2000 Hong Kong dollara |
| 电阻 / Viðnám | 1×10-5 Óm*cm |
| 热稳定性 / Hitastöðugleiki | <2500 ℃ |
| 石墨尺寸变化 / Breytingar á grafítstærð | -10~-20µm |
| 涂层厚度 / Þykkt húðunar | ≥30µm dæmigert gildi (35µm ± 10µm) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd er hátæknifyrirtæki sem einbeitir sér að þróun og framleiðslu á hágæða efnum, þar á meðal grafíti, kísilkarbíði, keramik, yfirborðsmeðferð eins og SiC húðun, TaC húðun, glerkenndum kolefnishúðun, hitaleiðandi kolefnishúðun o.s.frv., þessar vörur eru mikið notaðar í ljósorku, hálfleiðurum, nýrri orku, málmvinnslu o.s.frv.
Tækniteymi okkar kemur frá fremstu innlendum rannsóknarstofnunum og hefur þróað margar einkaleyfisverndaðar tækni til að tryggja afköst og gæði vörunnar og getur einnig veitt viðskiptavinum faglegar efnislausnir.
