TaC менен капталган графит шакекчеси

VET Energy компаниясы жогорку өндүрүмдүүлүктөгү CVD тантал карбиди (TaC) менен капталган графит шакекчелерин изилдөө жана иштеп чыгууга жана өндүрүүгө басым жасайт жана жарым өткөргүч, фотоэлектрдик жана жогорку температурадагы тармактар ​​үчүн негизги керектелүүчү материалдык чечимдерди камсыз кылууга умтулат. Биздин көз карандысыз иштелип чыккан химиялык буу чөктүрүү (CVD) технологиясы тактык процесстери аркылуу графит субстратынын бетинде тыгыз жана бирдей тантал карбиди каптоосун түзөт, бул продуктунун жогорку температурага туруктуулугун (>3000℃), коррозияга туруктуулугун жана термикалык соккуга туруктуулугун бир кыйла жакшыртат, кызмат мөөнөтүн 3 эседен ашык узартат жана кардарлардын комплекстүү чыгымдарын азайтат.

Биздин техникалык артыкчылыктарыбыз:
1. Жогорку температурадагы кычкылданууга туруктуулук
1200℃ аба атмосферасында кычкылдануу салмак кошуу ылдамдыгы ≤0,05 мг/см²/саат түзөт, бул кадимки графиттин кычкылданууга туруктуулук мөөнөтүнөн 3 эседен ашык жана жогорку жыштыктагы жылытуу-муздатуу циклинин шарттарына ылайыктуу.
2. Эриген кремнийдин/металдын коррозиясына туруктуулугу
TaC каптоосу суюк кремний (1600℃), эритилген алюминий/жез ж.б. сыяктуу металлдарга өтө инерттүү, бул металлдын тешилишинен улам салттуу жетектөөчү шакекчелердин структуралык бузулушун алдын алат, айрыкча электр өткөргүчтөрүн жана үчүнчү муундагы жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү үчүн ылайыктуу.
3. Өтө аз бөлүкчөлөр менен булгануу
CVD процесси каптоо тыгыздыгын >99,5% жана беттик бүдүрлүгүн Ra≤0,2μm кылат, бул булактан бөлүкчөлөрдүн төгүлүп кетүү коркунучун азайтат жана 12 дюймдук пластина өндүрүүчүнүн катуу тазалык талаптарына жооп берет.
4. Так өлчөмдү көзөмөлдөө
CNC так иштетүүнү кабыл алуу менен, графит субстратынын өлчөмүнө чыдамдуулук ±0,01 мм, ал эми каптагандан кийинки жалпы деформация <±5 мкм, бул жогорку тактыктагы жабдуулардын камераларына орнотууга ылайыктуу.