VET ఎనర్జీ అధిక పనితీరు గల CVD టాంటలమ్ కార్బైడ్ (TaC) పూత పూసిన గ్రాఫైట్ రింగుల పరిశోధన, అభివృద్ధి మరియు ఉత్పత్తిపై దృష్టి సారిస్తుంది. అలాగే సెమీకండక్టర్, ఫోటోవోల్టాయిక్ మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత పరిశ్రమలకు కీలకమైన వినియోగ పదార్థాల పరిష్కారాలను అందించడానికి కట్టుబడి ఉంది. మేము స్వతంత్రంగా అభివృద్ధి చేసిన కెమికల్ వేపర్ డిపోజిషన్ (CVD) సాంకేతికత, కచ్చితమైన ప్రక్రియల ద్వారా గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై దట్టమైన మరియు ఏకరీతి టాంటలమ్ కార్బైడ్ పూతను ఏర్పరుస్తుంది. ఇది ఉత్పత్తి యొక్క అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత (>3000℃), తుప్పు నిరోధకత మరియు థర్మల్ షాక్ నిరోధకతను గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తుంది, దాని సేవా జీవితాన్ని 3 రెట్లకు పైగా పొడిగిస్తుంది మరియు వినియోగదారుల సమగ్ర ఖర్చులను తగ్గిస్తుంది.
మా సాంకేతిక ప్రయోజనాలు:
1. అధిక ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ నిరోధకత
1200℃ గాలి వాతావరణంలో, ఆక్సీకరణ బరువు పెరుగుదల రేటు ≤0.05mg/cm²/h ఉంటుంది, ఇది సాధారణ గ్రాఫైట్ యొక్క ఆక్సీకరణ నిరోధక జీవితం కంటే 3 రెట్లు ఎక్కువ, మరియు అధిక-ఫ్రీక్వెన్సీ తాపన-శీతలీకరణ చక్ర పరిస్థితులకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
2. కరిగిన సిలికాన్/లోహ తుప్పుకు నిరోధకత
TaC పూత ద్రవ సిలికాన్ (1600℃), కరిగిన అల్యూమినియం/రాగి మొదలైన లోహాల పట్ల అత్యంత జడమైనది, ఇది లోహం చొచ్చుకుపోవడం వల్ల సాంప్రదాయ గైడ్ రింగ్ల నిర్మాణ వైఫల్యాన్ని నివారిస్తుంది, ప్రత్యేకించి పవర్ సెమీకండక్టర్లు మరియు మూడవ తరం సెమీకండక్టర్ల తయారీకి ఇది అనుకూలంగా ఉంటుంది.
3. అతి తక్కువ కణ కాలుష్యం
CVD ప్రక్రియ 99.5% కంటే ఎక్కువ పూత సాంద్రతను మరియు Ra≤0.2μm ఉపరితల గరుకుదనాన్ని సాధిస్తుంది, దీనివల్ల మూలం నుండి కణాలు రాలిపోయే ప్రమాదం తగ్గుతుంది మరియు 12-అంగుళాల వేఫర్ తయారీ యొక్క కఠినమైన శుభ్రత అవసరాలను తీరుస్తుంది.
4. ఖచ్చితమైన పరిమాణ నియంత్రణ
CNC ప్రెసిషన్ మెషీనింగ్ను అవలంబించడం వల్ల, గ్రాఫైట్ సబ్స్ట్రేట్ యొక్క సైజు టాలరెన్స్ ±0.01mmగా ఉంటుంది మరియు కోటింగ్ తర్వాత మొత్తం డిఫార్మేషన్ <±5μmగా ఉంటుంది, ఇది అధిక-ఖచ్చితత్వ పరికరాల చాంబర్లలో ఇన్స్టాలేషన్కు అనుకూలంగా ఉంటుంది.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 భౌతిక లక్షణాలు టాక్ పూత | |
| 密度/ సాంద్రత | 14.3 (గ్రా/సెం.మీ³) |
| 比辐射率 / నిర్దిష్ట ఉద్గారత | 0.3 |
| 热膨胀系数 / ఉష్ణ వ్యాకోచ గుణకం | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ కాఠిన్యం (HK) | 2000 HK |
| 电阻 / నిరోధకత | 1×10-5 ఓం*సెం.మీ |
| 热稳定性 ఉష్ణ స్థిరత్వం | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 గ్రాఫైట్ పరిమాణ మార్పులు | -10~-20um |
| 涂层厚度 పూత మందం | ≥30um సాధారణ విలువ (35um±10um) |
నింగ్బో VET ఎనర్జీ టెక్నాలజీ కో., లిమిటెడ్ అనేది ఉన్నత స్థాయి అధునాతన పదార్థాల అభివృద్ధి మరియు ఉత్పత్తిపై దృష్టి సారించే ఒక హై-టెక్ సంస్థ. గ్రాఫైట్, సిలికాన్ కార్బైడ్, సిరామిక్స్, SiC కోటింగ్, TaC కోటింగ్, గ్లాసీ కార్బన్ కోటింగ్, పైరోలిటిక్ కార్బన్ కోటింగ్ మొదలైన ఉపరితల చికిత్స వంటి పదార్థాలు మరియు సాంకేతికత ఈ సంస్థ యొక్క ఉత్పత్తులలో ఉన్నాయి. ఈ ఉత్పత్తులు ఫోటోవోల్టాయిక్, సెమీకండక్టర్, నూతన శక్తి, లోహశాస్త్రం మొదలైన రంగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడతాయి.
మా సాంకేతిక బృందం దేశీయ అగ్రశ్రేణి పరిశోధనా సంస్థల నుండి వచ్చింది మరియు ఉత్పత్తి పనితీరు, నాణ్యతను నిర్ధారించడానికి అనేక పేటెంట్ పొందిన సాంకేతికతలను అభివృద్ధి చేసింది, అలాగే వినియోగదారులకు వృత్తిపరమైన మెటీరియల్ పరిష్కారాలను కూడా అందించగలదు.
