Nakatuon ang VET Energy sa R&D at produksyon ng mga high-performance na CVD tantalum carbide (TaC) coated graphite rings, at nakatuon sa pagbibigay ng mga pangunahing consumable material solution para sa mga industriyang semiconductor, photovoltaic at mataas na temperatura. Ang aming independiyenteng binuo na chemical vapor deposition (CVD) na teknolohiya ay bumubuo ng isang siksik at pare-parehong tantalum carbide coating sa ibabaw ng graphite substrate sa pamamagitan ng mga proseso ng katumpakan, na makabuluhang pinapabuti ang mataas na temperatura ng produkto (>3000℃), corrosion resistance at thermal shock resistance, pagpapahaba ng buhay ng serbisyo nang higit sa 3 beses, at binabawasan ang mga komprehensibong gastos ng mga customer.
Ang aming mga teknikal na pakinabang:
1. Mataas na temperatura paglaban sa oksihenasyon
Sa air atmosphere na 1200 ℃, ang oxidation weight gain rate ay ≤0.05mg/cm²/h, na higit sa 3 beses ang oxidation resistance ng ordinaryong grapayt, at angkop para sa high-frequency na heating-cooling cycle na kondisyon.
2. Paglaban sa tunaw na silikon/metal corrosion
Ang TaC coating ay sobrang inert sa mga metal gaya ng liquid silicon (1600℃), molten aluminum/copper, atbp., iniiwasan ang structural failure ng tradisyonal na guide rings dahil sa metal penetration, lalo na angkop para sa power semiconductors at third-generation semiconductor manufacturing.
3. Napakababang kontaminasyon ng butil
Ang proseso ng CVD ay nakakakuha ng coating density na >99.5% at isang pagkamagaspang sa ibabaw na Ra≤0.2μm, na binabawasan ang panganib ng pagbuhos ng particle mula sa pinagmulan at nakakatugon sa mahigpit na mga kinakailangan sa kalinisan ng 12-inch wafer manufacturin.
4. Tiyak na kontrol sa laki
Ang pag-adopt ng CNC precision machining, ang size tolerance ng graphite substrate ay ±0.01mm, at ang kabuuang deformation pagkatapos ng coating ay <±5μm, na angkop para sa pag-install sa mga high-precision equipment chamber.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Mga katangiang pisikal ng TaC patong | |
| 密度/ Densidad | 14.3 (g/cm³) |
| 比辐射率 / Partikular na emissivity | 0.3 |
| 热膨胀系数 / Thermal expansion coefficient | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Katigasan (HK) | 2000 HK |
| 电阻 / Paglaban | 1×10-5 Ohm*cm |
| 热稳定性 / Thermal na katatagan | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / Mga pagbabago sa laki ng graphite | -10~-20um |
| 涂层厚度 / Kapal ng patong | ≥30um karaniwang halaga (35um±10um) |
Ang Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd ay isang high-tech na enterprise na nakatuon sa pagbuo at produksyon ng mga high-end na advanced na materyales, ang mga materyales at teknolohiya kabilang ang graphite, silicon carbide, ceramics, surface treatment tulad ng SiC coating, TaC coating, glassy carbon coating, pyrolytic carbon coating, atbp., ang mga produktong ito ay malawakang ginagamit sa photovoltaic, semiconductor, new energy, etc.
Ang aming teknikal na koponan ay nagmula sa mga nangungunang institusyong pananaliksik sa loob ng bansa, at nakabuo ng maraming patented na teknolohiya upang matiyak ang pagganap at kalidad ng produkto, ay maaari ding magbigay sa mga customer ng mga propesyonal na solusyon sa materyal.
