TaC bilan qoplangan grafit halqasi

VET Energy yuqori samarali CVD tantal karbid (TaC) bilan qoplangan grafit halqalarini ilmiy-tadqiqot va ishlab chiqarishga e'tibor qaratadi va yarimo'tkazgich, fotovoltaik va yuqori haroratli sanoat uchun asosiy sarflanadigan material yechimlarini taqdim etishga sodiqdir. Bizning mustaqil ravishda ishlab chiqilgan kimyoviy bug' cho'ktirish (CVD) texnologiyamiz aniq jarayonlar orqali grafit substrati yuzasida zich va bir xil tantal karbid qoplamasini hosil qiladi, bu mahsulotning yuqori haroratga chidamliligini (>3000℃), korroziyaga chidamliligini va termal zarbaga chidamliligini sezilarli darajada yaxshilaydi, xizmat muddatini 3 baravardan ortiqqa uzaytiradi va mijozlarning keng qamrovli xarajatlarini kamaytiradi.

Bizning texnik afzalliklarimiz:
1. Yuqori haroratli oksidlanishga chidamlilik
1200 ℃ havo atmosferasida oksidlanish vaznining ortish tezligi ≤0,05 mg/sm²/soatni tashkil qiladi, bu oddiy grafitning oksidlanishga chidamlilik muddatidan 3 baravar ko'p va yuqori chastotali isitish-sovutish sikli sharoitlariga mos keladi.
2. Eritilgan kremniy/metall korroziyasiga chidamlilik
TaC qoplamasi suyuq kremniy (1600℃), eritilgan alyuminiy/mis va boshqalar kabi metallarga juda inert bo'lib, metallning kirib borishi tufayli an'anaviy yo'naltiruvchi halqalarning strukturaviy buzilishining oldini oladi, ayniqsa quvvat yarimo'tkazgichlari va uchinchi avlod yarimo'tkazgichlarini ishlab chiqarish uchun mos keladi.
3. Juda past zarrachalar ifloslanishi
CVD jarayoni qoplama zichligi >99,5% va sirt pürüzlülüğü Ra≤0,2μm ga erishadi, bu esa zarrachalarning manbadan to'kilish xavfini kamaytiradi va 12 dyuymli plastinka ishlab chiqaruvchisining qat'iy tozalik talablariga javob beradi.
4. Aniq o'lchamlarni boshqarish
CNC aniq ishlov berishni qo'llash orqali grafit substratining o'lchamga bardoshliligi ± 0,01 mm ni tashkil qiladi va qoplamadan keyingi umumiy deformatsiya <± 5 μm bo'lib, bu yuqori aniqlikdagi uskunalar kameralariga o'rnatish uchun mos keladi.