VET Energy фәнни-тикшеренү эшенә һәм югары җитештерүчән CVD тантал карбид (TaC) капланган графит боҗраларын җитештерүгә юнәлтелгән, һәм ярымүткәргеч, фотоволтаик һәм югары температуралы тармаклар өчен төп кулланыла торган материаль карарлар бирергә әзер. Безнең мөстәкыйль эшләнгән химик пар парламенты (CVD) технологиясе төгәл процесслар аша графит субстрат өслегендә тыгыз һәм бердәм тантал карбид каплавын формалаштыра, продуктның югары температурасына каршы торуны сизелерлек яхшырта, коррозиягә каршы һәм җылылык шокына каршы тора, хезмәт срогын 3 тапкырга арттыра, һәм клиентларның чыгымнарын киметә.
Безнең техник өстенлекләр:
1. temperatureгары температураның оксидлашу каршылыгы
1200 һава атмосферасында оксидлашуның авырлыгы ≤0.05мг / см² / с тәшкил итә, бу гади графитның оксидлашуга каршы тору вакытыннан 3 тапкырга артыграк, һәм югары ешлыктагы җылыту-суыту циклы шартларына яраклы.
2. Эретелгән кремнийга / металл коррозиягә каршы тору
TaC капламы сыек кремний (1600 ℃), эретелгән алюминий / бакыр һ.б. кебек металлларга бик инерт, металл үтеп керү аркасында традицион юл күрсәткечләренең структур уңышсызлыгын булдырмый, аеруча электр ярымүткәргечләре һәм өченче буын ярымүткәргеч җитештерү өчен яраклы.
3. Ультра түбән кисәкчәләрнең пычрануы
CVD процессы каплау тыгызлыгына> 99,5% һәм Ra≤0.2μm өслегенең тупаслыгына ирешә, чыганактан кисәкчәләр түгү куркынычын киметә һәм 12 дюймлы вафер җитештерүченең катгый чисталык таләпләренә җавап бирә.
4. Төгәл үлчәм белән идарә итү
CNC төгәл эшкәртү кабул итү, графит субстратның зурлыгы толерантлыгы ± 0.01 мм, һәм капланганнан соң гомуми деформация <± 5μm, ул югары төгәл җиһаз бүлмәләренә урнаштыру өчен яраклы.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 Физик үзлекләре TaC каплау | |
| 密度/ Тыгызлыгы | 14.3 (г / см³) |
| 比辐射率 / Конкрет эмиссивлык | 0.3 |
| 热膨胀系数 / Rылылык киңәйтү коэффициенты | 6.3 10-6/K |
| 努氏硬度/ Каты (HK) | 2000 ХК |
| 电阻 / Каршылык | 1 × 10-5 Ом * см |
| 热稳定性 / Rылылык тотрыклылыгы | <2500 ℃ |
| 石墨尺寸变化 / Графит зурлыгы үзгәрә | -10 ~ -20ум |
| 涂层厚度 / Катлам калынлыгы | ≥30ум типик кыйммәт (35ум ± 10ум) |
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd - югары технологияле предприятия, югары дәрәҗәдәге алдынгы материаллар, графит, кремний карбид, керамика, материаллар һәм технологияләр, SiC каплау кебек өслек эшкәртү, TaC каплау, пыяла углерод каплау, пиролитик углерод каплау һ.б.
Безнең техник коллектив иң яхшы эчке тикшеренү институтларыннан килә, һәм продукт җитештерүчәнлеген һәм сыйфатын тәэмин итү өчен күп патентланган технологияләр уйлап тапты, шулай ук клиентларга профессиональ материаль чишелешләр бирә ала.
