VET एनर्जी उच्च-कार्यक्षमता असलेल्या CVD टॅंटलम कार्बाइड (TaC) लेपित ग्रेफाइट रिंग्जच्या संशोधन आणि विकास आणि उत्पादनावर लक्ष केंद्रित करते आणि सेमीकंडक्टर, फोटोव्होल्टेइक आणि उच्च-तापमान उद्योगांसाठी मुख्य उपभोग्य सामग्री उपाय प्रदान करण्यासाठी वचनबद्ध आहे. आमचे स्वतंत्रपणे विकसित रासायनिक वाष्प निक्षेपण (CVD) तंत्रज्ञान अचूक प्रक्रियांद्वारे ग्रेफाइट सब्सट्रेटच्या पृष्ठभागावर दाट आणि एकसमान टॅंटलम कार्बाइड कोटिंग तयार करते, उत्पादनाच्या उच्च तापमान प्रतिरोधकतेत (>3000℃), गंज प्रतिरोधकता आणि थर्मल शॉक प्रतिरोधात लक्षणीय सुधारणा करते, सेवा आयुष्य 3 पटीने वाढवते आणि ग्राहकांच्या व्यापक खर्चात घट करते.
आमचे तांत्रिक फायदे:
१. उच्च तापमान ऑक्सिडेशन प्रतिरोध
१२००℃ तापमानाच्या हवेच्या वातावरणात, ऑक्सिडेशन वजन वाढीचा दर ≤०.०५mg/cm²/तास असतो, जो सामान्य ग्रेफाइटच्या ऑक्सिडेशन प्रतिरोधक आयुष्याच्या ३ पट जास्त असतो आणि उच्च-फ्रिक्वेन्सी हीटिंग-कूलिंग सायकल परिस्थितीसाठी योग्य असतो.
२. वितळलेल्या सिलिकॉन/धातूच्या गंजाला प्रतिकार
TaC कोटिंग द्रव सिलिकॉन (१६००℃), वितळलेले अॅल्युमिनियम/तांबे इत्यादी धातूंसाठी अत्यंत निष्क्रिय आहे, धातूच्या प्रवेशामुळे पारंपारिक मार्गदर्शक रिंग्जचे स्ट्रक्चरल बिघाड टाळते, विशेषतः पॉवर सेमीकंडक्टर आणि तिसऱ्या पिढीच्या सेमीकंडक्टर उत्पादनासाठी योग्य.
३. अति-कमी कण दूषितता
CVD प्रक्रियेमुळे कोटिंगची घनता >९९.५% आणि पृष्ठभागाची खडबडीतपणा Ra≤०.२μm प्राप्त होते, ज्यामुळे स्त्रोतापासून कण गळण्याचा धोका कमी होतो आणि १२-इंच वेफर उत्पादकाच्या कडक स्वच्छतेच्या आवश्यकता पूर्ण होतात.
४. अचूक आकार नियंत्रण
सीएनसी प्रिसिजन मशीनिंगचा अवलंब केल्याने, ग्रेफाइट सब्सट्रेटची आकार सहनशीलता ±0.01 मिमी आहे आणि कोटिंगनंतर एकूण विकृती <±5μm आहे, जी उच्च-परिशुद्धता उपकरण चेंबरमध्ये स्थापनेसाठी योग्य आहे.
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 चे भौतिक गुणधर्म टॅक लेप | |
| 密度/ घनता | १४.३ (ग्रॅम/सेमी³) |
| 比辐射率 / विशिष्ट उत्सर्जनशीलता | ०.३ |
| 热膨胀系数 / औष्णिक विस्तार गुणांक | ६.३ १०-6/K |
| 努氏硬度/ कडकपणा (HK) | २००० हाँगकाँग |
| 电阻 / प्रतिकार | १×१०-5 ओम*सेमी |
| 热稳定性 / थर्मल स्थिरता | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化 / ग्रेफाइट आकार बदल | -१०~-२० मिनिटे |
| 涂层厚度 / कोटिंग जाडी | ≥३०um सामान्य मूल्य (३५um±१०um) |
निंगबो व्हीईटी एनर्जी टेक्नॉलॉजी कंपनी लिमिटेड ही एक उच्च-तंत्रज्ञान कंपनी आहे जी उच्च-स्तरीय प्रगत साहित्य, ग्रेफाइट, सिलिकॉन कार्बाइड, सिरॅमिक्स, पृष्ठभाग उपचार जसे की SiC कोटिंग, TaC कोटिंग, काचेचे कार्बन कोटिंग, पायरोलिटिक कार्बन कोटिंग इत्यादींच्या विकास आणि उत्पादनावर लक्ष केंद्रित करते. ही उत्पादने फोटोव्होल्टेइक, सेमीकंडक्टर, नवीन ऊर्जा, धातूशास्त्र इत्यादींमध्ये मोठ्या प्रमाणात वापरली जातात.
आमची तांत्रिक टीम शीर्ष देशांतर्गत संशोधन संस्थांमधून येते आणि त्यांनी उत्पादनाची कार्यक्षमता आणि गुणवत्ता सुनिश्चित करण्यासाठी अनेक पेटंट तंत्रज्ञान विकसित केले आहे, ग्राहकांना व्यावसायिक साहित्य उपाय देखील प्रदान करू शकतात.
