SiC капталган графит жарым ай бөлүгүжарым өткөргүч өндүрүш процесстеринде, өзгөчө SiC эпитаксиалдык жабдуулар үчүн колдонулган негизги компоненти болуп саналат. Биз патенттелген технологиябыздын жарым ай бөлүгүн өтө жогорку тазалыкка, жакшы жабуунун бирдейлигине жана эң сонун кызмат мөөнөтүнө, ошондой эле жогорку химиялык туруктуулукка жана жылуулукка туруктуулукка ээ кылуу үчүн колдонобуз.
Негизги материал: жогорку тазалыктагы графит
Тазалык талаптары:көмүртек мазмуну ≥99,99%, күл мазмуну ≤5ppm, жогорку температурада эпитаксиалдык катмарды булгаш үчүн эч кандай аралашмалар тунабасын камсыз кылуу.
Иштин артыкчылыктары:
Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк:Бөлмө температурасында жылуулук өткөрүмдүүлүк 150 Вт/(м・К) жетет, бул жездин деңгээлине жакын жана жылуулукту тез өткөрө алат.
Төмөн кеңейүү коэффициенти:5×10-6/℃ (25-1000℃), кремний карбидинин субстратына (4,2×10) дал келет-6/℃), термикалык стресстен келип чыккан жабуунун жаракаларын азайтат.
Иштетүү тактыгы:± 0,05 мм өлчөмдүү сабырдуулук камеранын мөөр басылышын камсыз кылуу үчүн CNC иштетүү аркылуу жетишилет.
CVD SiC жана CVD TaCтин дифференцияланган колдонмолору
| Каптоо | Процесс | Салыштыруу | Типтүү колдонуу |
| CVD-SiC | Температура: 1000-1200℃Басым: 10-100 Торр | Катуулугу HV2500, калыңдыгы 50-100um, кычкылданууга эң сонун каршылык (1600℃ден төмөн туруктуу) | Суутек жана силан сыяктуу кадимки атмосферага ылайыктуу универсалдуу эпитаксиалдык мештер |
| CVD-TaC | Температура: 1600-1800℃Басым: 1-10 Торр | Катуулугу HV3000, калыңдыгы 20-50um, коррозияга өтө туруктуу (HCl, NH₃ ж.б. сыяктуу коррозиялык газдарга туруштук бере алат) | Жогорку коррозияга дуушар болгон чөйрөлөр (мисалы, GaN эпитаксиясы жана оюу жабдуулары) же 2600°C өтө жогорку температураны талап кылган атайын процесстер |
Сапатты текшерүү
Каптоо калыңдыгы: лазердик калыңдык өлчөгүч (тактык ± 1um) же SEM кесилишинин анализи.
Байланыш күчү: чийүү сыноо (критикалык жүк > 50N) же УЗИ сыноо (үн ылдамдыгы > 5000m/s).
Коррозияга туруктуулугу: массанын жоготуу ылдамдыгы (<0,1 мг/см²・h) HCl атмосферасында (5 көлөм%, 1600℃) сыналган.
VET Energy – бул графит, кремний карбиди, кварц, ошондой эле SiC каптоо, TaC каптоо, айнек сымал көмүртек каптоо, пиролиттик көмүртек каптоо, ж.б. сыяктуу материалды дарылоодо R&D жана өндүрүшкө багытталган профессионалдуу өндүрүүчү. Продукциялар фотоэлектрдик, жарым өткөргүч, жаңы энергия, металлургияда кеңири колдонулат.
Биздин техникалык команда жогорку ата мекендик изилдөө институттарынан келет, силер үчүн көбүрөөк кесиптик материалдык чечимдерди камсыз кыла алат.
VET Energy артыкчылыктары төмөнкүлөрдү камтыйт:
• Өздүк фабрика жана кесиптик лаборатория;
• Өнөр жайдын алдыңкы тазалык деңгээли жана сапаты;
• атаандаштык баасы & Fast жеткирүү убактысы;
• Дүйнө жүзү боюнча бир нече тармактык өнөктөштүк;
Биз сизди каалаган убакта биздин фабрикага жана лабораторияга келүүгө чакырабыз!
