SiC менен капталган графит жарым ай бөлүгүжарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процесстеринде, айрыкча SiC эпитаксиалдык жабдууларында колдонулган негизги компонент болуп саналат. Биз өтө жогорку тазалыкка, жакшы каптоо бирдейлигине жана эң сонун кызмат мөөнөтүнө, ошондой эле жогорку химиялык каршылыкка жана термикалык туруктуулукка ээ жарым ай бөлүгүн жасоо үчүн патенттелген технологиябызды колдонобуз.
Негизги материал: жогорку тазалыктагы графит
Тазалык талаптары:көмүртектин курамы ≥99.99%, күлдүн курамы ≤5ppm, бул жогорку температурада эпитаксиалдык катмарды булгаган кошулмалардын чөкпөшүн камсыз кылат.
Аткаруу артыкчылыктары:
Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүгү:Бөлмө температурасында жылуулук өткөрүмдүүлүгү 150 Вт/(м・К) жетет, бул жездин деңгээлине жакын жана жылуулукту тез өткөрө алат.
Төмөн кеңейүү коэффициенти:5×10-6/℃ (25-1000℃), кремний карбидинин субстратына дал келет (4.2×10-6/℃), жылуулук стрессинен улам каптаманын жарака кетишин азайтат.
Иштетүүнүн тактыгы:Камеранын герметикалуулугун камсыз кылуу үчүн CNC иштетүү аркылуу ±0,05 мм өлчөмдүү толеранттуулукка жетишилет.
CVD SiC жана CVD TaC дифференциацияланган колдонулуштары
| Каптоо | Процесс | Салыштыруу | Типтүү колдонуу |
| CVD-SiC | Температура: 1000-1200℃ Басым: 10-100 Торр | Катуулугу HV2500, калыңдыгы 50-100 мкм, кычкылданууга эң сонун туруктуу (1600℃ төмөн туруктуу) | Суутек жана силан сыяктуу кадимки атмосферага ылайыктуу универсалдуу эпитаксиалдык мештер |
| CVD-TaC | Температура: 1600-1800℃ Басым: 1-10 Торр | Катуулугу HV3000, калыңдыгы 20-50 мкм, коррозияга өтө туруктуу (HCl, NH₃ ж.б. сыяктуу коррозиялык газдарга туруштук бере алат) | Өтө коррозиялык чөйрөлөр (мисалы, GaN эпитаксиясы жана оюу жабдуулары) же 2600°C өтө жогорку температураны талап кылган атайын процесстер |
Сапатты текшерүү
Каптоо калыңдыгы: лазердик калыңдык өлчөгүч (тактыгы ±1 мкм) же SEM кесилишинин анализи.
Байланыштын бекемдиги: чийилгендикти текшерүү (критикалык жүктөм > 50Н) же ультраүндүү текшерүү (үн ылдамдыгы > 5000м/с).
Коррозияга туруктуулук: массалык жоготуу ылдамдыгы (<0.1 мг/см²·саат) HCl атмосферасында (5 көлөм, 1600℃) сыналган.
VET Energy – графит, кремний карбиди, кварц сыяктуу жогорку класстагы материалдарды изилдөө жана иштеп чыгууга, ошондой эле SiC каптоо, TaC каптоо, айнек сымал көмүртек каптоо, пиролитикалык көмүртек каптоо ж.б. сыяктуу материалдарды иштетүүгө багытталган кесипкөй өндүрүүчү. Бул продукциялар фотоэлектрдик, жарым өткөргүчтөр, жаңы энергетика, металлургия ж.б. тармактарда кеңири колдонулат.
Биздин техникалык команда алдыңкы ата мекендик изилдөө институттарынан келип, сиз үчүн кесипкөй материалдык чечимдерди сунуштай алат.
VET Energy артыкчылыктары төмөнкүлөрдү камтыйт:
• Өздүк завод жана кесипкөй лаборатория;
• Тармакта алдыңкы тазалык деңгээли жана сапаты;
• Атаандаштыкка жөндөмдүү баа жана тез жеткирүү убактысы;
• Дүйнө жүзү боюнча бир нече тармактык өнөктөштүк;
Биз сизди каалаган убакта биздин заводго жана лабораторияга келүүгө чакырабыз!
