Grafiet Substraat Wafer Houer vir PECVD

Kort beskrywing:

VET Energy se Grafiet Substraat Houer is ontwerp om waferbelyning en stabiliteit dwarsdeur die PECVD-proses te handhaaf, wat kontaminasie voorkom en die risiko van skade verminder. Die Grafiet Wafer Houer bied 'n veilige, egalige platform wat verseker dat wafers eweredig aan die plasma blootgestel word vir konsekwente en hoëgehalte-afsetting. Met sy hoë termiese geleidingsvermoë en uitsonderlike sterkte, help hierdie houer om die algehele prosesdoeltreffendheid en produkprestasie te verbeter.

Stuur e-pos aan ons Laai af as PDF

Produkbesonderhede

Produk-etikette

Die VET Energy Grafiet Substraat Wafelhouer is 'n presisiedraer wat ontwerp is vir die PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) proses. Hierdie hoëgehalte Grafiet Substraathouer is gemaak van hoë suiwerheid, hoë digtheid grafietmateriaal, met uitstekende hoë temperatuur weerstand, korrosiebestandheid, dimensionele stabiliteit en ander eienskappe. Dit kan 'n stabiele ondersteuningsplatform vir die PECVD proses bied en die eenvormigheid en platheid van filmafsetting verseker.

VET Energy PECVD-proses grafietwafelondersteuningstafel het die volgende eienskappe:

▪Hoë suiwerheid:uiters lae onsuiwerheidsinhoud, vermy besoedeling van film, verseker filmkwaliteit.

▪Hoë digtheid:hoë digtheid, hoë meganiese sterkte, kan hoë temperatuur en hoë druk PECVD-omgewing weerstaan.

▪Goeie dimensionele stabiliteit:klein dimensionele verandering by hoë temperatuur, wat prosesstabiliteit verseker.

▪Uitstekende termiese geleidingsvermoë:dra hitte effektief oor om oorverhitting van die wafer te voorkom.

▪Sterk korrosiebestandheid:kan erosie deur verskeie korrosiewe gasse en plasma weerstaan.

▪Gepasmaakte diens:Grafietondersteuningstafels van verskillende groottes en vorms kan volgens die kliënt se behoeftes aangepas word.

Produkvoordele

▪Verbeter filmkwaliteit:Verseker eenvormige filmafsetting en verbeter filmkwaliteit.

▪Verleng toerusting se lewensduur:Uitstekende korrosiebestandheid, verleng die lewensduur van PECVD-toerusting.

▪Verminder produksiekoste:Hoëgehalte-grafietbakke kan die afvalkoers verminder en produksiekoste verlaag.

Grafietmateriaal van SGL:

Tipiese parameter: R6510
Indeks	Toetsstandaard	Waarde	Eenheid
Gemiddelde korrelgrootte	ISO 13320	10	μm
Grootmaatdigtheid	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Oop porositeit	DIN66133	10	%
Medium poriegrootte	DIN66133	1.8	μm
Deurlaatbaarheid	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell-hardheid HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spesifieke elektriese weerstand	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Buigsterkte	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Druksterkte	DIN 51910	130	MPa
Young se modulus	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Termiese uitbreiding (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Termiese geleidingsvermoë (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Dit is spesifiek ontwerp vir hoë-doeltreffendheid sonselvervaardiging, wat G12 grootskaalse waferverwerking ondersteun. Geoptimaliseerde draerontwerp verhoog die deurset aansienlik, wat hoër opbrengskoerse en laer produksiekoste moontlik maak.

Item	Tipe	Nommerwafeldraer
PEVCD Grephite-boot - Die 156-reeks	156-13 grepietboot	144
	156-19 grepietboot	216
	156-21 grepietboot	240
	156-23 grafietboot	308
PEVCD Grephite-boot - Die 125-reeks	125-15 grepietboot	196
	125-19 grepietboot	252
	125-21 grafietboot	280