VET Energy grafitsubstrathållare är en precisionsbärare designad för PECVD-processen (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Denna högkvalitativa grafitsubstrathållare är tillverkad av högrent grafitmaterial med hög densitet, med utmärkt högtemperaturbeständighet, korrosionsbeständighet, dimensionsstabilitet och andra egenskaper. Den kan ge en stabil stödplattform för PECVD-processen och säkerställa enhetlighet och planhet i filmavsättningen.
VET Energy PECVD-processgrafitskivsstödbord har följande egenskaper:
▪Hög renhet:extremt lågt innehåll av föroreningar, undvik kontaminering av filmen, säkerställ filmkvalitet.
▪Hög densitet:hög densitet, hög mekanisk hållfasthet, tål hög temperatur och högt tryck i PECVD-miljöer.
▪God dimensionsstabilitet:liten dimensionsförändring vid hög temperatur, vilket säkerställer processstabilitet.
▪Utmärkt värmeledningsförmåga:överför effektivt värme för att förhindra överhettning av wafern.
▪Stark korrosionsbeständighet:kan motstå erosion från olika korrosiva gaser och plasma.
▪Anpassad tjänst:Grafitstödbord i olika storlekar och former kan anpassas efter kundens behov.
Produktfördelar
▪Förbättra filmkvaliteten:Säkerställ jämn filmavsättning och förbättra filmkvaliteten.
▪Förläng utrustningens livslängd:Utmärkt korrosionsbeständighet, förlänger livslängden för PECVD-utrustning.
▪Minska produktionskostnaderna:Högkvalitativa grafitbrickor kan minska kassationshastigheten och produktionskostnaderna.
Grafitmaterial från SGL:
| Typisk parameter: R6510 | |||
| Index | Teststandard | Värde | Enhet |
| Genomsnittlig kornstorlek | ISO 13320 | 10 | μm |
| Skrymdensitet | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm²3 |
| Öppen porositet | DIN66133 | 10 | % |
| Medelstor porstorlek | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Permeabilitet | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell-hårdhet HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Specifik elektrisk resistivitet | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Böjhållfasthet | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Tryckhållfasthet | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Youngs modul | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Termisk expansion (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
| Värmeledningsförmåga (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Den är specifikt utformad för högeffektiv tillverkning av solceller och stöder bearbetning av stora G12-wafers. Optimerad bärardesign ökar genomströmningen avsevärt, vilket möjliggör högre avkastning och lägre produktionskostnader.
| Punkt | Typ | Nummerskivorbärare |
| PEVCD Grephite-båt - 156-serien | 156-13 grefitbåt | 144 |
| 156-19 grefitbåt | 216 | |
| 156-21 grefitbåt | 240 | |
| 156-23 grafitbåt | 308 | |
| PEVCD Grephite-båt - 125-serien | 125-15 grefitbåt | 196 |
| 125-19 grefitbåt | 252 | |
| 125-21 grafitbåt | 280 |
