PECVD အတွက် ဂရပ်ဖိုက်အလွှာဝေဖာကိုင်ဆောင်သူ

အကျဉ်းချုပ်ဖော်ပြချက်:

VET Energy ရဲ့ Graphite Substrate Holder ကို PECVD လုပ်ငန်းစဉ်တစ်လျှောက်လုံး wafer alignment နဲ့ တည်ငြိမ်မှုကို ထိန်းသိမ်းဖို့၊ ညစ်ညမ်းမှုကို ကာကွယ်ပေးပြီး ပျက်စီးမှုအန္တရာယ်ကို အနည်းဆုံးဖြစ်အောင် ပြုလုပ်ပေးဖို့ ဒီဇိုင်းထုတ်ထားပါတယ်။ Graphite Wafer Holder က လုံခြုံပြီး ညီညာတဲ့ platform တစ်ခုကို ပေးစွမ်းတာကြောင့် wafers တွေဟာ တသမတ်တည်းနဲ့ အရည်အသွေးမြင့် deposition အတွက် plasma နဲ့ ညီညာစွာထိတွေ့နေစေဖို့ သေချာစေပါတယ်။ ၎င်းရဲ့ အပူစီးကူးနိုင်စွမ်းမြင့်မားမှုနဲ့ ထူးခြားတဲ့ခိုင်ခံ့မှုကြောင့် ဒီ holder ဟာ လုပ်ငန်းစဉ်တစ်ခုလုံးရဲ့ စွမ်းဆောင်ရည်နဲ့ ထုတ်ကုန်စွမ်းဆောင်ရည်ကို တိုးတက်ကောင်းမွန်စေပါတယ်။


ထုတ်ကုန်အသေးစိတ်

ထုတ်ကုန် တဂ်များ

VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder သည် PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသော တိကျသော သယ်ဆောင်ကိရိယာတစ်ခုဖြစ်သည်။ ဤအရည်အသွေးမြင့် Graphite Substrate Holder ကို မြင့်မားသောသန့်စင်မှု၊ သိပ်သည်းဆမြင့်မားသော ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်းဖြင့် ပြုလုပ်ထားပြီး အပူချိန်မြင့်မားစွာခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း၊ ချေးခံနိုင်ရည်ရှိခြင်း၊ အတိုင်းအတာတည်ငြိမ်မှုနှင့် အခြားဝိသေသလက္ခဏာများ အလွန်ကောင်းမွန်ပါသည်။ ၎င်းသည် PECVD လုပ်ငန်းစဉ်အတွက် တည်ငြိမ်သောပံ့ပိုးမှုပလက်ဖောင်းကို ပေးစွမ်းနိုင်ပြီး ဖလင်အနည်ထိုင်မှု၏ တသမတ်တည်းနှင့် ပြားချပ်ချပ်ဖြစ်မှုကို သေချာစေပါသည်။

VET Energy PECVD လုပ်ငန်းစဉ် ဂရပ်ဖိုက်ဝေဖာထောက်ပံ့စားပွဲတွင် အောက်ပါဝိသေသလက္ခဏာများရှိသည်။

မြင့်မားသော သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှု:မသန့်ရှင်းမှုပါဝင်မှု အလွန်နည်းပါးခြင်း၊ ဖလင်ညစ်ညမ်းမှုကို ရှောင်ရှားခြင်း၊ ဖလင်အရည်အသွေးကို သေချာစေသည်။

သိပ်သည်းဆမြင့်မားခြင်း:သိပ်သည်းဆမြင့်မားခြင်း၊ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာခိုင်ခံ့မှုမြင့်မားခြင်း၊ မြင့်မားသောအပူချိန်နှင့် မြင့်မားသောဖိအား PECVD ပတ်ဝန်းကျင်ကို ခံနိုင်ရည်ရှိသည်။

ကောင်းမွန်သော အတိုင်းအတာ တည်ငြိမ်မှု:မြင့်မားသောအပူချိန်တွင် သေးငယ်သောအတိုင်းအတာပြောင်းလဲမှုကြောင့် လုပ်ငန်းစဉ်တည်ငြိမ်မှုကိုသေချာစေသည်။

အလွန်ကောင်းမွန်သော အပူစီးကူးနိုင်စွမ်း:ဝေဖာအပူလွန်ကဲခြင်းကို ကာကွယ်ရန် အပူကို ထိရောက်စွာလွှဲပြောင်းပေးသည်။

ခိုင်မာသော ချေးခံနိုင်ရည်ရှိမှု:အမျိုးမျိုးသော ချေးတက်စေသော ဓာတ်ငွေ့များနှင့် ပလာစမာများမှ တိုက်စားမှုကို ခုခံနိုင်သည်။

စိတ်ကြိုက်ဝန်ဆောင်မှု:ဖောက်သည်လိုအပ်ချက်များအရ အရွယ်အစားနှင့်ပုံသဏ္ဍာန်အမျိုးမျိုးရှိသော ဂရပ်ဖိုက်ထောက်ပံ့မှုစားပွဲများကို စိတ်ကြိုက်ပြင်ဆင်နိုင်ပါသည်။

ထုတ်ကုန်အားသာချက်များ

ရုပ်ရှင်အရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ပါ-ဖလင်တစ်ပြေးညီ စုပုံခြင်းကို သေချာစေပြီး ဖလင်အရည်အသွေးကို မြှင့်တင်ပါ။

စက်ပစ္စည်းသက်တမ်းတိုးပါ-ချေးခံနိုင်ရည် အလွန်ကောင်းမွန်ပြီး PECVD ပစ္စည်းများ၏ ဝန်ဆောင်မှုသက်တမ်းကို တိုးချဲ့ပေးပါသည်။

ထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်များကို လျှော့ချပါ-အရည်အသွေးမြင့် ဂရပ်ဖိုက်ဗန်းများသည် စွန့်ပစ်နှုန်းကို လျှော့ချပေးပြီး ထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်များကို လျှော့ချပေးနိုင်ပါသည်။

SGL မှ ဂရပ်ဖိုက်ပစ္စည်း-

ပုံမှန် parameter: R6510

အညွှန်းကိန်း စမ်းသပ်စံနှုန်း တန်ဖိုး ယူနစ်
ပျမ်းမျှအစေ့အရွယ်အစား ISO ၁၃၃၂၀ ၁၀ μm
အစုလိုက်သိပ်သည်းဆ DIN IEC 60413/204 ၁.၈၃ ဂရမ်/စင်တီမီတာ3
ပွင့်လင်းသော porosity DIN66133 ၁၀ %
အပေါက်အရွယ်အစား အလယ်အလတ် DIN66133 ၁.၈ μm
စိမ့်ဝင်နိုင်မှု DIN ၅၁၉၃၅ ၀.၀၆ စင်တီမီတာ²/စက္ကန့်
ရော့ခ်ဝဲလ် မာကျောမှု HR5/100 DIN IEC60413/303 ၉၀ HR
သီးခြားလျှပ်စစ်ခုခံမှု DIN IEC 60413/402 ၁၃ μΩm
ကွေးညွှတ်နိုင်သော အစွမ်းသတ္တိ DIN IEC 60413/501 60 MPa
ဖိသိပ်အား DIN ၅၁၉၁၀ ၁၃၀ MPa
ယန်းရဲ့ မော်ဂျူး DIN 51915 ၁၁.၅ × ၁၀³ MPa
အပူချဲ့ထွင်မှု (၂၀-၂၀၀ ℃) DIN 51909 ၄.၂X၁၀-6 K-1
အပူစီးကူးနိုင်စွမ်း (၂၀ ℃) DIN 51908 ၁၀၅ Wm-1K-1

၎င်းကို G12 အရွယ်အစားကြီးမားသော wafer လုပ်ငန်းစဉ်ကို ပံ့ပိုးပေးသည့် မြင့်မားသောစွမ်းဆောင်ရည်ရှိသော ဆိုလာဆဲလ်ထုတ်လုပ်ရန်အတွက် အထူးဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည်။ အကောင်းဆုံးဖြစ်အောင်ပြုလုပ်ထားသော carrier ဒီဇိုင်းသည် throughput ကို သိသိသာသာတိုးမြှင့်ပေးပြီး အထွက်နှုန်းမြင့်မားစေပြီး ထုတ်လုပ်မှုကုန်ကျစရိတ်များကို လျှော့ချပေးပါသည်။

ဂရပ်ဖိုက်လှေ
ပစ္စည်း အမျိုးအစား နံပါတ်ဝေဖာသယ်ဆောင်သူ
PEVCD Grephite လှေ - ၁၅၆ စီးရီး ၁၅၆-၁၃ ဂရပ်ဖိုက်လှေ ၁၄၄
၁၅၆-၁၉ ဂရပ်ဖိုက်လှေ ၂၁၆
၁၅၆-၂၁ ဂရပ်ဖိုက်လှေ ၂၄၀
၁၅၆-၂၃ ဂရပ်ဖိုက်လှေ ၃၀၈
PEVCD Grephite လှေ - 125 စီးရီး ၁၂၅-၁၅ ဂရပ်ဖိုက်လှေ ၁၉၆
၁၂၅-၁၉ ဂရပ်ဖိုက်လှေ ၂၅၂
၁၂၅-၂၁ ဂရပ်ဖိုက်လှေ ၂၈၀
ထုတ်ကုန်အားသာချက်များ
VET Energy ရဲ့ စီးပွားရေးပူးပေါင်းဆောင်ရွက်မှု

  • ယခင်:
  • နောက်တစ်ခု:

  • WhatsApp အွန်လိုင်းချတ်!