Графитен държач за пластини за PECVD

Кратко описание:

Държачът за графитни подложки на VET Energy е проектиран да поддържа подравняването и стабилността на пластините по време на целия PECVD процес, предотвратявайки замърсяване и минимизирайки риска от повреда. Държачът за графитни пластини осигурява сигурна и равна платформа, гарантираща, че пластините са равномерно изложени на плазмата за постоянно и висококачествено отлагане. С високата си топлопроводимост и изключителна здравина, този държач спомага за подобряване на цялостната ефективност на процеса и производителността на продукта.

Изпратете ни имейл Изтегляне като PDF

Детайли за продукта

Етикети на продукти

Държачът за графитни пластини VET Energy е прецизен държач, проектиран за PECVD (плазмено усилено химическо отлагане от пари) процес. Този висококачествен държач за графитни пластини е изработен от високочист графитен материал с висока плътност, с отлична устойчивост на високи температури, устойчивост на корозия, размерна стабилност и други характеристики. Той може да осигури стабилна опорна платформа за PECVD процеса и да гарантира равномерност и плоскост на отлагането на филма.

Поддържащата маса за графитни пластини VET Energy PECVD процес има следните характеристики:

▪Висока чистота:изключително ниско съдържание на примеси, избягване на замърсяване на филма, гарантиране на качеството на филма.

▪Висока плътност:висока плътност, висока механична якост, може да издържи на висока температура и високо налягане в PECVD среда.

▪Добра размерна стабилност:малка промяна в размерите при висока температура, осигуряваща стабилност на процеса.

▪Отлична топлопроводимост:ефективно пренасят топлината, за да предотвратят прегряване на пластината.

▪Силна устойчивост на корозия:може да устои на ерозия от различни корозивни газове и плазма.

▪Персонализирано обслужване:Графитните опорни маси с различни размери и форми могат да бъдат персонализирани според нуждите на клиента.

Предимства на продукта

▪Подобряване на качеството на филма:Осигурете равномерно отлагане на филма и подобрете качеството му.

▪Удължете живота на оборудването:Отлична устойчивост на корозия, удължава експлоатационния живот на PECVD оборудването.

▪Намалете производствените разходи:Висококачествените графитни тави могат да намалят процента на брак и да намалят производствените разходи.

Графитен материал от SGL:

Типичен параметър: R6510
Индекс	Стандарт за изпитване	Стойност	Единица
Среден размер на зърната	ISO 13320	10	μm
Насипна плътност	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Отворена порьозност	DIN66133	10	%
Среден размер на порите	DIN66133	1.8	μm
Пропускливост	ДИН 51935	0,06	см²/с
Твърдост по Рокуел HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Специфично електрическо съпротивление	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Якост на огъване	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Якост на натиск	ДИН 51910	130	МПа
Модул на Юнг	ДИН 51915	11,5×10³	МПа
Термично разширение (20-200℃)	ДИН 51909	4.2X10^-6	K^-1
Топлопроводимост (20℃)	ДИН 51908	105	Wm^-1K^-1

Той е специално проектиран за производство на високоефективни слънчеви клетки, поддържайки обработка на големи пластини G12. Оптимизираният дизайн на носачите значително увеличава производителността, което позволява по-високи нива на добив и по-ниски производствени разходи.

Елемент	Тип	Номер на носител на пластина
PEVCD Grephite лодка - серия 156	156-13 грефитна лодка	144
	156-19 грефитова лодка	216
	156-21 грефитова лодка	240
	156-23 графитна лодка	308
PEVCD Grephite лодка - серия 125	125-15 грефитова лодка	196
	125-19 грефитова лодка	252
	125-21 графитна лодка	280