Kishikilia Kaki cha Grafiti kwa PECVD

Kishikilia Kaki cha Grafiti kwa ajili ya PECVD Picha Iliyoangaziwa

Maelezo Mafupi:

Kishikiliaji cha Grafiti cha VET Energy kimeundwa ili kudumisha mpangilio na uthabiti wa wafer katika mchakato mzima wa PECVD, kuzuia uchafuzi na kupunguza hatari ya uharibifu. Kishikiliaji cha Grafiti hutoa jukwaa salama na sawasawa, kuhakikisha kwamba wafers zinawekwa wazi kwa plasma kwa uwekaji thabiti na wa ubora wa juu. Kwa upitishaji wake wa joto la juu na nguvu ya kipekee, kishikiliaji hiki husaidia kuboresha ufanisi wa mchakato mzima na utendaji wa bidhaa.

Tutumie barua pepe Pakua kama PDF

Maelezo ya Bidhaa

Lebo za Bidhaa

Kishikiliaji cha Grafiti ya Nishati ya VET ni kibebaji cha usahihi kilichoundwa kwa ajili ya mchakato wa PECVD (Uwekaji wa Mvuke wa Kemikali wa Plasma Enhanced Chemical). Kishikiliaji hiki cha Grafiti ya ubora wa juu kimetengenezwa kwa nyenzo za grafiti zenye usafi wa juu, zenye msongamano mkubwa, zenye upinzani bora wa halijoto ya juu, upinzani wa kutu, uthabiti wa vipimo na sifa zingine. Kinaweza kutoa jukwaa thabiti la usaidizi kwa mchakato wa PECVD na kuhakikisha usawa na ulalo wa uwekaji wa filamu.

Jedwali la usaidizi wa wafer ya grafiti ya mchakato wa VET Energy PECVD lina sifa zifuatazo:

▪Usafi wa hali ya juu:kiwango cha uchafu mdogo sana, epuka uchafuzi wa filamu, hakikisha ubora wa filamu.

▪Msongamano mkubwa:msongamano mkubwa, nguvu ya juu ya mitambo, inaweza kuhimili halijoto ya juu na shinikizo la juu la mazingira ya PECVD.

▪Utulivu mzuri wa vipimo:mabadiliko madogo ya vipimo kwenye joto la juu, kuhakikisha uthabiti wa mchakato.

▪Upitishaji bora wa joto:huhamisha joto kwa ufanisi ili kuzuia joto kupita kiasi kwenye wafer.

▪Upinzani mkubwa wa kutu:inaweza kupinga mmomonyoko unaosababishwa na gesi mbalimbali babuzi na plasma.

▪Huduma maalum:Meza za usaidizi wa grafiti za ukubwa na maumbo tofauti zinaweza kubinafsishwa kulingana na mahitaji ya wateja.

Faida za Bidhaa

▪Boresha ubora wa filamu:Hakikisha uwekaji wa filamu sawa na uboresha ubora wa filamu.

▪Ongeza muda wa matumizi ya vifaa:Upinzani bora wa kutu, huongeza muda wa huduma wa vifaa vya PECVD.

▪Punguza gharama za uzalishaji:Trei za grafiti zenye ubora wa juu zinaweza kupunguza kiwango cha chakavu na kupunguza gharama za uzalishaji.

Nyenzo ya grafiti kutoka SGL:

Kigezo cha kawaida: R6510
Kielezo	Kiwango cha majaribio	Thamani	Kitengo
Ukubwa wa wastani wa nafaka	ISO 13320	10	μm
Msongamano wa wingi	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Unyevu wazi	DIN66133	10	%
Ukubwa wa wastani wa vinyweleo	DIN66133	1.8	μm
Upenyezaji	DIN 51935	0.06	sentimita²/sekunde
Ugumu wa Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Upinzani maalum wa umeme	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Nguvu ya kunyumbulika	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Nguvu ya kubana	DIN 51910	130	MPa
Moduli ya Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Upanuzi wa joto (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Upitishaji joto (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Imeundwa mahsusi kwa ajili ya utengenezaji wa seli za jua zenye ufanisi mkubwa, ikisaidia usindikaji wa wafer kubwa wa G12. Ubunifu ulioboreshwa wa mbebaji huongeza kwa kiasi kikubwa uzalishaji, na kuwezesha viwango vya juu vya mavuno na gharama za chini za uzalishaji.

Bidhaa	Aina	Mbebaji wa nambari ya wafer
Boti ya PEVCD Grephite - Mfululizo wa 156	156-13 mashua ya grephite	144
	156-19 mashua ya grephite	216
	156-21 mashua ya grephite	240
	Boti ya grafiti 156-23	308
Boti ya PEVCD Grephite - Mfululizo wa 125	Boti ya grephite 125-15	196
	Boti ya grephite 125-19	252
	Boti ya grifiti 125-21	280