Држач за графитна подлога за PECVD

Краток опис:

Држачот за графитна подлога на VET Energy е дизајниран да го одржува порамнувањето и стабилноста на плочките во текот на целиот процес на PECVD, спречувајќи контаминација и минимизирајќи го ризикот од оштетување. Држачот за графитна подлога обезбедува безбедна, рамномерна платформа, осигурувајќи дека плочките се рамномерно изложени на плазмата за конзистентно и висококвалитетно таложење. Со својата висока топлинска спроводливост и исклучителна цврстина, овој држач помага да се подобри целокупната ефикасност на процесот и перформансите на производот.

Испратете ни е-пошта Преземи како PDF

Детали за производот

Ознаки на производи

Држачот за графитна подлога VET Energy е прецизен носач дизајниран за процесот PECVD (плазматски подобрено хемиско таложење со пареа). Овој висококвалитетен држач за графитна подлога е направен од графитен материјал со висока чистота и висока густина, со одлична отпорност на високи температури, отпорност на корозија, димензионална стабилност и други карактеристики. Може да обезбеди стабилна платформа за поддршка за процесот PECVD и да обезбеди униформност и рамномерност на таложењето на филмот.

Потпорната маса од графитен плофл од VET Energy PECVD процес има следниве карактеристики:

▪Висока чистота:екстремно ниска содржина на нечистотии, избегнувајте контаминација на филмот, обезбедувајте квалитет на филмот.

▪Висока густина:висока густина, висока механичка цврстина, може да издржи висока температура и висок притисок PECVD средина.

▪Добра димензионална стабилност:мала димензионална промена на висока температура, обезбедувајќи стабилност на процесот.

▪Одлична топлинска спроводливост:ефикасно пренесување на топлината за да се спречи прегревање на плочката.

▪Силна отпорност на корозија:може да се спротивстави на ерозијата од разни корозивни гасови и плазма.

▪Прилагодена услуга:Графитните потпорни маси со различни големини и форми можат да се прилагодат според потребите на клиентот.

Предности на производот

▪Подобрете го квалитетот на филмот:Обезбедете рамномерно таложење на филмот и подобрете го квалитетот на филмот.

▪Продолжете го животниот век на опремата:Одлична отпорност на корозија, го продолжува работниот век на PECVD опремата.

▪Намалете ги трошоците за производство:Висококвалитетните графитни послужавници можат да ја намалат стапката на отпад и да ги намалат трошоците за производство.

Графитен материјал од SGL:

Типичен параметар: R6510
Индекс	Стандард за тестирање	Вредност	Единица
Просечна големина на зрно	ISO 13320	10	μm
Густина на волуменот	ДИН IEC 60413/204	1,83	г/см³
Отворена порозност	DIN66133	10	%
Средна големина на порите	DIN66133	1,8	μm
Пропустливост	ДИН 51935	0,06	см²/с
Тврдост на Роквел HR5/100	ДИН IEC60413/303	90	HR
Специфичен електричен отпор	ДИН IEC 60413/402	13	μΩm
Јачина на свиткување	ДИН IEC 60413/501	60	МПа
Компресивна цврстина	ДИН 51910	130	МПа
Јангов модул	ДИН 51915	11,5×10³	МПа
Термичка експанзија (20-200℃)	ДИН 51909	4,2X10^-6	K^-1
Топлинска спроводливост (20℃)	ДИН 51908	105	Wm^-1K^-1

Специјално е дизајниран за производство на високоефикасни соларни ќелии, поддржувајќи обработка на големи плочки G12. Оптимизираниот дизајн на носачот значително го зголемува протокот, овозможувајќи повисоки стапки на принос и пониски трошоци за производство.

Ставка	Тип	Број на носач на плочи
PEVCD Грефитен чамец - Серијата 156	156-13 грефитен чамец	144
	156-19 грефитен чамец	216
	156-21 грефитен чамец	240
	156-23 графитен чамец	308
PEVCD Грефитен чамец - Серијата 125	125-15 грефитен чамец	196
	125-19 грефитен чамец	252
	125-21 графитен брод	280