Xwediyê Waferê ya Bingeha Grafîtê ji bo PECVD

Wêneya Taybetmendî ya Girêdera Waferê ya Bingeha Grafîtê ji bo PECVD

Danasîna Kurt:

Girêdera Substratê ya Grafîtê ya VET Energy ji bo parastina hevrêziya wafer û aramiya wê di tevahiya pêvajoya PECVD de hatiye çêkirin, pêşî li gemarbûnê digire û xetera zirarê kêm dike. Girêdera Wafer a Grafîtê platformek ewle û wekhev peyda dike, û piştrast dike ku wafer bi rengek wekhev li hember plazmayê têne danîn ji bo danîna domdar û bi kalîte. Bi rêberiya xwe ya germî ya bilind û hêza xwe ya bêhempa, ev girder dibe alîkar ku karîgeriya pêvajoyê ya giştî û performansa hilberê baştir bibe.

Ji me re e-nameyek bişînin Dakêşin wek PDF

Hûrguliyên Berhemê

Etîketên Berheman

Girêdera Wafla Grafîtê ya VET Energy hilgirek rasteqîn e ku ji bo pêvajoya PECVD (Depozîtoya Buxara Kîmyewî ya Bi Plazmaya Zêdekirî) hatiye çêkirin. Ev Girêdera Substrata Grafîtê ya bi kalîte bilind ji materyalê grafîtê yê paqijiya bilind û densiteya bilind hatiye çêkirin, bi berxwedana germahiya bilind, berxwedana korozyonê, aramiya pîvanî û taybetmendiyên din ên hêja. Ew dikare platformek piştgirî ya aram ji bo pêvajoya PECVD peyda bike û yekrengî û rûtbûna depozîtoya fîlmê misoger bike.

Tabloya piştgiriya waflên grafîtê ya pêvajoya VET Energy PECVD xwedî taybetmendiyên jêrîn e:

▪Paqijiya bilind:naveroka nepakiyê pir kêm e, ji qirêjbûna fîlimê dûr bisekinin, kalîteya fîlimê misoger bikin.

▪Densiteya bilind:dendika bilind, hêza mekanîkî ya bilind, dikare li hember germahiya bilind û zexta bilind li hember jîngeha PECVD bisekine.

▪Stabîlîteya baş a boyûtê:guherîna pîvanek piçûk di germahiya bilind de, ku aramiya pêvajoyê misoger dike.

▪Gehîneriya germî ya hêja:bi bandor germê veguhezîne da ku pêşî li germbûna zêde ya waferê bigire.

▪Berxwedana korozyonê ya bihêz:dikare li hember erozyonê ji hêla gazên korozîf û plazmaya cûrbecûr ve li ber xwe bide.

▪Xizmeta xwerûkirî:Tabloyên piştgiriya grafîtê yên bi mezinahî û şeklên cûda dikarin li gorî hewcedariyên xerîdar werin xweş kirin.

Avantajên Berhemê

▪Kalîteya fîlmê baştir bikin:Dabeşkirina fîlimê ya yekreng misoger bikin û kalîteya fîlimê baştir bikin.

▪Jiyana amûrê dirêj bike:Berxwedana korozyonê ya hêja, temenê karûbarê alavên PECVD dirêj dike.

▪Mesrefên hilberînê kêm bikin:Tepsiyên grafîtê yên bi kalîte bilind dikarin rêjeya bermayiyê kêm bikin û lêçûnên hilberînê kêm bikin.

Materyalê grafîtê ji SGL:

Parametreya tîpîk: R6510
Naverok	Standarda ceribandinê	Giranî	Yekbûn
Mezinahiya navînî ya genim	ISO 13320	10	μm
Tîrbûna girseyî	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porozîteya vekirî	DIN66133	10	%
Mezinahiya porên navîn	DIN66133	1.8	μm
Permeability	DIN 51935	0.06	cm²/s
Hişkbûna Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Berxwedana elektrîkê ya taybetî	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Hêza xwarbûnê	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Hêza zextê	DIN 51910	130	MPa
Modula Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Berfirehbûna germî (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Germahiya guhêrbar (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ew bi taybetî ji bo çêkirina şaneyên rojê yên bi karîgeriya bilind hatiye sêwirandin, ku piştgirî dide pêvajoya waferên mezin ên G12. Sêwirana hilgirê çêtirînkirî bi girîngî hilberînê zêde dike, rêjeyên berhemdariyê yên bilindtir û lêçûnên hilberînê yên kêmtir dike.

Şanî	Awa	Hilgirê waferê yê hejmarî
Qeyika Grephite ya PEVCD - Rêzeya 156	qeyika grefît a 156-13	144
	qeyika grefît a 156-19	216
	qeyika grefît a 156-21	240
	Qeyika grafîtê 156-23	308
Qeyika Grephite ya PEVCD - Seriya 125	Qeyika grefît a 125-15	196
	Qeyika grefît a 125-19	252
	qeyika grafît a 125-21	280