VET Energy Qrafit Substrat Plaf Tutucusu, PECVD (Plazma Gücləndirilmiş Kimyəvi Buxar Çökdürmə) prosesi üçün hazırlanmış dəqiq daşıyıcıdır. Bu yüksək keyfiyyətli Qrafit Substrat Tutucusu, əla yüksək temperatur müqavimətinə, korroziyaya davamlılığa, ölçülü sabitliyə və digər xüsusiyyətlərə malik yüksək təmizlikli, yüksək sıxlıqlı qrafit materialından hazırlanmışdır. PECVD prosesi üçün sabit bir dəstək platforması təmin edə və film çöküntüsünün vahidliyini və düzlüyünü təmin edə bilər.
VET Energy PECVD proses qrafit lövhə dayaq masası aşağıdakı xüsusiyyətlərə malikdir:
▪Yüksək təmizlik:son dərəcə aşağı çirk tərkibi, filmin çirklənməsinin qarşısını almaq, filmin keyfiyyətini təmin etmək.
▪Yüksək sıxlıq:yüksək sıxlıq, yüksək mexaniki möhkəmlik, yüksək temperatur və yüksək təzyiqli PECVD mühitinə tab gətirə bilər.
▪Yaxşı ölçülü sabitlik:yüksək temperaturda kiçik ölçülü dəyişiklik, prosesin sabitliyini təmin edir.
▪Əla istilik keçiriciliyi:lövhənin həddindən artıq istiləşməsinin qarşısını almaq üçün istiliyi effektiv şəkildə ötürün.
▪Güclü korroziyaya davamlılıq:müxtəlif korroziyalı qazlar və plazma ilə aşınmaya qarşı dura bilir.
▪Xüsusi xidmət:Müxtəlif ölçülü və formalı qrafit dəstək masaları müştəri ehtiyaclarına uyğun olaraq fərdiləşdirilə bilər.
Məhsulun üstünlükləri
▪Film keyfiyyətini yaxşılaşdırın:Filmin vahid şəkildə çəkilməsini təmin edin və filmin keyfiyyətini artırın.
▪Avadanlığın ömrünü uzatmaq:Əla korroziyaya davamlıdır, PECVD avadanlıqlarının xidmət müddətini uzadır.
▪İstehsal xərclərini azaldın:Yüksək keyfiyyətli qrafit qabları qırıntı nisbətini azalda və istehsal xərclərini azalda bilər.
SGL-dən qrafit materialı:
| Tipik parametr: R6510 | |||
| İndeks | Test standartı | Dəyər | Vahid |
| Orta taxıl ölçüsü | ISO 13320 | 10 | μm |
| Toplu sıxlıq | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | q/sm33 |
| Açıq məsaməlilik | DIN66133 | 10 | % |
| Orta məsamə ölçüsü | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Keçiricilik | DIN 51935 | 0.06 | sm²/s |
| Rokvell sərtliyi HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Xüsusi elektrik müqaviməti | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Bükülmə gücü | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Sıxılma gücü | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Yanq modulu | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| Termal genişlənmə (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| İstilik keçiriciliyi (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Xüsusilə yüksək səmərəli günəş batareyası istehsalı üçün hazırlanmışdır və G12 böyük ölçülü lövhə emalını dəstəkləyir. Optimallaşdırılmış daşıyıcı dizaynı məhsuldarlığı əhəmiyyətli dərəcədə artırır, daha yüksək məhsuldarlıq nisbətlərinə və daha aşağı istehsal xərclərinə imkan verir.
| Məhsul | Növü | Nömrə lövhəsi daşıyıcısı |
| PEVCD Qrefit qayığı - 156 seriyası | 156-13 qrefit qayığı | 144 |
| 156-19 qrefit qayığı | 216 | |
| 156-21 qrefit qayığı | 240 | |
| 156-23 qrafit qayığı | 308 | |
| PEVCD Qrefit qayığı - 125 seriyası | 125-15 qrefit qayığı | 196 |
| 125-19 qrefit qayığı | 252 | |
| 125-21 grphite qayığı | 280 |
