VET ಎನರ್ಜಿ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಸಬ್ಸ್ಟ್ರೇಟ್ ವೇಫರ್ ಹೋಲ್ಡರ್ PECVD (ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ವರ್ಧಿತ ರಾಸಾಯನಿಕ ಆವಿ ಶೇಖರಣೆ) ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾದ ನಿಖರ ವಾಹಕವಾಗಿದೆ. ಈ ಉತ್ತಮ-ಗುಣಮಟ್ಟದ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಸಬ್ಸ್ಟ್ರೇಟ್ ಹೋಲ್ಡರ್ ಅತ್ಯುತ್ತಮವಾದ ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ನಿರೋಧಕತೆ, ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ, ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆ ಮತ್ತು ಇತರ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿರುವ ಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆಯ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಸ್ತುವಿನಿಂದ ಮಾಡಲ್ಪಟ್ಟಿದೆ. ಇದು PECVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಗೆ ಸ್ಥಿರವಾದ ಬೆಂಬಲ ವೇದಿಕೆಯನ್ನು ಒದಗಿಸುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಮ್ ಶೇಖರಣೆಯ ಏಕರೂಪತೆ ಮತ್ತು ಚಪ್ಪಟೆತನವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
VET ಎನರ್ಜಿ PECVD ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವೇಫರ್ ಬೆಂಬಲ ಕೋಷ್ಟಕವು ಈ ಕೆಳಗಿನ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ:
▪ ▪ ದೃಷ್ಟಾಂತಗಳುಹೆಚ್ಚಿನ ಶುದ್ಧತೆ:ಅತ್ಯಂತ ಕಡಿಮೆ ಅಶುದ್ಧತೆ ಅಂಶ, ಫಿಲ್ಮ್ ಮಾಲಿನ್ಯವನ್ನು ತಪ್ಪಿಸಿ, ಫಿಲ್ಮ್ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಿ.
▪ ▪ ದೃಷ್ಟಾಂತಗಳುಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆ:ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾಂದ್ರತೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಯಾಂತ್ರಿಕ ಶಕ್ತಿ, ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನ ಮತ್ತು ಹೆಚ್ಚಿನ ಒತ್ತಡದ PECVD ಪರಿಸರವನ್ನು ತಡೆದುಕೊಳ್ಳಬಲ್ಲದು.
▪ ▪ ದೃಷ್ಟಾಂತಗಳುಉತ್ತಮ ಆಯಾಮದ ಸ್ಥಿರತೆ:ಹೆಚ್ಚಿನ ತಾಪಮಾನದಲ್ಲಿ ಸಣ್ಣ ಆಯಾಮದ ಬದಲಾವಣೆ, ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಸ್ಥಿರತೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸುತ್ತದೆ.
▪ ▪ ದೃಷ್ಟಾಂತಗಳುಅತ್ಯುತ್ತಮ ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ:ವೇಫರ್ ಅಧಿಕ ಬಿಸಿಯಾಗುವುದನ್ನು ತಡೆಯಲು ಪರಿಣಾಮಕಾರಿಯಾಗಿ ಶಾಖವನ್ನು ವರ್ಗಾಯಿಸುತ್ತದೆ.
▪ ▪ ದೃಷ್ಟಾಂತಗಳುಬಲವಾದ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ:ವಿವಿಧ ನಾಶಕಾರಿ ಅನಿಲಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾದಿಂದ ಸವೆತವನ್ನು ವಿರೋಧಿಸಬಹುದು.
▪ ▪ ದೃಷ್ಟಾಂತಗಳುಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಿದ ಸೇವೆ:ವಿವಿಧ ಗಾತ್ರಗಳು ಮತ್ತು ಆಕಾರಗಳ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಬೆಂಬಲ ಕೋಷ್ಟಕಗಳನ್ನು ಗ್ರಾಹಕರ ಅಗತ್ಯಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಕಸ್ಟಮೈಸ್ ಮಾಡಬಹುದು.
ಉತ್ಪನ್ನದ ಅನುಕೂಲಗಳು
▪ ▪ ದೃಷ್ಟಾಂತಗಳುಚಿತ್ರದ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಿ:ಏಕರೂಪದ ಫಿಲ್ಮ್ ಶೇಖರಣೆಯನ್ನು ಖಚಿತಪಡಿಸಿಕೊಳ್ಳಿ ಮತ್ತು ಫಿಲ್ಮ್ ಗುಣಮಟ್ಟವನ್ನು ಸುಧಾರಿಸಿ.
▪ ▪ ದೃಷ್ಟಾಂತಗಳುಸಲಕರಣೆಗಳ ಜೀವಿತಾವಧಿಯನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸಿ:ಅತ್ಯುತ್ತಮ ತುಕ್ಕು ನಿರೋಧಕತೆ, PECVD ಉಪಕರಣಗಳ ಸೇವಾ ಜೀವನವನ್ನು ವಿಸ್ತರಿಸುತ್ತದೆ.
▪ ▪ ದೃಷ್ಟಾಂತಗಳುಉತ್ಪಾದನಾ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಿ:ಉತ್ತಮ ಗುಣಮಟ್ಟದ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ಟ್ರೇಗಳು ಸ್ಕ್ರ್ಯಾಪ್ ದರವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಬಹುದು ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಕಡಿಮೆ ಮಾಡಬಹುದು.
SGL ನಿಂದ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ವಸ್ತು:
| ವಿಶಿಷ್ಟ ನಿಯತಾಂಕ: R6510 | |||
| ಸೂಚ್ಯಂಕ | ಪರೀಕ್ಷಾ ಮಾನದಂಡ | ಮೌಲ್ಯ | ಘಟಕ |
| ಸರಾಸರಿ ಧಾನ್ಯದ ಗಾತ್ರ | ಐಎಸ್ಒ 13320 | 10 | μm |
| ಬೃಹತ್ ಸಾಂದ್ರತೆ | ಡಿಐಎನ್ ಐಇಸಿ 60413/204 | ೧.೮೩ | ಗ್ರಾಂ/ಸೆಂ.ಮೀ.3 |
| ತೆರೆದ ಸರಂಧ್ರತೆ | ಡಿಐಎನ್66133 | 10 | % |
| ಮಧ್ಯಮ ರಂಧ್ರದ ಗಾತ್ರ | ಡಿಐಎನ್66133 | ೧.೮ | μm |
| ಪ್ರವೇಶಸಾಧ್ಯತೆ | ಡಿಐಎನ್ 51935 | 0.06 (ಆಹಾರ) | ಸೆಂ.ಮೀ²/ಸೆ |
| ರಾಕ್ವೆಲ್ ಗಡಸುತನ HR5/100 | ಡಿಐಎನ್ ಐಇಸಿ60413/303 | 90 (90) | HR |
| ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ವಿದ್ಯುತ್ ಪ್ರತಿರೋಧಕತೆ | ಡಿಐಎನ್ ಐಇಸಿ 60413/402 | 13 | μΩm |
| ಬಾಗುವ ಶಕ್ತಿ | ಡಿಐಎನ್ ಐಇಸಿ 60413/501 | 60 | ಎಂಪಿಎ |
| ಸಂಕುಚಿತ ಶಕ್ತಿ | ಡಿಐಎನ್ 51910 | 130 (130) | ಎಂಪಿಎ |
| ಯಂಗ್ನ ಮಾಡ್ಯುಲಸ್ | ಡಿಐಎನ್ 51915 | 11.5×10³ | ಎಂಪಿಎ |
| ಉಷ್ಣ ವಿಸ್ತರಣೆ (20-200℃) | ಡಿಐಎನ್ 51909 | 4.2 ಎಕ್ಸ್ 10-6 | K-1 |
| ಉಷ್ಣ ವಾಹಕತೆ (20℃) | ಡಿಐಎನ್ 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
ಇದನ್ನು ನಿರ್ದಿಷ್ಟವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿನ ದಕ್ಷತೆಯ ಸೌರ ಕೋಶ ತಯಾರಿಕೆಗಾಗಿ ವಿನ್ಯಾಸಗೊಳಿಸಲಾಗಿದ್ದು, G12 ದೊಡ್ಡ ಗಾತ್ರದ ವೇಫರ್ ಸಂಸ್ಕರಣೆಯನ್ನು ಬೆಂಬಲಿಸುತ್ತದೆ. ಆಪ್ಟಿಮೈಸ್ಡ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ವಿನ್ಯಾಸವು ಥ್ರೋಪುಟ್ ಅನ್ನು ಗಮನಾರ್ಹವಾಗಿ ಹೆಚ್ಚಿಸುತ್ತದೆ, ಹೆಚ್ಚಿನ ಇಳುವರಿ ದರಗಳು ಮತ್ತು ಕಡಿಮೆ ಉತ್ಪಾದನಾ ವೆಚ್ಚವನ್ನು ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸುತ್ತದೆ.
| ಐಟಂ | ಪ್ರಕಾರ | ವೇಫರ್ ಕ್ಯಾರಿಯರ್ ಸಂಖ್ಯೆ |
| PEVCD ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ - 156 ಸರಣಿ | ೧೫೬-೧೩ ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 144 (ಅನುವಾದ) |
| ೧೫೬-೧೯ ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 216 ಕನ್ನಡ | |
| ೧೫೬-೨೧ ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 240 (240) | |
| ೧೫೬-೨೩ ಗ್ರ್ಯಾಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 308 | |
| PEVCD ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ - 125 ಸರಣಿ | ೧೨೫-೧೫ ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 196 (ಪುಟ 196) |
| ೧೨೫-೧೯ ಗ್ರೆಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 252 (252) | |
| ೧೨೫-೨೧ ಗ್ರಾಫೈಟ್ ದೋಣಿ | 280 (280) |







