Držalo za rezine iz grafitnega substrata za PECVD

Kratek opis:

Držalo za grafitne podlage podjetja VET Energy je zasnovano tako, da ohranja poravnavo in stabilnost rezin skozi celoten postopek PECVD, preprečuje kontaminacijo in zmanjšuje tveganje poškodb. Držalo za grafitne rezine zagotavlja varno in enakomerno platformo, ki zagotavlja, da so rezine enakomerno izpostavljene plazmi za dosledno in visokokakovostno nanašanje. Z visoko toplotno prevodnostjo in izjemno trdnostjo to držalo pomaga izboljšati splošno učinkovitost procesa in delovanje izdelka.

Pošljite nam e-pošto Prenesi kot PDF

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Držalo za rezine grafitnega substrata VET Energy je precizni nosilec, zasnovan za postopek PECVD (plazemsko izboljšano kemično nanašanje iz pare). Ta visokokakovostno držalo za grafitni substrat je izdelano iz visoko čistega grafitnega materiala visoke gostote, z odlično odpornostjo na visoke temperature, korozijsko odpornost, dimenzijsko stabilnostjo in drugimi lastnostmi. Zagotavlja stabilno podporno platformo za postopek PECVD in enakomernost ter ravnost nanašanja filma.

Podporna miza za grafitne rezine VET Energy PECVD ima naslednje značilnosti:

▪Visoka čistost:izjemno nizka vsebnost nečistoč, preprečuje kontaminacijo filma, zagotavlja kakovost filma.

▪Visoka gostota:visoka gostota, visoka mehanska trdnost, lahko prenese visoke temperature in visok tlak v okolju PECVD.

▪Dobra dimenzijska stabilnost:majhna dimenzijska sprememba pri visoki temperaturi, kar zagotavlja stabilnost procesa.

▪Odlična toplotna prevodnost:učinkovito prenašajo toploto, da preprečijo pregrevanje rezin.

▪Močna odpornost proti koroziji:lahko se upre eroziji zaradi različnih korozivnih plinov in plazme.

▪Prilagojena storitev:Grafitne podporne mize različnih velikosti in oblik je mogoče prilagoditi potrebam strank.

Prednosti izdelka

▪Izboljšajte kakovost filma:Zagotovite enakomerno nanašanje filma in izboljšajte kakovost filma.

▪Podaljšajte življenjsko dobo opreme:Odlična odpornost proti koroziji, podaljša življenjsko dobo opreme PECVD.

▪Zmanjšajte proizvodne stroške:Visokokakovostni grafitni pladnji lahko zmanjšajo stopnjo odpadkov in znižajo proizvodne stroške.

Grafitni material iz SGL:

Tipični parameter: R6510
Kazalo	Preskusni standard	Vrednost	Enota
Povprečna velikost zrn	ISO 13320	10	μm
Gostota v razsutem stanju	DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Odprta poroznost	DIN66133	10	%
Srednja velikost por	DIN66133	1,8	μm
Prepustnost	DIN 51935	0,06	cm²/s
Trdota po Rockwellu HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifična električna upornost	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Upogibna trdnost	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Tlačna trdnost	DIN 51910	130	MPa
Youngov modul	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Toplotni raztezek (20-200 ℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Toplotna prevodnost (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Zasnovan je posebej za visoko učinkovito proizvodnjo sončnih celic in podpira obdelavo rezin velike velikosti G12. Optimizirana zasnova nosilcev znatno poveča prepustnost, kar omogoča višji izkoristek in nižje proizvodne stroške.

Predmet	Vrsta	Nosilec rezin s številko
PEVCD Grephite čoln - Serija 156	156-13 grefitni čoln	144
	156-19 gramofilasti čoln	216
	156-21 grefitni čoln	240
	Grafitni čoln 156-23	308
PEVCD čoln Grephite - serija 125	125-15 grefitni čoln	196
	125-19 gramofilasti čoln	252
	Grafitni čoln 125-21	280