ប្រដាប់កាន់បន្ទះស្រទាប់ក្រាហ្វីតសម្រាប់ PECVD

ឧបករណ៍​ទ្រ​ស្រទាប់​ក្រាហ្វីត VET Energy គឺជា​ឧបករណ៍​ទ្រ​ដ៏​ជាក់លាក់​មួយ​ដែល​ត្រូវ​បាន​រចនា​ឡើង​សម្រាប់​ដំណើរការ PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)។ ឧបករណ៍​ទ្រ​ស្រទាប់​ក្រាហ្វីត​ដែល​មាន​គុណភាព​ខ្ពស់​នេះ​ត្រូវ​បាន​ផលិត​ឡើង​ពី​វត្ថុធាតុ​ដើម​ក្រាហ្វីត​ដែល​មាន​ភាព​បរិសុទ្ធ​ខ្ពស់ និង​ដង់ស៊ីតេ​ខ្ពស់ ដែល​មាន​ភាព​ធន់​នឹង​សីតុណ្ហភាព​ខ្ពស់ ភាព​ធន់​នឹង​ការ​ច្រេះ ស្ថេរភាព​វិមាត្រ និង​លក្ខណៈ​ផ្សេងៗ​ទៀត។ វា​អាច​ផ្តល់​នូវ​វេទិកា​ទ្រទ្រង់​ដែល​មាន​ស្ថេរភាព​សម្រាប់​ដំណើរការ PECVD និង​ធានា​បាន​នូវ​ឯកសណ្ឋាន និង​ភាព​រាបស្មើ​នៃ​ការ​ដាក់​ស្រទាប់​ខ្សែភាពយន្ត។

តុទ្រទ្រង់បន្ទះក្រាហ្វីតដំណើរការ VET Energy PECVD មានលក្ខណៈដូចខាងក្រោម៖

▪ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់៖មាតិកាមិនបរិសុទ្ធទាបបំផុត ជៀសវាងការចម្លងរោគនៃខ្សែភាពយន្ត ធានាគុណភាពខ្សែភាពយន្ត។

▪ដង់ស៊ីតេខ្ពស់៖ដង់ស៊ីតេខ្ពស់ កម្លាំងមេកានិចខ្ពស់ អាចទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ និងសម្ពាធខ្ពស់នៃបរិស្ថាន PECVD។

▪ស្ថេរភាពវិមាត្រល្អ៖ការផ្លាស់ប្តូរវិមាត្រតូចនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ធានាបាននូវស្ថេរភាពដំណើរការ។

▪ចរន្តកំដៅដ៏ល្អឥតខ្ចោះ៖ផ្ទេរកំដៅប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាព ដើម្បីការពារការឡើងកំដៅខ្លាំងពេកនៃបន្ទះ wafer។

▪ភាពធន់នឹងការច្រេះខ្លាំង៖អាចទប់ទល់នឹងសំណឹកដោយឧស្ម័នច្រេះ និងប្លាស្មាជាច្រើន។

▪សេវាកម្មតាមតម្រូវការ៖តុទ្រទ្រង់ក្រាហ្វីតដែលមានទំហំ និងរូបរាងផ្សេងៗគ្នាអាចត្រូវបានប្ដូរតាមបំណងតាមតម្រូវការរបស់អតិថិជន។

គុណសម្បត្តិផលិតផល

▪បង្កើនគុណភាពខ្សែភាពយន្ត៖ធានាបាននូវការដាក់ស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តឯកសណ្ឋាន និងបង្កើនគុណភាពខ្សែភាពយន្ត។

▪ពង្រីកអាយុកាលឧបករណ៍៖ធន់នឹងការច្រេះដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ពន្យារអាយុកាលសេវាកម្មរបស់ឧបករណ៍ PECVD។

▪កាត់បន្ថយថ្លៃដើមផលិតកម្ម៖ថាសក្រាហ្វីតដែលមានគុណភាពខ្ពស់អាចកាត់បន្ថយអត្រាសំណល់អេតចាយ និងកាត់បន្ថយថ្លៃដើមផលិតកម្ម។