VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder គឺជាក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនដែលមានភាពជាក់លាក់ដែលត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ដំណើរការ PECVD (ប្លាស្មាធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវចំហាយគីមី)។ អ្នកកាន់ស្រទាប់ខាងក្រោមក្រាហ្វិចដែលមានគុណភាពខ្ពស់នេះត្រូវបានផលិតពីវត្ថុធាតុក្រាហ្វិចដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ ធន់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ធន់នឹងច្រេះ ស្ថេរភាពវិមាត្រ និងលក្ខណៈផ្សេងៗទៀត។ វាអាចផ្តល់នូវវេទិកាគាំទ្រដែលមានស្ថេរភាពសម្រាប់ដំណើរការ PECVD និងធានាបាននូវឯកសណ្ឋាន និងភាពរាបស្មើនៃការដាក់ខ្សែភាពយន្ត។
តារាងគាំទ្រ wafer ក្រាហ្វិចដំណើរការ VET Energy PECVD មានលក្ខណៈដូចខាងក្រោមៈ
▪ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់៖មាតិកាមិនបរិសុទ្ធទាបបំផុត ជៀសវាងការចម្លងរោគនៃខ្សែភាពយន្ត ធានាគុណភាពខ្សែភាពយន្ត។
▪ដង់ស៊ីតេខ្ពស់៖ដង់ស៊ីតេខ្ពស់កម្លាំងមេកានិចខ្ពស់អាចទប់ទល់នឹងសីតុណ្ហភាពខ្ពស់និងសម្ពាធខ្ពស់បរិស្ថាន PECVD ។
▪ស្ថេរភាពវិមាត្រល្អ៖ការផ្លាស់ប្តូរវិមាត្រតូចនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ធានាស្ថេរភាពដំណើរការ។
▪ចរន្តកំដៅដ៏អស្ចារ្យ៖ផ្ទេរកំដៅប្រកបដោយប្រសិទ្ធភាពដើម្បីការពារការឡើងកំដៅរបស់ wafer ។
▪ធន់នឹងច្រេះខ្លាំង៖អាចទប់ទល់នឹងសំណឹកដោយឧស្ម័ន និងប្លាស្មា។
▪សេវាកម្មប្ដូរតាមបំណង៖តារាងជំនួយក្រាហ្វិចដែលមានទំហំ និងរាងខុសៗគ្នាអាចត្រូវបានប្ដូរតាមតម្រូវការរបស់អតិថិជន។
អត្ថប្រយោជន៍ផលិតផល
▪កែលម្អគុណភាពខ្សែភាពយន្ត៖ធានាឱ្យមានស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តឯកសណ្ឋាន និងកែលម្អគុណភាពខ្សែភាពយន្ត។
▪ពង្រីកអាយុឧបករណ៍៖ធន់នឹងច្រេះល្អ ពង្រីកអាយុកាលសេវាកម្មរបស់ឧបករណ៍ PECVD ។
▪កាត់បន្ថយថ្លៃដើមផលិតកម្ម៖ថាសក្រាហ្វិចដែលមានគុណភាពខ្ពស់អាចកាត់បន្ថយអត្រាសំណល់អេតចាយ និងកាត់បន្ថយថ្លៃដើមផលិតកម្ម។
សម្ភារៈក្រាហ្វិចពី SGL៖
| ប៉ារ៉ាម៉ែត្រធម្មតា: R6510 | |||
| សន្ទស្សន៍ | ស្តង់ដារសាកល្បង | តម្លៃ | ឯកតា |
| ទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិជាមធ្យម | ISO 13320 | ១០ | μm |
| ដង់ស៊ីតេភាគច្រើន | DIN IEC 60413/204 | ១.៨៣ | ក្រាម / សង់ទីម៉ែត្រ3 |
| បើក porosity | DIN66133 | ១០ | % |
| ទំហំរន្ធញើសមធ្យម | DIN66133 | ១.៨ | μm |
| ភាពជ្រាបចូល | DIN 51935 | 0.06 | សង់ទីម៉ែត្រ 2/s |
| ភាពរឹងរបស់ Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | ៩០ | HR |
| ភាពធន់នឹងអគ្គិសនីជាក់លាក់ | DIN IEC 60413/402 | ១៣ | μΩm |
| កម្លាំងបត់បែន | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| កម្លាំងបង្ហាប់ | DIN 51910 | ១៣០ | MPa |
| ម៉ូឌុលរបស់ Young | DIN 51915 | ១១.៥ × ១០³ | MPa |
| ការពង្រីកកំដៅ (20-200 ℃) | DIN 51909 | ៤.២X១០-6 | K-1 |
| ចរន្តកំដៅ (20 ℃) | DIN 51908 | ១០៥ | Wm-1K-1 |
វាត្រូវបានរចនាឡើងជាពិសេសសម្រាប់ការផលិតកោសិកាថាមពលពន្លឺព្រះអាទិត្យដែលមានប្រសិទ្ធភាពខ្ពស់ គាំទ្រដល់ដំណើរការ wafer ទំហំធំ G12 ។ ការរចនាក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនដែលបានកែលម្អយ៉ាងសំខាន់បង្កើនទិន្នផល ដែលអនុញ្ញាតឱ្យមានអត្រាទិន្នផលខ្ពស់ និងតម្លៃផលិតកម្មទាប។
| ធាតុ | ប្រភេទ | ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូន wafer លេខ |
| ទូក PEVCD Grephite - ស៊េរី 156 | 156-13 ទូក grephite | ១៤៤ |
| 156-19 ទូក grephite | ២១៦ | |
| 156-21 ទូក grephite | ២៤០ | |
| ១៥៦-២៣ ទូកក្រាហ្វិច | ៣០៨ | |
| ទូក PEVCD Grephite - ស៊េរី 125 | 125-15 ទូក grephite | ១៩៦ |
| 125-19 ទូក grephite | ២៥២ | |
| ទូក 125-21 grphite | ២៨០ |







