Држач плочице од графитне подлоге за PECVD

Кратак опис:

Држач графитне подлоге компаније VET Energy је пројектован да одржи поравнање и стабилност плочица током целог PECVD процеса, спречавајући контаминацију и минимизирајући ризик од оштећења. Држач графитне плочице пружа сигурну, равну платформу, осигуравајући да су плочице равномерно изложене плазми за конзистентно и висококвалитетно наношење. Са својом високом топлотном проводљивошћу и изузетном чврстоћом, овај држач помаже у побољшању укупне ефикасности процеса и перформанси производа.

Пошаљите нам имејл Преузми као PDF

Детаљи производа

Ознаке производа

Држач графитне подлоге VET Energy је прецизни носач дизајниран за PECVD (хемијско наношење из паре побољшано плазмом). Овај висококвалитетни држач графитне подлоге је направљен од графитног материјала високе чистоће и густине, са одличном отпорношћу на високе температуре, отпорношћу на корозију, димензионалном стабилношћу и другим карактеристикама. Може да обезбеди стабилну платформу за PECVD процес и да осигура једнообразност и равност наношења филма.

VET Energy PECVD сто за подршку графитних плочица има следеће карактеристике:

▪Висока чистоћа:изузетно низак садржај нечистоћа, избегава контаминацију филма, осигурава квалитет филма.

▪Висока густина:висока густина, висока механичка чврстоћа, може издржати високе температуре и висок притисак у PECVD окружењу.

▪Добра димензионална стабилност:мала димензионална промена на високој температури, обезбеђујући стабилност процеса.

▪Одлична топлотна проводљивост:ефикасно преносе топлоту како би се спречило прегревање плочице.

▪Јака отпорност на корозију:може да одоли ерозији разним корозивним гасовима и плазмом.

▪Прилагођена услуга:Графитни носачи различитих величина и облика могу се прилагодити потребама купаца.

Предности производа

▪Побољшајте квалитет филма:Обезбедите равномерно наношење филма и побољшајте квалитет филма.

▪Продужите век трајања опреме:Одлична отпорност на корозију, продужава век трајања PECVD опреме.

▪Смањите трошкове производње:Висококвалитетне графитне посуде могу смањити стопу отпада и смањити трошкове производње.

Графитни материјал од SGL-а:

Типичан параметар: R6510
Индекс	Стандард за тестирање	Вредност	Јединица
Просечна величина зрна	ИСО 13320	10	μm
Густина запремине	ДИН ИЕЦ 60413/204	1,83	г/цм³
Отворена порозност	ДИН66133	10	%
Средња величина пора	ДИН66133	1,8	μm
Пропустљивост	ДИН 51935	0,06	цм²/с
Тврдоћа по Роквелу HR5/100	ДИН ИЕЦ60413/303	90	HR
Специфична електрична отпорност	ДИН ИЕЦ 60413/402	13	μΩm
Флексибилна чврстоћа	ДИН ИЕЦ 60413/501	60	МПа
Притисна чврстоћа	ДИН 51910	130	МПа
Јангов модул	ДИН 51915	11,5×10³	МПа
Термичко ширење (20-200℃)	ДИН 51909	4,2X10^-6	K^-1
Топлотна проводљивост (20℃)	ДИН 51908	105	Wm^-1K^-1

Посебно је дизајниран за производњу високоефикасних соларних ћелија, подржавајући обраду великих плочица G12. Оптимизовани дизајн носача значајно повећава пропусност, омогућавајући веће стопе приноса и ниже трошкове производње.

Ставка	Тип	Носач плочице са бројем
PEVCD Grephite чамац - Серија 156	156-13 графитски чамац	144
	156-19 графитски чамац	216
	156-21 графитски чамац	240
	Графитни чамац 156-23	308
PEVCD Grephite чамац - Серија 125	125-15 графит чамац	196
	125-19 графитски чамац	252
	125-21 графитни чамац	280