VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder ose fa'amomoli sa'o ua fuafuaina mo le fa'agasologa o le PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). O lenei tulaga maualuga o le Graphite Substrate Holder e faia i le maualuga-mama, maualuga-density graphite material, faʻatasi ai ma le maualuga maualuga o le vevela, faʻafefete, faʻamautu tulaga ma isi uiga. E mafai ona tuʻuina atu se faʻavae lagolago mautu mo le faʻagasologa o le PECVD ma faʻamautinoa le tutusa ma le laugatasi o le faʻapipiʻiina o ata.
VET Energy PECVD process graphite wafer support table ei ai uiga nei:
▪maualuga mama:matua maualalo le mama i totonu, aloese mai le faaleagaina o ata tifaga, mautinoa le lelei o ata.
▪Malosi maualuga:maualuga maualuga, malosi faʻainisinia maualuga, e mafai ona tatalia le vevela maualuga ma le maualuga o le siosiomaga PECVD.
▪Tulaga lelei mautu:suiga laititi i le vevela maualuga, faʻamautinoa le mautu o le faagasologa.
▪Lelei fa'aavevela vevela:fe'avea'i lelei le vevela e puipuia ai le vevela tele.
▪Malosi le pala:e mafai ona tetee i le tafia e ala eseese kasa ma plasma.
▪Au'aunaga fa'apitoa:laulau lagolago graphite o lapopoa eseese ma foliga e mafai ona customized e tusa ai ma manaoga o tagata faatau.
Tulaga Lelei
▪Fa'aleleia le lelei o ata:Fa'amautinoa le tu'uina o ata tifaga ma fa'aleleia atili le lelei o ata.
▪Fa'ateleina le ola o meafaigaluega:E sili atu le teteʻe o le corrosion, faʻalautele le ola tautua o meafaigaluega PECVD.
▪Fa'aitiitia tau o gaosiga:O fata graphite sili ona lelei e mafai ona faʻaititia ai le tau o meaʻai ma faʻaititia le tau o gaosiga.
Mea kalafi mai le SGL:
| Fa'ailoga masani: R6510 | |||
| Fa'asinomaga | Su'ega tulaga | Taua | Vaega |
| Ole fua ole fua | ISO 13320 | 10 | μm |
| Fa'atosina tele | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Matala porosity | DIN66133 | 10 | % |
| Lapo'a pore feololo | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Talitonu | DIN 51935 | 0.06 | cm²/s |
| Malosi Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Fa'asao eletise fa'apitoa | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Malosi fa'apa'u | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Malosi fa'amalosi | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Modulus a talavou | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| Fa'alautelega vevela(20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Amioga vevela (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
O lo'o fa'atulagaina faapitoa mo le gaosiga o le la, e lagolagoina ai le G12 tele-tele-tele fa'agaoioiga. Fa'ata'ita'iga fa'ata'ita'iga va'ava'a e fa'atuputeleina le fa'asili, ma fa'atupu ai le maualuga o fua fa'atatau ma fa'aitiitia tau o gaosiga.
| Aitema | Ituaiga | Numera wafer ave |
| PEVCD Grephite vaa - Le 156 faasologa | 156-13 vaa grephite | 144 |
| 156-19 vaa grephite | 216 | |
| 156-21 vaa grephite | 240 | |
| 156-23 vaa kalafi | 308 | |
| PEVCD Grephite vaa - Le 125 faasologa | 125-15 vaa grephite | 196 |
| 125-19 vaa grephite | 252 | |
| 125-21 vaa griphite | 280 |
