O le mea e uu ai le Wafer Substrate Graphite mo le PECVD

Fa'amatalaga Pupuu:

O le VET Energy's Graphite Substrate Holder ua mamanuina e faatumauina le ogatasi ma le mautu o le wafer i le faagasologa atoa o le PECVD, e puipuia ai le faaleagaina ma faaitiitia ai le lamatiaga o le faaleagaina. O le Graphite Wafer Holder e maua ai se tulaga saogalemu ma tutusa, ma mautinoa ai o loʻo faʻaalia tutusa wafers i le plasma mo le teuina tutusa ma le maualuga o le tulaga lelei. Faatasi ai ma lona maualuga o le thermal conductivity ma le malosi tulaga ese, o lenei holder e fesoasoani e faaleleia atili ai le lelei o le faagasologa atoa ma le faatinoga o oloa.

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Fa'amatalaga o le oloa

Fa'ailoga o Oloa

O le VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder o se mea e ave ai le sa'o ma le sa'o ua mamanuina mo le faiga o le PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). O lenei Graphite Substrate Holder e maualuga lona lelei e faia i mea graphite e maualuga le mama, maualuga le mafiafia, e matua'i tete'e atu i le vevela maualuga, tete'e atu i le 'ele, mautu le fua ma isi uiga. E mafai ona tu'uina atu se fa'avae lagolago mautu mo le faiga o le PECVD ma fa'amautinoa le tutusa ma le lamolemole o le fa'aputuina o le ata tifaga.

O le laulau lagolago o le graphite wafer o le VET Energy PECVD e iai ona uiga nei:

▪Mama maualuga:e matua maualalo lava le mea e le mama ai, aloese mai le faaleagaina o le ata tifaga, ia mautinoa le lelei o le ata tifaga.

▪Mafiafia tele:maualuga le mafiafia, malosi fa'amekanika maualuga, e mafai ona tatalia le vevela maualuga ma le mamafa maualuga o le siosiomaga PECVD.

▪Mausali lelei o le fua:suiga laiti i le fua i le vevela maualuga, ma faʻamautinoa ai le mautu o le faagasologa.

▪Fa'aleleia atili o le vevela:fa'aliliuina lelei le vevela e puipuia ai le so'ona vevela o le wafer.

▪Tete'e malosi i le 'ele:e mafai ona tete'e atu i le soloia e kasa 'a'ai eseese ma le plasma.

▪Auaunaga fa'apitoa:e mafai ona fa'apitoa laulau lagolago karapite o lapopo'a ma foliga eseese e tusa ai ma mana'oga o tagata fa'atau.

Fa'amanuiaga o le Oloa

▪Faaleleia le lelei o le ata tifaga:Ia mautinoa o le tutusa o le teuina o le ata tifaga ma fa'aleleia le lelei o le ata tifaga.

▪Fa'alauteleina le umi e ola ai le masini:E tete'e lelei i le 'ele, fa'alauteleina le umi e aoga ai meafaigaluega PECVD.

▪Fa'aitiitia tau o le gaosiga:E mafai e fata karapite e maualuga le lelei ona faʻaitiitia ai le fua o otaota ma faʻaitiitia ai tau o le gaosiga.

Mea fa'akalafi mai le SGL:

Fa'ailoga masani: R6510
Fa'asino Upu	Tulaga fa'ata'ita'i	Taua	Iunite
Tele masani o le saito	ISO 13320	10	μm
Mafiafia tele	DIN IEC 60413/204	1.83	kalama/senitimi³
Porosity tatala	DIN66133	10	%
Tele o pu e feololo	DIN66133	1.8	μm
Fa'asusu	DIN 51935	0.06	cm²/s
Ma'a'a o Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Tete'e fa'apitoa o le eletise	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Malosiaga fa'apipi'i	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Malosi fa'apipi'i	DIN 51910	130	MPa
Modulus a Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Fa'alauteleina o le vevela (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Fa'avevela (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ua mamanuina faapitoa mo le gaosiga o sela o le la e maualuga le lelei, e lagolagoina ai le faagasologa o le tele o le G12 wafer. O le mamanu sili ona lelei o le aveta'avale e fa'ateleina ai le gaosiga, ma mafai ai ona maualuga le fua faatatau o le seleselega ma fa'aitiitia ai tau o le gaosiga.

Mea	Ituaiga	Avetaavale numera
Va'a PEVCD Grephite - O le fa'asologa 156	156-13 va'a grephite	144
	156-19 va'a grephite	216
	156-21 va'a grephite	240
	156-23 va'a karapite	308
Va'a PEVCD Grephite - O le fa'asologa 125	Va'a grephite 125-15	196
	125-19 va'a grephite	252
	Va'a 125-21 graphite	280