Գրաֆիտային սուբստրատի վաֆլի պահոց PECVD-ի համար

Գրաֆիտային հիմքի վաֆլի պահոց PECVD-ի համար

Կարճ նկարագրություն՝

VET Energy-ի գրաֆիտային հիմքի պահիչը նախագծված է վաֆլիների հավասարեցումը և կայունությունը PECVD գործընթացի ընթացքում պահպանելու համար՝ կանխելով աղտոտումը և նվազագույնի հասցնելով վնասման ռիսկը: Գրաֆիտային վաֆլիի պահիչը ապահովում է անվտանգ, հավասար հարթակ՝ ապահովելով, որ վաֆլիները հավասարաչափ ենթարկվեն պլազմային՝ ապահովելով հետևողական և բարձրորակ նստեցում: Իր բարձր ջերմահաղորդականության և բացառիկ ամրության շնորհիվ այս պահիչը նպաստում է գործընթացի ընդհանուր արդյունավետության և արտադրանքի կատարողականի բարելավմանը:

Ուղարկեք մեզ էլ. նամակ Ներբեռնել որպես PDF

Ապրանքի մանրամասներ

Ապրանքի պիտակներ

VET Energy գրաֆիտային հիմքի վաֆլի պահիչը PECVD (պլազմայով ուժեղացված քիմիական գոլորշու նստեցման) գործընթացի համար նախատեսված ճշգրիտ կրիչ է: Այս բարձրորակ գրաֆիտային հիմքի պահիչը պատրաստված է բարձր մաքրության, բարձր խտության գրաֆիտային նյութից, որն ունի գերազանց բարձր ջերմաստիճանային դիմադրություն, կոռոզիայի դիմադրություն, չափային կայունություն և այլ բնութագրեր: Այն կարող է ապահովել կայուն հենարան PECVD գործընթացի համար և ապահովել թաղանթի նստեցման միատարրությունն ու հարթությունը:

VET Energy PECVD պրոցեսային գրաֆիտային վաֆլիի հենարանային սեղանն ունի հետևյալ բնութագրերը՝

▪Բարձր մաքրություն:չափազանց ցածր խառնուրդների պարունակություն, խուսափում է ֆիլմի աղտոտումից, ապահովում է ֆիլմի որակը։

▪Բարձր խտություն:բարձր խտություն, բարձր մեխանիկական ամրություն, կարող է դիմակայել բարձր ջերմաստիճանին և բարձր ճնշման PECVD միջավայրին։

▪Լավ չափային կայունություն.փոքր չափային փոփոխություն բարձր ջերմաստիճանում, ապահովելով գործընթացի կայունությունը։

▪Գերազանց ջերմահաղորդականություն.արդյունավետորեն փոխանցում է ջերմությունը՝ կանխելու համար վաֆլիի գերտաքացումը։

▪Ուժեղ կոռոզիոն դիմադրություն.կարող է դիմակայել տարբեր քայքայիչ գազերի և պլազմայի կողմից էրոզիային։

▪Անհատականացված ծառայություն.Տարբեր չափերի և ձևերի գրաֆիտային հենարանային սեղանները կարող են հարմարեցվել հաճախորդի կարիքներին համապատասխան։

Արտադրանքի առավելությունները

▪Ֆիլմի որակի բարելավում.Ապահովել թաղանթի միատարր նստեցում և բարելավել թաղանթի որակը։

▪Երկարացնել սարքավորումների կյանքը.Գերազանց կոռոզիոն դիմադրություն, երկարացնում է PECVD սարքավորումների ծառայության ժամկետը։

▪Նվազեցնել արտադրական ծախսերը.Բարձրորակ գրաֆիտային սկուտեղները կարող են նվազեցնել ջարդոնի մակարդակը և նվազեցնել արտադրական ծախսերը:

SGL-ի գրաֆիտային նյութը՝

Տիպիկ պարամետր՝ R6510
Ինդեքս	Փորձարկման ստանդարտ	Արժեք	Միավոր
Միջին հատիկի չափը	ԻՍՕ 13320	10	մկմ
Ծավալային խտություն	DIN IEC 60413/204	1.83	գ/սմ³
Բաց ծակոտկենություն	DIN66133	10	%
Միջին ծակոտիների չափ	DIN66133	1.8	մկմ
Թափանցելիություն	DIN 51935	0.06	սմ²/վ
Ռոքվելի կարծրություն HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Հատուկ էլեկտրական դիմադրություն	DIN IEC 60413/402	13	μΩմ
Ճկման ուժ	DIN IEC 60413/501	60	ՄՊա
Սեղմման ուժ	DIN 51910	130	ՄՊա
Յունգի մոդուլը	DIN 51915	11.5×10³	ՄՊա
Ջերմային ընդլայնում (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Ջերմահաղորդականություն (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Այն հատուկ նախագծված է բարձր արդյունավետությամբ արևային մարտկոցների արտադրության համար՝ աջակցելով G12 մեծ չափի վաֆլիների մշակմանը: Օպտիմալացված կրիչի դիզայնը զգալիորեն մեծացնում է արտադրողականությունը՝ հնարավորություն տալով ավելի բարձր արտադրողականության և ավելի ցածր արտադրական ծախսերի:

Ապրանք	Տեսակ	Թիվ վաֆլի կրիչ
PEVCD Գրեֆիտ նավակ - 156 շարք	156-13 գրեֆիտային նավակ	144
	156-19 գրեֆիտային նավակ	216
	156-21 գրեֆիտային նավակ	240
	156-23 գրաֆիտային նավակ	308
PEVCD Գրեֆիտ նավակ - 125 շարք	125-15 գրեֆիտային նավակ	196
	125-19 գրեֆիտային նավակ	252
	125-21 գրաֆիտային նավակ	280