PECVD-д зориулсан графит субстрат вафли баригч

PECVD-д зориулсан графит суурьтай вафлийн суурь баригч Онцлох зураг

Товч тайлбар:

VET Energy компанийн Графит суурь баригч нь PECVD процессын туршид вафлийн тэгш байдал, тогтвортой байдлыг хадгалах, бохирдлоос урьдчилан сэргийлэх, гэмтэх эрсдэлийг багасгах зорилгоор бүтээгдсэн. Графит вафлийн баригч нь найдвартай, жигд тавцан болж, вафлигуудыг плазмд жигд байрлуулж, тогтвортой, өндөр чанартай тунадасжуулах боломжийг олгодог. Өндөр дулаан дамжуулалт, онцгой бат бөх чанараараа энэхүү баригч нь нийт процессын үр ашиг, бүтээгдэхүүний гүйцэтгэлийг сайжруулахад тусалдаг.

Бидэнд имэйл илгээх PDF хэлбэрээр татаж авах

Бүтээгдэхүүний дэлгэрэнгүй мэдээлэл

Бүтээгдэхүүний шошго

VET Energy Graphite Substrate Wafer Stacker нь PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Podition) процесст зориулагдсан нарийн зөөгч юм. Энэхүү өндөр чанартай Graphite Substrate Stacker нь өндөр цэвэршилттэй, өндөр нягтралтай графит материалаар хийгдсэн бөгөөд өндөр температурт тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй, хэмжээст тогтвортой байдал болон бусад шинж чанартай. Энэ нь PECVD процесст тогтвортой тулгуур тавцан болж, хальсан бүрхүүлийн жигд байдал, тэгш байдлыг хангаж чадна.

VET Energy PECVD процессын бал чулуун хавтангийн тулгуурын ширээ нь дараах шинж чанаруудтай.

▪Өндөр цэвэршилттэй:маш бага хольцын агууламжтай, хальсны бохирдлоос зайлсхийж, хальсны чанарыг баталгаажуулдаг.

▪Өндөр нягтрал:өндөр нягтралтай, өндөр механик бат бөх, өндөр температур болон өндөр даралтын PECVD орчинд тэсвэртэй.

▪Сайн хэмжээст тогтвортой байдал:өндөр температурт жижиг хэмжээст өөрчлөлт хийх нь үйл явцын тогтвортой байдлыг хангах.

▪Маш сайн дулаан дамжуулалт:ваарны хэт халалтаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд дулааныг үр дүнтэй дамжуулдаг.

▪Хүчтэй зэврэлтээс хамгаалах чадвар:янз бүрийн идэмхий хий болон плазмын элэгдлийг эсэргүүцэж чадна.

▪Захиалгат үйлчилгээ:Янз бүрийн хэмжээ, хэлбэрийн бал чулуун тулгуурын ширээг хэрэглэгчийн хэрэгцээнд нийцүүлэн өөрчилж болно.

Бүтээгдэхүүний давуу талууд

▪Киноны чанарыг сайжруулах:Киноны жигд наалтыг хангаж, киноны чанарыг сайжруулна.

▪Тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг уртасгах:Зэврэлтээс маш сайн хамгаалагдсан, PECVD тоног төхөөрөмжийн ашиглалтын хугацааг уртасгадаг.

▪Үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулах:Өндөр чанартай бал чулуун тавиурууд нь хаягдлын хэмжээг бууруулж, үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулж чадна.

SGL-ийн бал чулуун материал:

Ердийн параметр: R6510
Индекс	Туршилтын стандарт	Үнэ цэнэ	Нэгж
Үр тарианы дундаж хэмжээ	ISO 13320	10	мкм
Бөөн нягтрал	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Нээлттэй сүвэрхэг байдал	DIN66133	10	%
Дунд зэргийн нүх сүвний хэмжээ	DIN66133	1.8	мкм
Нэвчилт	DIN 51935	0.06	см²/с
Роквеллийн хатуулаг HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Цахилгаан эсэргүүцэл	DIN IEC 60413/402	13	μΩм
Гулзайлтын хүч	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Шахалтын бат бэх	DIN 51910	130	МПа
Янгийн модуль	DIN 51915	11.5×10³	МПа
Дулааны тэлэлт (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Дулаан дамжуулалт (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Энэ нь G12 том хэмжээтэй вафлийн боловсруулалтыг дэмждэг өндөр үр ашигтай нарны зай үйлдвэрлэхэд зориулагдсан. Оновчтой зөөгч загвар нь дамжуулах чадварыг мэдэгдэхүйц нэмэгдүүлж, ургацын хэмжээг нэмэгдүүлж, үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулдаг.

Зүйл	Төрөл	Дугаартай вафли зөөгч
PEVCD Грефит завь - 156 цуврал	156-13 грефит завь	144
	156-19 грефит завь	216
	156-21 грефит завь	240
	156-23 бал чулуун завь	308
PEVCD Грефит завь - 125 цуврал	125-15 грефит завь	196
	125-19 грефит завь	252
	125-21 грфит завь	280