VET Energy grafittsubstrat-waferholder er en presisjonsbærer designet for PECVD-prosessen (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Denne høykvalitets grafittsubstratholderen er laget av grafittmateriale med høy renhet og høy tetthet, med utmerket høy temperaturbestandighet, korrosjonsbestandighet, dimensjonsstabilitet og andre egenskaper. Den kan gi en stabil støtteplattform for PECVD-prosessen og sikre ensartethet og flathet i filmavsetningen.
VET Energy PECVD-prosess grafittskiverstøttebord har følgende egenskaper:
▪Høy renhet:ekstremt lavt urenhetsinnhold, unngå forurensning av filmen, sørg for filmkvalitet.
▪Høy tetthet:høy tetthet, høy mekanisk styrke, tåler PECVD-miljø med høy temperatur og høyt trykk.
▪God dimensjonsstabilitet:liten dimensjonsendring ved høy temperatur, noe som sikrer prosessstabilitet.
▪Utmerket varmeledningsevne:overfører varme effektivt for å forhindre overoppheting av waferen.
▪Sterk korrosjonsbestandighet:kan motstå erosjon fra forskjellige korrosive gasser og plasma.
▪Tilpasset tjeneste:Grafittstøttebord i forskjellige størrelser og former kan tilpasses etter kundens behov.
Produktfordeler
▪Forbedre filmkvaliteten:Sørg for jevn filmavsetning og forbedrer filmkvaliteten.
▪Forleng utstyrets levetid:Utmerket korrosjonsbestandighet, forleng levetiden til PECVD-utstyr.
▪Reduser produksjonskostnadene:Grafittbrett av høy kvalitet kan redusere skrapmengden og produksjonskostnadene.
Grafittmateriale fra SGL:
| Typisk parameter: R6510 | |||
| Indeks | Teststandard | Verdi | Enhet |
| Gjennomsnittlig kornstørrelse | ISO 13320 | 10 | mikrometer |
| Bulktetthet | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm²3 |
| Åpen porøsitet | DIN66133 | 10 | % |
| Middels porestørrelse | DIN66133 | 1.8 | mikrometer |
| Permeabilitet | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell-hardhet HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Spesifikk elektrisk resistivitet | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Bøyestyrke | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Trykkfasthet | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Youngs modul | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
| Termisk ekspansjon (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2X10-6 | K-1 |
| Varmeledningsevne (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Den er spesielt utviklet for høyeffektiv solcelleproduksjon, og støtter prosessering av store G12-wafere. Optimalisert bærerdesign øker gjennomstrømningen betydelig, noe som muliggjør høyere utbytte og lavere produksjonskostnader.
| Punkt | Type | Nummer waferbærer |
| PEVCD Grephite-båt - 156-serien | 156-13 grepittbåt | 144 |
| 156-19 grepittbåt | 216 | |
| 156-21 grepittbåt | 240 | |
| 156-23 grafittbåt | 308 | |
| PEVCD Grephite-båt - 125-serien | 125-15 grefittbåt | 196 |
| 125-19 grefittbåt | 252 | |
| 125-21 grafittbåt | 280 |
