Тримач для пластин з графітової підкладки для PECVD

Тримач для графітової підкладки VET Energy – це прецизійний носій, розроблений для процесу PECVD (плазмово-посилене хімічне осадження з парової фази). Цей високоякісний тримач для графітової підкладки виготовлений з високочистого графітового матеріалу високої щільності, що має відмінну стійкість до високих температур, корозійну стійкість, стабільність розмірів та інші характеристики. Він може забезпечити стабільну опорну платформу для процесу PECVD та забезпечити рівномірність та площинність осадження плівки.

Опорний стіл для графітових пластин VET Energy PECVD має такі характеристики:

▪Висока чистота:надзвичайно низький вміст домішок, запобігає забрудненню плівки, забезпечує якість плівки.

▪Висока щільність:висока щільність, висока механічна міцність, витримує високу температуру та високий тиск у середовищі PECVD.

▪Гарна розмірна стабільність:незначна зміна розмірів при високій температурі, що забезпечує стабільність процесу.

▪Відмінна теплопровідність:ефективно передають тепло, запобігаючи перегріву пластини.

▪Сильна стійкість до корозії:може протистояти ерозії різними агресивними газами та плазмою.

▪Індивідуальне обслуговування:Графітові опорні столи різних розмірів та форм можна налаштувати відповідно до потреб замовника.

Переваги продукту

▪Покращення якості фільму:Забезпечує рівномірне нанесення плівки та покращує її якість.

▪Збільшення терміну служби обладнання:Відмінна стійкість до корозії, що подовжує термін служби обладнання PECVD.

▪Зменшення виробничих витрат:Високоякісні графітові лотки можуть зменшити рівень браку та знизити виробничі витрати.