VET Energy Grafit Substrat Plaka Tutucu, PECVD (Plazma Destekli Kimyasal Buhar Biriktirme) işlemi için tasarlanmış hassas bir taşıyıcıdır. Bu yüksek kaliteli Grafit Substrat Tutucu, mükemmel yüksek sıcaklık dayanımı, korozyon direnci, boyutsal kararlılık ve diğer özelliklere sahip yüksek saflıkta, yüksek yoğunluklu grafit malzemeden üretilmiştir. PECVD işlemi için istikrarlı bir destek platformu sağlayarak film biriktirme işleminin düzgünlüğünü ve doğruluğunu garanti eder.
VET Energy PECVD prosesi grafit gofret destek tablası aşağıdaki özelliklere sahiptir:
▪Yüksek saflık:Son derece düşük safsızlık içeriği, filmin kirlenmesini önler, film kalitesini garanti eder.
▪Yüksek yoğunluk:Yüksek yoğunluk, yüksek mekanik dayanım, yüksek sıcaklık ve yüksek basınçlı PECVD ortamına dayanıklılık.
▪İyi boyutsal kararlılık:Yüksek sıcaklıkta küçük boyutsal değişim, proses istikrarını sağlar.
▪Mükemmel ısı iletkenliği:Isıyı etkili bir şekilde aktararak yonga levhasının aşırı ısınmasını önler.
▪Yüksek korozyon direnci:Çeşitli aşındırıcı gazlara ve plazmaya karşı dayanıklıdır.
▪Kişiselleştirilmiş hizmet:Farklı boyut ve şekillerde grafit destek tablaları, müşteri ihtiyaçlarına göre özelleştirilebilir.
Ürün Avantajları
▪Film kalitesini iyileştirin:Düzgün film tabakası oluşumunu sağlayın ve film kalitesini iyileştirin.
▪Ekipman ömrünü uzatın:Mükemmel korozyon direnci, PECVD ekipmanının kullanım ömrünü uzatır.
▪Üretim maliyetlerini düşürün:Yüksek kaliteli grafit tepsiler, hurda oranını ve üretim maliyetlerini düşürebilir.
SGL'den grafit malzeme:
| Tipik parametre: R6510 | |||
| İndeks | Test standardı | Değer | Birim |
| Ortalama tane boyutu | ISO 13320 | 10 | μm |
| Hacimsel yoğunluk | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Açık gözeneklilik | DIN66133 | 10 | % |
| Orta gözenek boyutu | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Geçirgenlik | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell sertliği HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Özgül elektriksel direnç | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Eğilme dayanımı | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Basınç dayanımı | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Young modülü | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Termal genleşme (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Isı iletkenliği (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Özellikle yüksek verimli güneş pili üretimi için tasarlanmış olup, G12 büyük boyutlu wafer işlemeyi desteklemektedir. Optimize edilmiş taşıyıcı tasarımı, verimliliği önemli ölçüde artırarak daha yüksek verim oranları ve daha düşük üretim maliyetleri sağlar.
| Öğe | Tip | Numaralı gofret taşıyıcı |
| PEVCD Grephite teknesi - 156 serisi | 156-13 grefit tekne | 144 |
| 156-19 grefit tekne | 216 | |
| 156-21 grefit tekne | 240 | |
| 156-23 grafit tekne | 308 | |
| PEVCD Grephite teknesi - 125 serisi | 125-15 grefti tekne | 196 |
| 125-19 grefti tekne | 252 | |
| 125-21 grafit tekne | 280 |
