VET Energy Grafit Alt Tabakalı Wafer Tutucu, PECVD (Plazma Destekli Kimyasal Buhar Biriktirme) işlemi için tasarlanmış hassas bir taşıyıcıdır. Bu yüksek kaliteli Grafit Alt Tabakalı Tutucu, mükemmel yüksek sıcaklık direnci, korozyon direnci, boyutsal kararlılık ve diğer özelliklere sahip yüksek saflıkta, yüksek yoğunluklu grafit malzemeden yapılmıştır. PECVD işlemi için sabit bir destek platformu sağlayabilir ve film biriktirmenin düzgünlüğünü ve düzlüğünü garanti edebilir.
VET Energy PECVD proses grafit gofret destek masası aşağıdaki özelliklere sahiptir:
▪Yüksek saflık:son derece düşük kirlilik içeriği, filmin kirlenmesini önler, film kalitesini garanti eder.
▪Yüksek yoğunluk:yüksek yoğunluklu, yüksek mekanik dayanımlı, yüksek sıcaklık ve yüksek basınç PECVD ortamına dayanabilir.
▪İyi boyutsal kararlılık:Yüksek sıcaklıkta küçük boyutsal değişim, proses kararlılığını garanti eder.
▪Mükemmel ısı iletkenliği:gofretin aşırı ısınmasını önlemek için ısıyı etkili bir şekilde aktarır.
▪Güçlü korozyon direnci:Çeşitli aşındırıcı gazların ve plazmanın erozyonuna karşı dayanıklıdır.
▪Kişiye özel hizmet:Müşteri ihtiyaçlarına göre farklı ebat ve şekillerde grafit destek masaları özelleştirilebilir.
Ürün Avantajları
▪Film kalitesini iyileştirin:Homojen film birikimini sağlayın ve film kalitesini artırın.
▪Ekipman ömrünü uzatın:Mükemmel korozyon direnci, PECVD ekipmanlarının kullanım ömrünü uzatır.
▪Üretim maliyetlerini azaltın:Yüksek kaliteli grafit tepsiler hurda oranını düşürebilir ve üretim maliyetlerini düşürebilir.
SGL'den grafit malzemesi:
| Tipik parametre: R6510 | |||
| Dizin | Test standardı | Değer | Birim |
| Ortalama tane boyutu | ISO 13320 | 10 | mikron |
| Yığın yoğunluğu | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Açık gözeneklilik | DIN66133 | 10 | % |
| Orta gözenek boyutu | DIN66133 | 1.8 | mikron |
| Geçirgenlik | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell sertliği HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Özgül elektriksel direnç | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Eğilme dayanımı | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Basınç dayanımı | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Young modülü | DIN 51915 | 11,5×10³ | MPa |
| Termal genleşme (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Isı iletkenliği (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Özellikle yüksek verimli güneş hücresi üretimi için tasarlanmıştır ve G12 büyük boyutlu gofret işlemeyi destekler. Optimize edilmiş taşıyıcı tasarımı, verimi önemli ölçüde artırarak daha yüksek verim oranları ve daha düşük üretim maliyetleri sağlar.
| Öğe | Tip | Sayı gofret taşıyıcısı |
| PEVCD Grephite teknesi - 156 serisi | 156-13 grefit teknesi | 144 |
| 156-19 grefit teknesi | 216 | |
| 156-21 grefit teknesi | 240 | |
| 156-23 grafit tekne | 308 | |
| PEVCD Grephite teknesi - 125 serisi | 125-15 grefit tekne | 196 |
| 125-19 grefit teknesi | 252 | |
| 125-21 grfit tekne | 280 |
