Fitoeran-javatra Wafer Substrate Grafita ho an'ny PECVD

Sary nasongadina momba ny fitoeran-javatra vita amin'ny grafita ho an'ny PECVD

Famaritana fohy:

Natao hitazonana ny fitoviana sy ny fahamarinan'ny wafer mandritra ny dingana PECVD ny Graphite Substrate Holder an'ny VET Energy, hisorohana ny loto ary hampihenana ny mety ho fahasimbana. Ny Graphite Wafer Holder dia manome sehatra azo antoka sy mitovy, izay miantoka fa ny wafers dia miharihary mitovy amin'ny plasma mba hahazoana fametrahana tsy tapaka sy avo lenta. Noho ny conductivity mafana avo lenta sy ny tanjaka miavaka, ity fitoeran-javatra ity dia manampy amin'ny fanatsarana ny fahombiazan'ny dingana amin'ny ankapobeny sy ny fahombiazan'ny vokatra.

Alefaso mailaka aminay Sintomy amin'ny endrika PDF

Antsipirian'ny vokatra

Marika vokatra

Ny VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder dia fitaovana fitaterana mazava tsara natao ho an'ny dingana PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Ity Graphite Substrate Holder avo lenta ity dia vita amin'ny fitaovana grafita madio sy matevina, miaraka amin'ny fanoherana tsara ny mari-pana avo lenta, ny harafesina, ny fahamarinan-toerana amin'ny refy ary ny toetra hafa. Afaka manome sehatra fanohanana marin-toerana ho an'ny dingana PECVD izy io ary miantoka ny fitoviana sy ny fisaka amin'ny fametrahana sarimihetsika.

Ireto avy ny toetra mampiavaka ny latabatra fanohanana wafer grafita VET Energy PECVD:

▪Fahadiovana avo lenta:ambany dia ambany ny loto ao anatiny, misoroka ny fahalotoan'ny sarimihetsika, miantoka ny kalitaon'ny sarimihetsika.

▪Haavo be:hakitroky avo, tanjaka mekanika avo, mahatanty mari-pana avo sy tsindry avo lenta amin'ny tontolo PECVD.

▪Fahamarinan-toerana tsara amin'ny refy:fiovana kely amin'ny refy amin'ny mari-pana avo, miantoka ny fahamarinan'ny dingana.

▪Fitondran-tena mafana tsara dia tsara:mamindra hafanana amin'ny fomba mahomby mba hisorohana ny hafanan'ny wafer.

▪Fanoherana harafesina matanjaka:afaka mahatohitra ny fahasimban'ny entona sy plasma isan-karazany.

▪Serivisy namboarina manokana:Azo amboarina araka ny filàn'ny mpanjifa ny latabatra fanohanana grafita amin'ny habe sy endrika samihafa.

Tombony azo avy amin'ny vokatra

▪Hatsarao ny kalitaon'ny sarimihetsika:Ataovy izay hahazoana antoka fa mitovy ny fametrahana ny sarimihetsika ary hatsarao ny kalitaon'ny sarimihetsika.

▪Manalava ny androm-piainan'ny fitaovana:Fanoherana harafesina tsara dia tsara, manalava ny androm-piainan'ny fitaovana PECVD.

▪Ahena ny fandaniana amin'ny famokarana:Afaka mampihena ny tahan'ny fako sy ny vidin'ny famokarana ny lovia grafita avo lenta.

Akora grafita avy amin'ny SGL:

Paramètre mahazatra: R6510
Fanondroana	Fenitra fitsapana	sarobidy	Singa
Haben'ny voam-bary antonony	ISO 13320	10	μm
Hakitroky ny ambongadiny	DIN IEC 60413/204	1.83	g/sm³
Porosité misokatra	DIN66133	10	%
Haben'ny mason-koditra antonony	DIN66133	1.8	μm
Fahaiza-miditra	DIN 51935	0.06	sm²/s
Hamafin'ny Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90 taona	HR
Resistivity elektrika manokana	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Tanjaky ny fihenjanana	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Tanjaky ny famoretana	DIN 51910	130	MPa
Modulus an'i Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Fitomboana mafana (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Fitondran-tena mafana (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Natao manokana ho an'ny famokarana sela masoandro mahomby avo lenta izy io, manohana ny fanodinana wafer lehibe G12. Ny endrika mpitatitra nohatsaraina dia mampitombo be ny vokatra, ka ahafahana mahazo vokatra ambony kokoa sy mampihena ny vidin'ny famokarana.

zavatra	Karazana	Mpitatitra wafer isa
Sambo PEVCD Grephite - Andiany 156	Sambo grefita 156-13	144
	Sambo grefita 156-19	216
	Sambo grefita 156-21	240
	Sambo grafita 156-23	308
Sambo PEVCD Grephite - Ny andiany 125	Sambo grefita 125-15	196
	Sambo grefita 125-19	252
	Sambo grifit 125-21	280