Uchwyt na płytkę z podłożem grafitowym do PECVD

Uchwyt na podłoże grafitowe VET Energy to precyzyjny nośnik zaprojektowany do procesu PECVD (chemicznego osadzania z fazy gazowej wspomaganego plazmą). Ten wysokiej jakości uchwyt na podłoże grafitowe wykonany jest z wysokiej czystości i gęstości grafitu, charakteryzującego się doskonałą odpornością na wysokie temperatury, odpornością na korozję, stabilnością wymiarową i innymi cechami. Zapewnia stabilną platformę nośną dla procesu PECVD oraz gwarantuje jednorodność i płaskość osadzania warstw.

Stół podtrzymujący wafle grafitowe PECVD firmy VET Energy charakteryzuje się następującymi cechami:

▪Wysoka czystość:wyjątkowo niska zawartość zanieczyszczeń, zapobiega zanieczyszczeniu filmu, gwarantuje jakość filmu.

▪Wysoka gęstość:Wysoka gęstość, wysoka wytrzymałość mechaniczna, odporność na wysokie temperatury i ciśnienia panujące w środowisku PECVD.

▪Dobra stabilność wymiarowa:niewielka zmiana wymiarów w wysokiej temperaturze, zapewniająca stabilność procesu.

▪Doskonała przewodność cieplna:skutecznie przenoszą ciepło, zapobiegając przegrzaniu się wafla.

▪Wysoka odporność na korozję:może być odporny na erozję powodowaną przez różne gazy korozyjne i plazmę.

▪Usługa dostosowana do potrzeb:Stoły podporowe grafitowe o różnych rozmiarach i kształtach mogą być dostosowane do potrzeb klienta.

Zalety produktu

▪Popraw jakość filmu:Zapewnij równomierne osadzanie filmu i popraw jego jakość.

▪Przedłużenie żywotności sprzętu:Doskonała odporność na korozję, wydłuża żywotność urządzeń PECVD.

▪Obniż koszty produkcji:Wysokiej jakości tacki grafitowe mogą zmniejszyć ilość odpadów i obniżyć koszty produkcji.