Podstawka pod wafel z grafitu do PECVD

Uchwyt na wafle VET Energy Graphite Substrate to precyzyjny nośnik zaprojektowany do procesu PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Ten wysokiej jakości uchwyt na grafitowe podłoże jest wykonany z materiału grafitowego o wysokiej czystości i gęstości, o doskonałej odporności na wysokie temperatury, odporności na korozję, stabilności wymiarowej i innych cechach. Może zapewnić stabilną platformę nośną dla procesu PECVD i zagwarantować jednorodność i płaskość osadzania filmu.

Stół podtrzymujący wafle grafitowe w procesie PECVD firmy VET Energy charakteryzuje się następującymi cechami:

▪Wysoka czystość:wyjątkowo niska zawartość zanieczyszczeń, zapobiega zanieczyszczeniu filmu, gwarantuje jakość filmu.

▪Wysoka gęstość:duża gęstość, wysoka wytrzymałość mechaniczna, odporność na wysoką temperaturę i wysokie ciśnienie w środowisku PECVD.

▪Dobra stabilność wymiarowa:niewielka zmiana wymiarów w wysokiej temperaturze, zapewniająca stabilność procesu.

▪Doskonała przewodność cieplna:skutecznie przenoszą ciepło, zapobiegając przegrzaniu się wafla.

▪Wysoka odporność na korozję:może być odporny na erozję powodowaną przez różne gazy korozyjne i plazmę.

▪Usługa dostosowana do potrzeb klienta:Stoły z grafitu o różnych rozmiarach i kształtach mogą być dostosowane do potrzeb klienta.

Zalety produktu

▪Popraw jakość filmu:Zapewnij równomierne osadzanie filmu i popraw jego jakość.

▪Przedłuż żywotność sprzętu:Doskonała odporność na korozję, wydłuża żywotność urządzeń PECVD.

▪Zmniejsz koszty produkcji:Wysokiej jakości tacki grafitowe mogą zmniejszyć ilość odpadów i obniżyć koszty produkcji.