VET एनर्जी ग्रेफाइट सबस्ट्रेट वेफर होल्डर, PECVD (प्लाज्मा एनहांस्ड केमिकल वेपर डिपोजिशन) प्रक्रिया के लिए डिज़ाइन किया गया एक सटीक वाहक है। यह उच्च गुणवत्ता वाला ग्रेफाइट सबस्ट्रेट होल्डर उच्च शुद्धता और उच्च घनत्व वाले ग्रेफाइट पदार्थ से बना है, जिसमें उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध, आयामी स्थिरता और अन्य विशेषताएं हैं। यह PECVD प्रक्रिया के लिए एक स्थिर सपोर्ट प्लेटफॉर्म प्रदान करता है और फिल्म डिपोजिशन की एकरूपता और समतलता सुनिश्चित करता है।
VET Energy PECVD प्रक्रिया द्वारा निर्मित ग्रेफाइट वेफर सपोर्ट टेबल में निम्नलिखित विशेषताएं हैं:
▪उच्च शुद्धता:अत्यंत कम अशुद्धता स्तर, फिल्म के संदूषण से बचाव, फिल्म की गुणवत्ता सुनिश्चित करना।
▪उच्च घनत्व:उच्च घनत्व, उच्च यांत्रिक शक्ति, उच्च तापमान और उच्च दबाव वाले PECVD वातावरण को सहन कर सकता है।
▪अच्छी आयामी स्थिरता:उच्च तापमान पर बहुत कम आयामी परिवर्तन होता है, जिससे प्रक्रिया की स्थिरता सुनिश्चित होती है।
▪उत्कृष्ट तापीय चालकता:वेफर को अधिक गर्म होने से बचाने के लिए ऊष्मा को प्रभावी ढंग से स्थानांतरित करना।
▪उच्च संक्षारण प्रतिरोध:यह विभिन्न संक्षारक गैसों और प्लाज्मा द्वारा होने वाले क्षरण का प्रतिरोध कर सकता है।
▪अनुकूलित सेवा:ग्राहकों की आवश्यकताओं के अनुसार विभिन्न आकारों और आकृतियों के ग्रेफाइट सपोर्ट टेबल को अनुकूलित किया जा सकता है।
उत्पाद के लाभ
▪फिल्म की गुणवत्ता में सुधार करें:फिल्म की एकसमान परत जमाव सुनिश्चित करें और फिल्म की गुणवत्ता में सुधार करें।
▪उपकरण का जीवनकाल बढ़ाएँ:उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध, पीईसीवीडी उपकरणों की सेवा अवधि को बढ़ाता है।
▪उत्पादन लागत कम करें:उच्च गुणवत्ता वाली ग्रेफाइट ट्रे स्क्रैप दर को कम कर सकती हैं और उत्पादन लागत को घटा सकती हैं।
एसजीएल से प्राप्त ग्रेफाइट सामग्री:
| विशिष्ट पैरामीटर: R6510 | |||
| अनुक्रमणिका | परीक्षण मानक | कीमत | इकाई |
| औसत अनाज का आकार | आईएसओ 13320 | 10 | माइक्रोन |
| थोक घनत्व | डीआईएन आईईसी 60413/204 | 1.83 | ग्राम/सेमी3 |
| खुली सरंध्रता | डीआईएन66133 | 10 | % |
| मध्यम छिद्र आकार | डीआईएन66133 | 1.8 | माइक्रोन |
| भेद्यता | डीआईएन 51935 | 0.06 | सेमी²/सेकंड |
| रॉकवेल कठोरता HR5/100 | डीआईएन आईईसी60413/303 | 90 | HR |
| विशिष्ट विद्युत प्रतिरोधकता | डीआईएन आईईसी 60413/402 | 13 | μΩm |
| आनमनी सार्मथ्य | डीआईएन आईईसी 60413/501 | 60 | एमपीए |
| सम्पीडक क्षमता | डीआईएन 51910 | 130 | एमपीए |
| यंग मापांक | डीआईएन 51915 | 11.5×10³ | एमपीए |
| तापीय प्रसार (20-200℃) | डीआईएन 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| तापीय चालकता (20℃) | डीआईएन 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
इसे विशेष रूप से उच्च दक्षता वाले सौर सेल निर्माण के लिए डिज़ाइन किया गया है, जो G12 बड़े आकार के वेफर प्रसंस्करण का समर्थन करता है। अनुकूलित कैरियर डिज़ाइन से उत्पादन क्षमता में उल्लेखनीय वृद्धि होती है, जिससे उच्च उपज दर और कम उत्पादन लागत संभव हो पाती है।
| वस्तु | प्रकार | नंबर वेफर कैरियर |
| पीईवीसीडी ग्रेफाइट नाव - 156 श्रृंखला | 156-13 ग्रेफाइट नाव | 144 |
| 156-19 ग्रेफाइट नाव | 216 | |
| 156-21 ग्रेफाइट नाव | 240 | |
| 156-23 ग्रेफाइट नाव | 308 | |
| पीईवीसीडी ग्रेफाइट नाव - 125 श्रृंखला | 125-15 ग्रेफाइट नाव | 196 |
| 125-19 ग्रेफाइट नाव | 252 | |
| 125-21 ग्रेफाइट नाव | 280 |
