PECVD के लिए ग्रेफाइट सब्सट्रेट वेफर होल्डर

वीईटी एनर्जी ग्रेफाइट सब्सट्रेट वेफर होल्डर एक सटीक वाहक है जिसे PECVD (प्लाज्मा एन्हांस्ड केमिकल वेपर डिपोजिशन) प्रक्रिया के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह उच्च गुणवत्ता वाला ग्रेफाइट सब्सट्रेट होल्डर उच्च शुद्धता, उच्च घनत्व वाले ग्रेफाइट सामग्री से बना है, जिसमें उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, संक्षारण प्रतिरोध, आयामी स्थिरता और अन्य विशेषताएं हैं। यह PECVD प्रक्रिया के लिए एक स्थिर समर्थन मंच प्रदान कर सकता है और फिल्म जमाव की एकरूपता और समतलता सुनिश्चित कर सकता है।

वीईटी एनर्जी पीईसीवीडी प्रक्रिया ग्रेफाइट वेफर सपोर्ट टेबल की निम्नलिखित विशेषताएं हैं:

▪उच्च शुद्धता:अत्यंत कम अशुद्धता सामग्री, फिल्म के संदूषण से बचें, फिल्म की गुणवत्ता सुनिश्चित करें।

▪उच्च घनत्व:उच्च घनत्व, उच्च यांत्रिक शक्ति, उच्च तापमान और उच्च दबाव PECVD वातावरण का सामना कर सकते हैं।

▪अच्छी आयामी स्थिरता:उच्च तापमान पर छोटे आयामी परिवर्तन, प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित करना।

▪उत्कृष्ट तापीय चालकता:वेफर को अधिक गर्म होने से बचाने के लिए प्रभावी रूप से गर्मी का स्थानांतरण करें।

▪मजबूत संक्षारण प्रतिरोध:विभिन्न संक्षारक गैसों और प्लाज्मा द्वारा क्षरण का प्रतिरोध कर सकता है।

▪अनुकूलित सेवा:विभिन्न आकारों और आकृतियों के ग्रेफाइट समर्थन तालिकाओं को ग्राहकों की आवश्यकताओं के अनुसार अनुकूलित किया जा सकता है।

उत्पाद लाभ

▪फिल्म की गुणवत्ता में सुधार:एकसमान फिल्म जमाव सुनिश्चित करें और फिल्म की गुणवत्ता में सुधार करें।

▪उपकरण का जीवन बढ़ाएं:उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोध, PECVD उपकरणों की सेवा जीवन का विस्तार।

▪उत्पादन लागत कम करें:उच्च गुणवत्ता वाले ग्रेफाइट ट्रे स्क्रैप दर को कम कर सकते हैं और उत्पादन लागत को कम कर सकते हैं।