ʻO ka VET Energy Graphite Substrate Wafer Holder kahi mea lawe pololei i hoʻolālā ʻia no ke kaʻina hana PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Hana ʻia kēia Graphite Substrate Holder kiʻekiʻe me ka mea graphite maʻemaʻe kiʻekiʻe, me ke kūpaʻa wela kiʻekiʻe maikaʻi loa, ke kūpaʻa i ka pala, ke kūpaʻa dimensional a me nā ʻano ʻē aʻe. Hiki iā ia ke hāʻawi i kahi kahua kākoʻo paʻa no ke kaʻina hana PECVD a hōʻoia i ka like a me ka palahalaha o ka waiho ʻana o ka ʻiliʻili.
ʻO ka papa kākoʻo wafer graphite kaʻina hana VET Energy PECVD nā ʻano penei:
▪Maʻemaʻe kiʻekiʻe:haʻahaʻa loa ka ʻike haumia, pale i ka haumia o ke kiʻiʻoniʻoni, e hōʻoia i ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni.
▪Kiʻekiʻe ka nui:ke kiʻekiʻe o ka nui, ka ikaika mechanical kiʻekiʻe, hiki ke kū i ke kiʻekiʻe o ka mahana a me ke kaomi kiʻekiʻe o ke kaiapuni PECVD.
▪Paʻa maikaʻi o ka ana:ka loli liʻiliʻi o ka dimensional ma ke ana wela kiʻekiʻe, e hōʻoiaʻiʻo ana i ke kūpaʻa o ke kaʻina hana.
▪Ka hoʻokele wela maikaʻi loa:hoʻoili pono i ka wela e pale ai i ka wela nui ʻana o ka wafer.
▪Ke kūpaʻa ikaika i ka pala:hiki ke pale aku i ka ʻino ʻia e nā kinoea ʻino a me ka plasma.
▪Hana lawelawe i hoʻopilikino ʻia:hiki ke hoʻopilikino ʻia nā papa kākoʻo graphite o nā nui like ʻole a me nā ʻano e like me nā pono o ka mea kūʻai aku.
Nā Pōmaikaʻi Huahana
▪Hoʻomaikaʻi i ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni:E hōʻoia i ka waiho like ʻana o ka ʻiliʻili a hoʻomaikaʻi i ka maikaʻi o ke kiʻiʻoniʻoni.
▪Hoʻolōʻihi i ke ola o nā lako:ʻO ke kūpaʻa maikaʻi loa i ka pala, hoʻolōʻihi i ke ola lawelawe o nā lako PECVD.
▪E hōʻemi i nā kumukūʻai hana:Hiki i nā pā graphite kiʻekiʻe ke hōʻemi i ka wikiwiki o ka ʻōpala a hoʻemi i nā kumukūʻai hana.
Mea graphite mai SGL:
| ʻO ke ana maʻamau: R6510 | |||
| Papa Kuhikuhi | Kūlana hoʻāʻo | Waiwai | ʻĀpana |
| Ka nui o ka palaoa maʻamau | ISO 13320 | 10 | μm |
| Ka nui o ka nui | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Ka porosity hāmama | DIN66133 | 10 | % |
| Ka nui o nā pore waena | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Ka hiki ke komo | DIN 51935 | 0.06 | kenimika²/s |
| ʻO ka paʻakikī Rockwell HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Ke kū'ē uila kiko'ī | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Ikaika kūlou | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Ikaika hoʻopaʻa | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Modulus o Young | DIN 51915 | 11.5×10³ | MPa |
| Hoʻonui wela (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Ka hoʻokele wela (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Ua hoʻolālā kūikawā ʻia no ka hana ʻana i nā cell solar kiʻekiʻe, e kākoʻo ana i ka hana wafer nui G12. Hoʻonui nui ka hoʻolālā lawe i hoʻomaikaʻi ʻia i ka throughput, e hiki ai ke kiʻekiʻe i nā helu hua a me nā kumukūʻai hana haʻahaʻa.
| Mea | ʻAno | Mea lawe wafer helu |
| Waʻa PEVCD Grephite - Ka moʻo 156 | 156-13 waʻa grephite | 144 |
| 156-19 waʻa grephite | 216 | |
| 156-21 waʻa grephite | 240 | |
| 156-23 waʻa graphite | 308 | |
| Waʻa PEVCD Grephite - Ka moʻo 125 | waʻa grephite 125-15 | 196 |
| 125-19 waʻa grephite | 252 | |
| 125-21 waʻa griphite | 280 |
