Sehokelo sa Wafer sa Graphite Substrate bakeng sa PECVD

Setshwari sa Wafer sa Graphite Substrate bakeng sa PECVD Setšoantšo se Hlahisitsoeng

Tlhaloso e Khutšoanyane:

Setshwari sa Graphite Substrate sa VET Energy se entswe ho boloka ho lekana ha wafer le botsitso nakong yohle ya tshebetso ya PECVD, ho thibela tshilafatso le ho fokotsa kotsi ya tshenyo. Setshwari sa Graphite Wafer se fana ka sethala se sireletsehileng, se lekanang, se netefatsang hore di-wafer di pepesetswa ka ho lekana plasma bakeng sa ho bewa ka ho tsitsa le boleng bo hodimo. Ka ho tsamaisa ha yona mocheso o phahameng le matla a ikgethang, setshwari sena se thusa ho ntlafatsa bokgoni ba tshebetso ka kakaretso le tshebetso ya sehlahiswa.

Romella imeile ho rona Khoasolla e le PDF

Qaqiso ea Sehlahisoa

Li-tag tsa Sehlahisoa

Setshwari sa Wafer sa VET Energy Graphite Substrate ke sesebelisoa sa ho jara ka nepo se etselitsoeng ts'ebetso ea PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Setshwari sena sa Graphite Substrate sa boleng bo holimo se entsoe ka thepa ea graphite e hloekileng haholo, e nang le bongata bo phahameng, e nang le khanyetso e ntle ea mocheso o phahameng, khanyetso ea mafome, botsitso ba litekanyo le litšobotsi tse ling. E ka fana ka sethala se tsitsitseng sa tšehetso bakeng sa ts'ebetso ea PECVD le ho netefatsa ho ts'oana le ho batalla ha ho beoa ha filimi.

Tafole ea tšehetso ea wafer ea graphite ea VET Energy PECVD e na le litšobotsi tse latelang:

▪Bohloeki bo phahameng:dikahare tse tlase haholo tsa ditshila, qoba tšilafalo ya filimi, netefatsa boleng ba filimi.

▪Sekhahla se phahameng:e teteaneng haholo, matla a phahameng a mechini, e ka mamella mocheso o phahameng le tikoloho ea khatello e phahameng ea PECVD.

▪Botsitso bo botle ba tekanyo:phetoho e nyane ea litekanyo mochesong o phahameng, ho netefatsa botsitso ba ts'ebetso.

▪Ho tsamaisa mocheso hantle haholo:fetisetsa mocheso ka katleho ho thibela ho chesa haholo ha wafer.

▪Khanyetso e matla ea ts'enyeho:e ka hanela khoholeho ea mobu ke likhase tse fapaneng tse senyang le plasma.

▪Tšebeletso e ikhethileng:Litafole tsa tšehetso ea graphite tsa boholo le libopeho tse fapaneng li ka fetoloa ho latela litlhoko tsa bareki.

Melemo ea Sehlahisoa

▪Ntlafatsa boleng ba filimi:Netefatsa hore filimi e kenngoa ka mokhoa o ts'oanang 'me u ntlafatse boleng ba filimi.

▪Eketsa nako ea lisebelisoa:E hanyetsa mafome hantle haholo, e eketsa bophelo ba ts'ebeletso ea lisebelisoa tsa PECVD.

▪Fokotsa litšenyehelo tsa tlhahiso:Literei tsa graphite tsa boleng bo holimo li ka fokotsa sekhahla sa lithōle le ho fokotsa litšenyehelo tsa tlhahiso.

Thepa ea graphite e tsoang ho SGL:

Paramethara e tloaelehileng: R6510
Index	Tekanyetso ea teko	Boleng	Yuniti
Boholo bo tloaelehileng ba lijo-thollo	ISO 13320	10	μm
Bongata ba bongata	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Maro a bulehileng	DIN66133	10	%
Boholo ba masoba a mahareng	DIN66133	1.8	μm
Ho kenella ha metsi	DIN 51935	0.06	cm²/s
Thatafalo ea Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Ho hanyetsa motlakase ka ho khetheha	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Matla a ho tenyetseha	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Matla a khatello	DIN 51910	130	MPa
Modulus ea Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Katoloso ea mocheso (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Ho tsamaisa mocheso (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

E etselitsoe ka ho khetheha tlhahiso ea lisele tsa letsatsi tse sebetsang hantle haholo, e tšehetsang ts'ebetso ea wafer ea boholo bo boholo ba G12. Moralo o ntlafalitsoeng oa carrier o eketsa tlhahiso haholo, o nolofalletsang sekhahla se phahameng sa chai le litšenyehelo tse tlase tsa tlhahiso.

Ntho	Mofuta	Sejari sa wafer sa nomoro
Sekepe sa PEVCD Grephite - Letoto la 156	Sekepe sa grephite sa 156-13	144
	Sekepe sa grephite sa 156-19	216
	Sekepe sa grephite sa 156-21	240
	Sekepe sa graphite sa 156-23	308
Sekepe sa PEVCD Grephite - Letoto la 125	Sekepe sa grephite sa 125-15	196
	Sekepe sa grephite sa 125-19	252
	Sekepe sa 125-21 sa grphite	280