PECVD-க்கான கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு வேஃபர் ஹோல்டர்

VET எனர்ஜி கிராஃபைட் சப்ஸ்ட்ரேட் வேஃபர் ஹோல்டர் என்பது PECVD (பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட இரசாயன ஆவிப் படிவு) செயல்முறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு துல்லியமான தாங்கியாகும். இந்த உயர்தர கிராஃபைட் சப்ஸ்ட்ரேட் ஹோல்டர், உயர் தூய்மை மற்றும் அதிக அடர்த்தி கொண்ட கிராஃபைட் பொருளால் ஆனது. இது சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, பரிமாண நிலைத்தன்மை மற்றும் பிற பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இது PECVD செயல்முறைக்கு ஒரு நிலையான ஆதரவு தளத்தை வழங்குவதோடு, படலப் படிவின் சீரான தன்மையையும் சமதளத்தையும் உறுதி செய்கிறது.

VET எனர்ஜி PECVD செயல்முறை கிராஃபைட் வேஃபர் ஆதரவு மேசை பின்வரும் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது:

▪உயர் தூய்மை:மிகக் குறைந்த அசுத்த உள்ளடக்கம், படச்சுருள் மாசுபடுவதைத் தவிர்த்து, அதன் தரத்தை உறுதி செய்கிறது.

▪அதிக அடர்த்தி:அதிக அடர்த்தி, அதிக இயந்திர வலிமை, உயர் வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்த PECVD சூழலைத் தாங்கும் திறன்.

▪நல்ல பரிமாண நிலைத்தன்மை:உயர் வெப்பநிலையில் ஏற்படும் சிறிய பரிமாண மாற்றம், செயல்முறை நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

▪சிறந்த வெப்பக் கடத்துத்திறன்:வேஃபர் அதிக வெப்பமடைவதைத் தடுக்க, வெப்பத்தைத் திறம்படக் கடத்துகிறது.

▪வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்புத்திறன்:பல்வேறு அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் பிளாஸ்மாவினால் ஏற்படும் அரிப்பை எதிர்க்கும் திறன் கொண்டது.

▪தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவை:வாடிக்கையாளரின் தேவைகளுக்கு ஏற்ப, பல்வேறு அளவுகள் மற்றும் வடிவங்களில் உள்ள கிராஃபைட் தாங்கு மேசைகளைத் தனிப்பயனாக்கித் தரலாம்.

தயாரிப்பு நன்மைகள்

▪திரைப்படத்தின் தரத்தை மேம்படுத்துங்கள்:சீரான படலப் படிவை உறுதிசெய்து, படலத்தின் தரத்தை மேம்படுத்துங்கள்.

▪உபகரணங்களின் ஆயுளை நீட்டிக்கவும்:சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்புத் திறன், PECVD உபகரணங்களின் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கிறது.

▪உற்பத்திச் செலவுகளைக் குறைக்கவும்:உயர்தர கிராஃபைட் தட்டுகள் கழிவு விகிதத்தைக் குறைத்து, உற்பத்திச் செலவுகளையும் குறைக்க உதவும்.