PECVDக்கான கிராஃபைட் அடி மூலக்கூறு வேஃபர் ஹோல்டர்

VET எனர்ஜி கிராஃபைட் சப்ஸ்ட்ரேட் வேஃபர் ஹோல்டர் என்பது PECVD (பிளாஸ்மா மேம்படுத்தப்பட்ட வேதியியல் நீராவி படிவு) செயல்முறைக்காக வடிவமைக்கப்பட்ட ஒரு துல்லியமான கேரியர் ஆகும். இந்த உயர்தர கிராஃபைட் சப்ஸ்ட்ரேட் ஹோல்டர் உயர் தூய்மை, அதிக அடர்த்தி கொண்ட கிராஃபைட் பொருளால் ஆனது, சிறந்த உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு, பரிமாண நிலைத்தன்மை மற்றும் பிற பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது. இது PECVD செயல்முறைக்கு ஒரு நிலையான ஆதரவு தளத்தை வழங்க முடியும் மற்றும் படப் படிவின் சீரான தன்மை மற்றும் தட்டையான தன்மையை உறுதி செய்யும்.

VET எனர்ஜி PECVD செயல்முறை கிராஃபைட் வேஃபர் ஆதரவு அட்டவணை பின்வரும் பண்புகளைக் கொண்டுள்ளது:

▪அதிக தூய்மை:மிகக் குறைந்த அசுத்த உள்ளடக்கம், படலம் மாசுபடுவதைத் தவிர்க்கவும், படலத்தின் தரத்தை உறுதி செய்யவும்.

▪அதிக அடர்த்தி:அதிக அடர்த்தி, அதிக இயந்திர வலிமை, அதிக வெப்பநிலை மற்றும் உயர் அழுத்த PECVD சூழலைத் தாங்கும்.

▪நல்ல பரிமாண நிலைத்தன்மை:அதிக வெப்பநிலையில் சிறிய பரிமாண மாற்றம், செயல்முறை நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்கிறது.

▪சிறந்த வெப்ப கடத்துத்திறன்:வேஃபர் அதிக வெப்பமடைவதைத் தடுக்க வெப்பத்தை திறம்பட மாற்றுகிறது.

▪வலுவான அரிப்பு எதிர்ப்பு:பல்வேறு அரிக்கும் வாயுக்கள் மற்றும் பிளாஸ்மாவால் ஏற்படும் அரிப்பை எதிர்க்கும்.

▪தனிப்பயனாக்கப்பட்ட சேவை:பல்வேறு அளவுகள் மற்றும் வடிவங்களில் உள்ள கிராஃபைட் ஆதரவு அட்டவணைகளை வாடிக்கையாளர் தேவைகளுக்கு ஏற்ப தனிப்பயனாக்கலாம்.

தயாரிப்பு நன்மைகள்

▪படத்தின் தரத்தை மேம்படுத்த:சீரான படலம் படிவதை உறுதிசெய்து படலத்தின் தரத்தை மேம்படுத்தவும்.

▪உபகரணங்களின் ஆயுளை நீட்டிக்கவும்:சிறந்த அரிப்பு எதிர்ப்பு, PECVD உபகரணங்களின் சேவை ஆயுளை நீட்டிக்கிறது.

▪உற்பத்தி செலவுகளைக் குறைக்க:உயர்தர கிராஃபைட் தட்டுகள் ஸ்கிராப் விகிதத்தைக் குறைத்து உற்பத்திச் செலவுகளைக் குறைக்கும்.