व्हीईटी एनर्जी ग्राफाइट सबस्ट्रेट वेफर होल्डर हे पीईसीव्हीडी (प्लाझ्मा एनहान्स्ड केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन) प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेले एक अचूक वाहक आहे. हे उच्च-गुणवत्तेचे ग्राफाइट सबस्ट्रेट होल्डर उच्च-शुद्धता आणि उच्च-घनतेच्या ग्राफाइट मटेरियलपासून बनवलेले आहे, ज्यात उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोध, गंज प्रतिरोध, आकारमान स्थिरता आणि इतर वैशिष्ट्ये आहेत. हे पीईसीव्हीडी प्रक्रियेसाठी एक स्थिर आधार मंच प्रदान करू शकते आणि फिल्म डिपॉझिशनची एकसमानता व सपाटपणा सुनिश्चित करते.
VET एनर्जी PECVD प्रक्रियेच्या ग्राफाइट वेफर सपोर्ट टेबलमध्ये खालील वैशिष्ट्ये आहेत:
▪उच्च शुद्धता:अत्यंत कमी अशुद्धता प्रमाण, फिल्मचे दूषितीकरण टाळते, फिल्मच्या गुणवत्तेची खात्री देते.
▪उच्च घनता:उच्च घनता, उच्च यांत्रिक शक्ती, उच्च तापमान आणि उच्च दाबाच्या PECVD वातावरणात टिकून राहू शकते.
▪चांगली आयामी स्थिरता:उच्च तापमानात अल्प आकारमान बदल, ज्यामुळे प्रक्रियेची स्थिरता सुनिश्चित होते.
▪उत्कृष्ट औष्णिक वाहकता:वेफर जास्त गरम होण्यापासून रोखण्यासाठी उष्णता प्रभावीपणे हस्तांतरित करणे.
▪उत्कृष्ट गंजरोधकता:विविध क्षरणकारी वायू आणि प्लाझ्मामुळे होणाऱ्या झिजेला प्रतिकार करू शकते.
▪सानुकूलित सेवा:ग्राहकांच्या गरजेनुसार वेगवेगळ्या आकारांचे आणि प्रकारांचे ग्राफाइट सपोर्ट टेबल बनवून घेता येतात.
उत्पादनाचे फायदे
▪फिल्मची गुणवत्ता सुधारा:फिल्मचे एकसमान निक्षेपण सुनिश्चित करा आणि फिल्मची गुणवत्ता सुधारा.
▪उपकरणांचे आयुष्य वाढवा:उत्कृष्ट गंजरोधक क्षमता, पीईसीव्हीडी उपकरणांचे सेवा आयुष्य वाढवते.
▪उत्पादन खर्च कमी करा:दर्जेदार ग्राफाइट ट्रेमुळे टाकाऊ मालाचे प्रमाण कमी होते आणि उत्पादन खर्चही कमी होतो.
एसजीएल कडून मिळालेले ग्राफाइट साहित्य:
| सामान्य पॅरामीटर: R6510 | |||
| अनुक्रमणिका | चाचणी मानक | मूल्य | युनिट |
| सरासरी कण आकार | आयएसओ १३३२० | १० | μm |
| स्थूल घनता | डीआयएन आयईसी ६०४१३/२०४ | १.८३ | ग्रॅम/सेमी3 |
| खुली सच्छिद्रता | डीआयएन६६१३३ | १० | % |
| मध्यम छिद्र आकार | डीआयएन६६१३३ | १.८ | μm |
| पारगम्यता | डीआयएन ५१९३५ | ०.०६ | सेमी²/सेकंद |
| रॉकवेल कठीणता एचआर५/१०० | डीआयएन आयईसी६०४१३/३०३ | ९० | HR |
| विशिष्ट विद्युत रोधकता | डीआयएन आयईसी ६०४१३/४०२ | १३ | μΩm |
| वाकण्याची ताकद | डीआयएन आयईसी ६०४१३/५०१ | 60 | एमपीए |
| संपीडन शक्ती | डीआयएन ५१९१० | १३० | एमपीए |
| यंगचा मापांक | डीआयएन ५१९१५ | ११.५×१०³ | एमपीए |
| औष्णिक प्रसरण (२०-२००℃) | डीआयएन ५१९०९ | ४.२X१०-6 | K-1 |
| औष्णिक वाहकता (20℃) | डीआयएन ५१९०८ | १०५ | Wm-1K-1 |
हे विशेषतः उच्च-कार्यक्षम सौर सेल निर्मितीसाठी डिझाइन केलेले आहे, जे G12 मोठ्या आकाराच्या वेफर प्रोसेसिंगला समर्थन देते. ऑप्टिमाइझ केलेल्या कॅरियर डिझाइनमुळे थ्रुपुटमध्ये लक्षणीय वाढ होते, ज्यामुळे उच्च उत्पादन दर आणि कमी उत्पादन खर्च शक्य होतो.
| वस्तू | प्रकार | नंबर वेफर वाहक |
| पीईव्हीसीडी ग्रेफाइट बोट - १५६ मालिका | १५६-१३ ग्रेफाइट बोट | १४४ |
| १५६-१९ ग्रेफाइट बोट | २१६ | |
| १५६-२१ ग्रेफाइट बोट | २४० | |
| १५६-२३ ग्राफाइट बोट | ३०८ | |
| पीईव्हीसीडी ग्रेफाइट बोट - १२५ सिरीज | १२५-१५ ग्रेफाइट बोट | १९६ |
| १२५-१९ ग्रेफाइट बोट | २५२ | |
| १२५-२१ ग्रॅफाइट बोट | २८० |







