PECVD साठी ग्रेफाइट सब्सट्रेट वेफर होल्डर

व्हीईटी एनर्जी ग्रेफाइट सब्सट्रेट वेफर होल्डर हा एक अचूक वाहक आहे जो पीईसीव्हीडी (प्लाझ्मा एन्हांस्ड केमिकल व्हेपर डिपॉझिशन) प्रक्रियेसाठी डिझाइन केलेला आहे. हा उच्च-गुणवत्तेचा ग्रेफाइट सब्सट्रेट होल्डर उच्च-शुद्धता, उच्च-घनता ग्रेफाइट मटेरियलपासून बनलेला आहे, ज्यामध्ये उत्कृष्ट उच्च तापमान प्रतिरोधकता, गंज प्रतिरोधकता, मितीय स्थिरता आणि इतर वैशिष्ट्ये आहेत. हे पीईसीव्हीडी प्रक्रियेसाठी एक स्थिर समर्थन प्लॅटफॉर्म प्रदान करू शकते आणि फिल्म डिपॉझिशनची एकरूपता आणि सपाटपणा सुनिश्चित करू शकते.

VET एनर्जी PECVD प्रक्रिया ग्रेफाइट वेफर सपोर्ट टेबलमध्ये खालील वैशिष्ट्ये आहेत:

▪उच्च शुद्धता:अत्यंत कमी अशुद्धता सामग्री, चित्रपटाचे दूषितीकरण टाळा, चित्रपटाची गुणवत्ता सुनिश्चित करा.

▪उच्च घनता:उच्च घनता, उच्च यांत्रिक शक्ती, उच्च तापमान आणि उच्च दाब PECVD वातावरणाचा सामना करू शकते.

▪चांगली मितीय स्थिरता:उच्च तापमानात लहान मितीय बदल, प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित करते.

▪उत्कृष्ट औष्णिक चालकता:वेफर जास्त गरम होण्यापासून रोखण्यासाठी उष्णता प्रभावीपणे हस्तांतरित करा.

▪मजबूत गंज प्रतिकार:विविध संक्षारक वायू आणि प्लाझ्मा यांच्या क्षरणाचा प्रतिकार करू शकते.

▪सानुकूलित सेवा:ग्राहकांच्या गरजेनुसार वेगवेगळ्या आकारांचे आणि आकारांचे ग्रेफाइट सपोर्ट टेबल्स कस्टमाइझ केले जाऊ शकतात.

उत्पादनाचे फायदे

▪चित्रपटाची गुणवत्ता सुधारा:एकसमान फिल्म डिपॉझिशन सुनिश्चित करा आणि फिल्मची गुणवत्ता सुधारा.

▪उपकरणांचे आयुष्य वाढवा:उत्कृष्ट गंज प्रतिकार, PECVD उपकरणांचे सेवा आयुष्य वाढवते.

▪उत्पादन खर्च कमी करा:उच्च-गुणवत्तेच्या ग्रेफाइट ट्रे स्क्रॅप रेट कमी करू शकतात आणि उत्पादन खर्च कमी करू शकतात.