A VET Energy grafithordozó-tartó egy precíziós hordozó, amelyet PECVD (plazma-erősített kémiai gőzfázisú leválasztás) eljáráshoz terveztek. Ez a kiváló minőségű grafithordozó-tartó nagy tisztaságú, nagy sűrűségű grafit anyagból készül, kiváló hőállósággal, korrózióállósággal, méretstabilitással és egyéb jellemzőkkel rendelkezik. Stabil tartófelületet biztosít a PECVD eljáráshoz, és biztosítja a filmlerakódás egyenletességét és sík felületét.
A VET Energy PECVD eljárással készült grafit ostyatartó asztala a következő jellemzőkkel rendelkezik:
▪Nagy tisztaságú:Rendkívül alacsony szennyeződés-tartalom, a film szennyeződésének elkerülése, a film minőségének biztosítása.
▪Nagy sűrűség:nagy sűrűségű, nagy mechanikai szilárdságú, ellenáll a magas hőmérsékletnek és a nagynyomású PECVD környezetnek.
▪Jó méretstabilitás:kis méretváltozás magas hőmérsékleten, biztosítva a folyamat stabilitását.
▪Kiváló hővezető képesség:hatékonyan vezeti át a hőt, hogy megakadályozza az ostya túlmelegedését.
▪Erős korrózióállóság:ellenáll a különféle korrozív gázok és a plazma eróziójának.
▪Testreszabott szolgáltatás:Különböző méretű és formájú grafit tartóasztalok testreszabhatók az ügyfél igényei szerint.
Termék előnyei
▪A film minőségének javítása:Biztosítsa az egyenletes fólialerakódást és javítsa a fólia minőségét.
▪A berendezés élettartamának meghosszabbítása:Kiváló korrózióállóság, meghosszabbítja a PECVD berendezések élettartamát.
▪Csökkentse a termelési költségeket:A kiváló minőségű grafittálcák csökkenthetik a selejt mennyiségét és a termelési költségeket.
Grafit anyag az SGL-től:
| Tipikus paraméter: R6510 | |||
| Index | Vizsgálati szabvány | Érték | Egység |
| Átlagos szemcseméret | ISO 13320 | 10 | μm |
| Térfogatsűrűség | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | g/cm3 |
| Nyitott porozitás | DIN66133 | 10 | % |
| Közepes pórusméretű | DIN66133 | 1.8 | μm |
| Áteresztőképesség | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Rockwell keménység HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Fajlagos elektromos ellenállás | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Hajlító szilárdság | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Nyomószilárdság | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Young modulusa | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
| Hőtágulás (20-200 ℃) | DIN 51909 | 4,2x10-6 | K-1 |
| Hővezető képesség (20 ℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Kifejezetten nagy hatékonyságú napelemgyártáshoz tervezték, támogatva a G12 nagyméretű szeletek feldolgozását. Az optimalizált hordozótervezés jelentősen növeli az átviteli sebességet, lehetővé téve a magasabb hozamot és az alacsonyabb termelési költségeket.
| Tétel | Típus | Számlap hordozó |
| PEVCD Grephite hajó - A 156-os sorozat | 156-13 grefit csónak | 144 |
| 156-19 grefit csónak | 216 | |
| 156-21 grefit csónak | 240 | |
| 156-23 grafit csónak | 308 | |
| PEVCD Grephite hajó - A 125-ös sorozat | 125-15 grefit csónak | 196 |
| 125-19 grefit csónak | 252 | |
| 125-21 grafit csónak | 280 |
