PECVD Laaibak Deponering Grafietbak

Kort beskrywing:

VET Energy se PECVD-laaibak is ontwerp om veilige en egalige ondersteuning vir wafers tydens afsetting te bied, wat die konsekwentheid en kwaliteit van die afsettingsproses verbeter. Met sy uitstekende hittebestandheid help die grafietbak om 'n beheerde omgewing binne PECVD-kamers te handhaaf, wat die risiko van kontaminasie verminder en hoë prosesdoeltreffendheid verseker.

Stuur e-pos aan ons Laai af as PDF

Produkbesonderhede

Produk-etikette

VET Energy PECVD-laaibak is 'n presisiedraer wat ontwerp is vir die PECVD-proses (plasma-versterkte chemiese dampafsetting). Hierdie hoëgehalte-afsettingsgrafietbak is gemaak van hoë-suiwerheid, hoë-digtheid grafietmateriaal. Dit het uitstekende hoë temperatuurweerstand, korrosieweerstand, dimensionele stabiliteit en ander eienskappe. Dit kan 'n stabiele draerplatform vir die PECVD-proses bied en die eenvormigheid en platheid van filmafsetting verseker.

VET Energy PECVD-laaibakke word wyd gebruik in halfgeleier-, fotovoltaïese, LED- en ander velde. Byvoorbeeld:

▪ Halfgeleier: PECVD-proses vir halfgeleiermateriale soos silikonwafers en epitaksiale wafers.

▪ Fotovoltaïes: PECVD-proses vir sonsel-dunfilms.

▪ LED: PECVD-proses vir LED-skyfies.

Produkvoordele

▪Verbeter filmkwaliteit:Verseker eenvormige filmafsetting en verbeter filmkwaliteit.

▪Verleng toerusting se lewensduur:Uitstekende korrosiebestandheid, verleng die lewensduur van PECVD-toerusting.

▪Verminder produksiekoste:Hoëgehalte-grafietbakke kan die afvalkoers verminder en produksiekoste verlaag.

Grafietmateriaal van SGL:

Tipiese parameter: R6510
Indeks	Toetsstandaard	Waarde	Eenheid
Gemiddelde korrelgrootte	ISO 13320	10	μm
Grootmaatdigtheid	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Oop porositeit	DIN66133	10	%
Medium poriegrootte	DIN66133	1.8	μm
Deurlaatbaarheid	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell-hardheid HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Spesifieke elektriese weerstand	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Buigsterkte	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Druksterkte	DIN 51910	130	MPa
Young se modulus	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Termiese uitbreiding (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Termiese geleidingsvermoë (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Dit is spesifiek ontwerp vir hoë-doeltreffendheid sonselvervaardiging, wat G12 grootskaalse waferverwerking ondersteun. Geoptimaliseerde draerontwerp verhoog die deurset aansienlik, wat hoër opbrengskoerse en laer produksiekoste moontlik maak.

Item	Tipe	Nommerwafeldraer
PEVCD Grephite-boot - Die 156-reeks	156-13 grepietboot	144
	156-19 grepietboot	216
	156-21 grepietboot	240
	156-23 grafietboot	308
PEVCD Grephite-boot - Die 125-reeks	125-15 grepietboot	196
	125-19 grepietboot	252
	125-21 grafietboot	280