VET බලශක්ති ග්රැෆයිට් උපස්ථර වේෆර් රඳවනය යනු PECVD (ප්ලාස්මා වැඩිදියුණු කළ රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් කිරීම) ක්රියාවලිය සඳහා නිර්මාණය කර ඇති නිරවද්ය වාහකයකි. මෙම උසස් තත්ත්වයේ ග්රැෆයිට් උපස්ථර රඳවනය ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත්, ඉහළ ඝනත්ව ග්රැෆයිට් ද්රව්ය වලින් සාදා ඇති අතර විශිෂ්ට ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධයක්, විඛාදන ප්රතිරෝධයක්, මාන ස්ථායිතාවයක් සහ අනෙකුත් ලක්ෂණ ඇත. එය PECVD ක්රියාවලිය සඳහා ස්ථාවර ආධාරක වේදිකාවක් සැපයිය හැකි අතර පටල තැන්පත් වීමේ ඒකාකාරිත්වය සහ පැතලි බව සහතික කළ හැකිය.
VET බලශක්ති PECVD ක්රියාවලි මිනිරන් වේෆර් ආධාරක වගුවට පහත ලක්ෂණ ඇත:
▪ ▪ ශ්රව්ය දෘශ්යකරණයඉහළ සංශුද්ධතාවය:අතිශයින් අඩු අපිරිසිදු අන්තර්ගතය, පටල දූෂණය වීම වැළැක්වීම, පටල ගුණාත්මකභාවය සහතික කිරීම.
▪ ▪ ශ්රව්ය දෘශ්යකරණයඅධික ඝනත්වය:ඉහළ ඝනත්වය, ඉහළ යාන්ත්රික ශක්තිය, ඉහළ උෂ්ණත්වය සහ අධි පීඩන PECVD පරිසරයට ඔරොත්තු දිය හැකිය.
▪ ▪ ශ්රව්ය දෘශ්යකරණයහොඳ මාන ස්ථාවරත්වයක්:ඉහළ උෂ්ණත්වයේ දී කුඩා මානයන් වෙනස් වීම, ක්රියාවලි ස්ථායිතාව සහතික කිරීම.
▪ ▪ ශ්රව්ය දෘශ්යකරණයවිශිෂ්ට තාප සන්නායකතාවය:වේෆර් අධික උනුසුම් වීම වැළැක්වීම සඳහා ඵලදායී ලෙස තාපය මාරු කරයි.
▪ ▪ ශ්රව්ය දෘශ්යකරණයශක්තිමත් විඛාදන ප්රතිරෝධය:විවිධ විඛාදන වායු සහ ප්ලාස්මා මගින් ඛාදනයට ඔරොත්තු දිය හැකිය.
▪ ▪ ශ්රව්ය දෘශ්යකරණයඅභිරුචිකරණය කළ සේවාව:විවිධ ප්රමාණයන්ගෙන් සහ හැඩයන්ගෙන් යුත් මිනිරන් ආධාරක වගු පාරිභෝගික අවශ්යතා අනුව අභිරුචිකරණය කළ හැකිය.
නිෂ්පාදන වාසි
▪ ▪ ශ්රව්ය දෘශ්යකරණයචිත්රපට ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කරන්න:ඒකාකාර පටල තැන්පත් වීම සහතික කිරීම සහ පටලයේ ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කිරීම.
▪ ▪ ශ්රව්ය දෘශ්යකරණයඋපකරණ ආයු කාලය දීර්ඝ කරන්න:විශිෂ්ට විඛාදන ප්රතිරෝධය, PECVD උපකරණවල සේවා කාලය දීර්ඝ කිරීම.
▪ ▪ ශ්රව්ය දෘශ්යකරණයනිෂ්පාදන පිරිවැය අඩු කරන්න:උසස් තත්ත්වයේ මිනිරන් තැටි මඟින් සීරීම් අනුපාතය අඩු කර නිෂ්පාදන පිරිවැය අඩු කළ හැකිය.
SGL වෙතින් මිනිරන් ද්රව්ය:
| සාමාන්ය පරාමිතිය: R6510 | |||
| දර්ශකය | පරීක්ෂණ ප්රමිතිය | වටිනාකම | ඒකකය |
| සාමාන්ය ධාන්ය ප්රමාණය | අයිඑස්ඕ 13320 | 10 යි | μm |
| තොග ඝනත්වය | ඩින් අයිඊසී 60413/204 | 1.83 යනු | ග්රෑම්/සෙ.මී.3 |
| විවෘත සිදුරු | DIN66133 හඳුන්වා දීම | 10 යි | % |
| මධ්යම සිදුරු ප්රමාණය | DIN66133 හඳුන්වා දීම | 1.8 මාලා | μm |
| පාරගම්යතාව | ඩින් 51935 | 0.06 යනු | සෙ.මී.²/තත්පරය |
| රොක්වෙල් දෘඪතාව HR5/100 | DIN IEC60413/303 හඳුන්වා දීම | 90 යි | HR |
| නිශ්චිත විද්යුත් ප්රතිරෝධය | ඩින් අයිඊසී 60413/402 | 13 | μΩm |
| නම්යශීලී ශක්තිය | ඩින් අයිඊසී 60413/501 | 60 | එම්පීඒ |
| සම්පීඩ්යතා ශක්තිය | ඩින් 51910 | 130 යි | එම්පීඒ |
| යංගේ මාපාංකය | ඩින් 51915 | 11.5×10³ | එම්පීඒ |
| තාප ප්රසාරණය (20-200℃) | ඩින් 51909 | 4.2X10 (4.2X10) යනු කුමක්ද?-6 | K-1 |
| තාප සන්නායකතාවය (20℃) | ඩින් 51908 | 105 යි | Wm-1K-1 |
එය විශේෂයෙන් නිර්මාණය කර ඇත්තේ ඉහළ කාර්යක්ෂමතාවයකින් යුත් සූර්ය කෝෂ නිෂ්පාදනය සඳහා වන අතර, G12 විශාල ප්රමාණයේ වේෆර් සැකසීමට සහාය වේ. ප්රශස්ත වාහක සැලසුම සැලකිය යුතු ලෙස ප්රතිදානය වැඩි කරයි, ඉහළ අස්වැන්න අනුපාත සහ අඩු නිෂ්පාදන පිරිවැය සක්රීය කරයි.
| අයිතමය | වර්ගය | වේෆර් වාහක අංකය |
| PEVCD ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව - 156 ශ්රේණිය | 156-13 ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 144 (ස්පාඤ්ඤය) |
| 156-19 ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 216 ශ්රේණිය | |
| 156-21 ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 240 (240) | |
| 156-23 මිනිරන් බෝට්ටුව | 308 - | |
| PEVCD ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව - 125 ශ්රේණිය | 125-15 ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 196 (ස්පාඤ්ඤය) |
| 125-19 ග්රෙෆයිට් බෝට්ටුව | 252 (252) | |
| 125-21 ග්රිෆයිට් බෝට්ටුව | 280 (280) |
