Držiak grafitového substrátu pre PECVD

Stručný popis:

Držiak grafitových substrátov od spoločnosti VET Energy je navrhnutý tak, aby udržiaval zarovnanie a stabilitu doštičiek počas celého procesu PECVD, čím zabraňuje kontaminácii a minimalizuje riziko poškodenia. Držiak grafitových doštičiek poskytuje bezpečnú a rovnú platformu, ktorá zabezpečuje rovnomerné vystavenie doštičiek plazme pre konzistentné a vysoko kvalitné nanášanie. Vďaka svojej vysokej tepelnej vodivosti a výnimočnej pevnosti tento držiak pomáha zlepšiť celkovú efektivitu procesu a výkon produktu.

Pošlite nám e-mail Stiahnuť ako PDF

Detaily produktu

Značky produktov

Držiak grafitových substrátov VET Energy je presný nosič určený pre proces PECVD (plazmové chemické nanášanie z pár). Tento vysoko kvalitný držiak grafitových substrátov je vyrobený z vysoko čistého grafitového materiálu s vysokou hustotou, s vynikajúcou odolnosťou voči vysokým teplotám, odolnosťou proti korózii, rozmerovou stabilitou a ďalšími vlastnosťami. Môže poskytnúť stabilnú podpornú platformu pre proces PECVD a zabezpečiť rovnomernosť a rovinnosť nanášania filmu.

Podporný stôl z grafitových doštičiek VET Energy PECVD má nasledujúce vlastnosti:

▪Vysoká čistota:extrémne nízky obsah nečistôt, zabraňuje kontaminácii filmu, zabezpečuje kvalitu filmu.

▪Vysoká hustota:vysoká hustota, vysoká mechanická pevnosť, odoláva vysokej teplote a vysokému tlaku v prostredí PECVD.

▪Dobrá rozmerová stabilita:malá zmena rozmerov pri vysokej teplote, čo zaisťuje stabilitu procesu.

▪Vynikajúca tepelná vodivosť:efektívne prenášajú teplo, aby sa zabránilo prehriatiu doštičky.

▪Silná odolnosť proti korózii:odolávajú erózii rôznymi korozívnymi plynmi a plazmou.

▪Prispôsobené služby:Grafitové podporné stoly rôznych veľkostí a tvarov je možné prispôsobiť podľa potrieb zákazníka.

Výhody produktu

▪Zlepšenie kvality filmu:Zabezpečte rovnomerné nanášanie filmu a zlepšite jeho kvalitu.

▪Predĺžte životnosť zariadenia:Vynikajúca odolnosť proti korózii, predlžuje životnosť zariadení PECVD.

▪Znížte výrobné náklady:Vysokokvalitné grafitové misky môžu znížiť mieru odpadu a znížiť výrobné náklady.

Grafitový materiál od SGL:

Typický parameter: R6510
Index	Skúšobný štandard	Hodnota	Jednotka
Priemerná veľkosť zrna	ISO 13320	10	μm
Objemová hustota	Norma DIN IEC 60413/204	1,83	g/cm³
Otvorená pórovitosť	DIN66133	10	%
Stredná veľkosť pórov	DIN66133	1,8	μm
Priepustnosť	DIN 51935	0,06	cm²/s
Tvrdosť podľa Rockwella HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Merný elektrický odpor	Norma DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Pevnosť v ohybe	Norma DIN IEC 60413/501	60	MPa
Pevnosť v tlaku	DIN 51910	130	MPa
Youngov modul	DIN 51915	11,5 × 10³	MPa
Tepelná rozťažnosť (20 – 200 ℃)	DIN 51909	4,2 x 10^-6	K^-1
Tepelná vodivosť (20 ℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Je špeciálne navrhnutý pre vysokoúčinnú výrobu solárnych článkov a podporuje spracovanie veľkoformátových doštičiek G12. Optimalizovaný dizajn nosičov výrazne zvyšuje priepustnosť, čo umožňuje vyššiu výťažnosť a nižšie výrobné náklady.

Položka	Typ	Nosič doštičiek s číslom
PEVCD Grephite boat - Séria 156	156-13 grefitová loď	144
	156-19 grefitová loď	216
	156-21 grefitová loď	240
	Grafitový čln 156-23	308
PEVCD Grephite boat - Séria 125	125-15 grefitová loď	196
	125-19 grefitová loď	252
	125-21 grafitový čln	280