PECVD uchun grafit substrat gofret ushlagichi

Qisqacha tavsif:

VET Energy kompaniyasining Grafit Substrat Tutqichli PECVD jarayoni davomida plastinkalarning hizalanishi va barqarorligini saqlab turish, ifloslanishning oldini olish va shikastlanish xavfini minimallashtirish uchun ishlab chiqilgan. Grafit plastinka tutqichli plastinalarning plazmaga teng ravishda ta'sir qilishini ta'minlovchi xavfsiz, tekis platformani ta'minlaydi, bu esa plastinkalarning izchil va yuqori sifatli cho'ktirilishini ta'minlaydi. Yuqori issiqlik o'tkazuvchanligi va ajoyib mustahkamligi bilan ushbu ushlagich umumiy jarayon samaradorligini va mahsulot ish faoliyatini yaxshilashga yordam beradi.

Bizga elektron pochta xabarini yuboring PDF sifatida yuklab oling

Mahsulot tafsiloti

Mahsulot teglari

VET Energy Grafit Substrat Plafkasi ushlagichi PECVD (Plazma Enhanced Chemical Vapor Cho'ktirish) jarayoni uchun mo'ljallangan aniq tashuvchidir. Ushbu yuqori sifatli Grafit Substrat ushlagichi yuqori tozalikdagi, yuqori zichlikdagi grafit materialidan tayyorlangan bo'lib, yuqori haroratga chidamlilik, korroziyaga chidamlilik, o'lchovli barqarorlik va boshqa xususiyatlarga ega. U PECVD jarayoni uchun barqaror qo'llab-quvvatlash platformasini taqdim etishi va plyonka cho'kishining bir xilligi va tekisligini ta'minlashi mumkin.

VET Energy PECVD jarayonining grafit gofretini qo'llab-quvvatlash stoli quyidagi xususiyatlarga ega:

▪Yuqori poklik:juda past nopoklik miqdori, plyonkaning ifloslanishiga yo'l qo'ymaslik, plyonka sifatini ta'minlash.

▪Yuqori zichlik:yuqori zichlik, yuqori mexanik kuch, yuqori harorat va yuqori bosimli PECVD muhitiga bardosh bera oladi.

▪Yaxshi o'lchovli barqarorlik:yuqori haroratda kichik o'lchamli o'zgarish, jarayonning barqarorligini ta'minlaydi.

▪Ajoyib issiqlik o'tkazuvchanligi:gofretning qizib ketishining oldini olish uchun issiqlikni samarali ravishda uzating.

▪Kuchli korroziyaga chidamlilik:turli xil korroziv gazlar va plazma bilan eroziyaga qarshi tura oladi.

▪Moslashtirilgan xizmat:Turli o'lcham va shakllardagi grafit qo'llab-quvvatlash stollari mijozlar ehtiyojlariga muvofiq sozlanishi mumkin.

Mahsulotning afzalliklari

▪Film sifatini yaxshilash:Bir xil plyonka qo'llanilishini ta'minlash va plyonka sifatini yaxshilash.

▪Uskunaning ishlash muddatini uzaytiring:Zo'r korroziyaga chidamlilik, PECVD uskunalarining xizmat muddatini uzaytiradi.

▪Ishlab chiqarish xarajatlarini kamaytirish:Yuqori sifatli grafit patnislari chiqindilar miqdorini kamaytirishi va ishlab chiqarish xarajatlarini kamaytirishi mumkin.

SGL dan olingan grafit materiali:

Odatda parametr: R6510
Indeks	Sinov standarti	Qiymat	Birlik
O'rtacha don hajmi	ISO 13320	10	mkm
Ommaviy zichlik	DIN IEC 60413/204	1.83	g/sm3³
Ochiq g'ovaklilik	DIN66133	10	%
O'rtacha teshik hajmi	DIN66133	1.8	mkm
O'tkazuvchanlik	DIN 51935	0.06	sm²/s
Rokvell qattiqligi HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Maxsus elektr qarshiligi	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Bükülme kuchi	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Siqish kuchi	DIN 51910	130 ta	MPa
Young moduli	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Termal kengayish (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Issiqlik o'tkazuvchanligi (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

U yuqori samarali quyosh batareyalarini ishlab chiqarish uchun maxsus ishlab chiqilgan bo'lib, G12 katta o'lchamli plastinkalarni qayta ishlashni qo'llab-quvvatlaydi. Optimallashtirilgan tashuvchi dizayni o'tkazuvchanlikni sezilarli darajada oshiradi, bu esa yuqori hosildorlik darajasi va ishlab chiqarish xarajatlarini kamaytirish imkonini beradi.

Mahsulot	Turi	Raqamli gofret tashuvchisi
PEVCD Grefit qayig'i - 156 seriyasi	156-13 grefit qayig'i	144
	156-19 grefit qayig'i	216
	156-21 grefit qayig'i	240
	156-23 grafit qayig'i	308
PEVCD Grefit qayig'i - 125 seriyasi	125-15 grefit qayig'i	196
	125-19 grefit qayig'i	252
	125-21 grfit qayig'i	280