Βάση στήριξης πλακιδίων υποστρώματος γραφίτη για PECVD

Σύντομη Περιγραφή:

Η βάση υποστρώματος γραφίτη της VET Energy έχει σχεδιαστεί για να διατηρεί την ευθυγράμμιση και τη σταθερότητα των πλακιδίων σε όλη τη διαδικασία PECVD, αποτρέποντας τη μόλυνση και ελαχιστοποιώντας τον κίνδυνο ζημιάς. Η βάση υποστρώματος γραφίτη παρέχει μια ασφαλή, ομοιόμορφη πλατφόρμα, διασφαλίζοντας ότι τα πλακίδια εκτίθενται ομοιόμορφα στο πλάσμα για συνεπή και υψηλής ποιότητας εναπόθεση. Με την υψηλή θερμική αγωγιμότητα και την εξαιρετική αντοχή της, αυτή η βάση βοηθά στη βελτίωση της συνολικής αποδοτικότητας της διαδικασίας και της απόδοσης του προϊόντος.

Στείλτε μας email Λήψη ως PDF

Λεπτομέρειες προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

Η βάση υποστρώματος γραφίτη VET Energy είναι ένας φορέας ακριβείας σχεδιασμένος για τη διαδικασία PECVD (Εναπόθεση Χημικών Ατμών με Βελτιωμένη Χημική Εναπόθεση με Πλάσμα). Αυτή η βάση υποστρώματος γραφίτη υψηλής ποιότητας είναι κατασκευασμένη από υλικό γραφίτη υψηλής καθαρότητας και πυκνότητας, με εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, αντοχή στη διάβρωση, σταθερότητα διαστάσεων και άλλα χαρακτηριστικά. Μπορεί να παρέχει μια σταθερή πλατφόρμα στήριξης για τη διαδικασία PECVD και να διασφαλίζει την ομοιομορφία και την επιπεδότητα της εναπόθεσης φιλμ.

Το τραπέζι στήριξης πλακιδίων γραφίτη διεργασίας VET Energy PECVD έχει τα ακόλουθα χαρακτηριστικά:

▪Υψηλή καθαρότητα:εξαιρετικά χαμηλή περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες, αποφυγή μόλυνσης της μεμβράνης, εξασφάλιση ποιότητας μεμβράνης.

▪Υψηλή πυκνότητα:υψηλή πυκνότητα, υψηλή μηχανική αντοχή, μπορεί να αντέξει σε περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας και υψηλής πίεσης PECVD.

▪Καλή διαστατική σταθερότητα:μικρή διαστατική αλλαγή σε υψηλή θερμοκρασία, εξασφαλίζοντας σταθερότητα της διεργασίας.

▪Άριστη θερμική αγωγιμότητα:Μεταφέρετε αποτελεσματικά τη θερμότητα για να αποτρέψετε την υπερθέρμανση της γκοφρέτας.

▪Ισχυρή αντοχή στη διάβρωση:μπορεί να αντισταθεί στη διάβρωση από διάφορα διαβρωτικά αέρια και πλάσμα.

▪Προσαρμοσμένη υπηρεσία:Τα τραπέζια στήριξης γραφίτη διαφορετικών μεγεθών και σχημάτων μπορούν να προσαρμοστούν ανάλογα με τις ανάγκες του πελάτη.

Πλεονεκτήματα προϊόντος

▪Βελτίωση της ποιότητας της ταινίας:Εξασφαλίστε ομοιόμορφη εναπόθεση φιλμ και βελτιώστε την ποιότητα του φιλμ.

▪Επέκταση της διάρκειας ζωής του εξοπλισμού:Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση, παρατείνει τη διάρκεια ζωής του εξοπλισμού PECVD.

▪Μειώστε το κόστος παραγωγής:Οι δίσκοι γραφίτη υψηλής ποιότητας μπορούν να μειώσουν το ποσοστό απόρριψης και το κόστος παραγωγής.

Υλικό γραφίτη από την SGL:

Τυπική παράμετρος: R6510
Δείκτης	Πρότυπο δοκιμής	Αξία	Μονάδα
Μέσο μέγεθος κόκκων	ISO 13320	10	μm
Φαινόμενη πυκνότητα	DIN IEC 60413/204	1,83	γρ./εκ.³
Ανοιχτό πορώδες	DIN66133	10	%
Μεσαίο μέγεθος πόρων	DIN66133	1.8	μm
Διαπερατό	DIN 51935	0,06	cm²/s
Σκληρότητα Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Ειδική ηλεκτρική αντίσταση	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Αντοχή σε κάμψη	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Αντοχή σε θλίψη	DIN 51910	130	MPa
Μέτρο Young	DIN 51915	11,5×10³	MPa
Θερμική διαστολή (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Θερμική αγωγιμότητα (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Έχει σχεδιαστεί ειδικά για την κατασκευή ηλιακών κυψελών υψηλής απόδοσης, υποστηρίζοντας την επεξεργασία πλακιδίων μεγάλου μεγέθους G12. Ο βελτιστοποιημένος σχεδιασμός φορέα αυξάνει σημαντικά την απόδοση, επιτρέποντας υψηλότερα ποσοστά απόδοσης και χαμηλότερο κόστος παραγωγής.

Είδος	Τύπος	Αριθμός φορέα γκοφρέτας
Σκάφος PEVCD Grephite - Η σειρά 156	156-13 βάρκα από γρεφίτη	144
	156-19 βάρκα από γρεφίτη	216
	156-21 βάρκα από γρεφίτη	240
	156-23 βάρκα από γραφίτη	308
Σκάφος PEVCD Grephite - Η σειρά 125	125-15 βάρκα από γρεφίτη	196
	125-19 βάρκα από γρεφίτη	252
	125-21 γραφιτό σκάφος	280