VET ଏନର୍ଜି ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ୱେଫର ହୋଲ୍ଡର ହେଉଛି PECVD (ପ୍ଲାଜମା ଏନହାନ୍ସଡ୍ କେମିକାଲ୍ ବାଷ୍ପ ଜମା) ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଥିବା ଏକ ସଠିକ୍ ବାହକ। ଏହି ଉଚ୍ଚ-ଗୁଣବତ୍ତା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ହୋଲ୍ଡର ଉଚ୍ଚ-ଶୁଦ୍ଧତା, ଉଚ୍ଚ-ଘନତା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସାମଗ୍ରୀରେ ତିଆରି, ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ପ୍ରତିରୋଧ, କ୍ଷୋଭ ପ୍ରତିରୋଧ, ପରିମାଣ ସ୍ଥିରତା ଏବଂ ଅନ୍ୟାନ୍ୟ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ସହିତ। ଏହା PECVD ପ୍ରକ୍ରିୟା ପାଇଁ ଏକ ସ୍ଥିର ସମର୍ଥନ ପ୍ଲାଟଫର୍ମ ପ୍ରଦାନ କରିପାରିବ ଏବଂ ଫିଲ୍ମ ଜମାର ଏକରୂପତା ଏବଂ ସମତଳତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରିପାରିବ।
VET ଏନର୍ଜି PECVD ପ୍ରକ୍ରିୟା ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ୱାଫର ସମର୍ଥନ ଟେବୁଲରେ ନିମ୍ନଲିଖିତ ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟଗୁଡ଼ିକ ଅଛି:
▪ଉଚ୍ଚ ବିଶୁଦ୍ଧତା:ଅତ୍ୟନ୍ତ କମ ଅପରିଷ୍କାରତା, ଫିଲ୍ମର ପ୍ରଦୂଷଣକୁ ଏଡାନ୍ତୁ, ଫିଲ୍ମର ଗୁଣବତ୍ତା ନିଶ୍ଚିତ କରନ୍ତୁ।
▪ଉଚ୍ଚ ଘନତ୍ୱ:ଉଚ୍ଚ ଘନତ୍ୱ, ଉଚ୍ଚ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ଶକ୍ତି, ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରା ଏବଂ ଉଚ୍ଚ ଚାପ PECVD ପରିବେଶ ସହ୍ୟ କରିପାରେ।
▪ଭଲ ପରିମାଣିକ ସ୍ଥିରତା:ଉଚ୍ଚ ତାପମାତ୍ରାରେ ଛୋଟ ପରିମାଣର ପରିବର୍ତ୍ତନ, ପ୍ରକ୍ରିୟା ସ୍ଥିରତା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରେ।
▪ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ତାପଜ ପରିବାହୀତା:ୱାଫରକୁ ଅଧିକ ଗରମ ହେବାରୁ ରୋକିବା ପାଇଁ ପ୍ରଭାବଶାଳୀ ଭାବରେ ତାପ ସ୍ଥାନାନ୍ତର କରେ।
▪ଦୃଢ଼ କ୍ଷରଣ ପ୍ରତିରୋଧ:ବିଭିନ୍ନ କ୍ଷୟକାରୀ ଗ୍ୟାସ ଏବଂ ପ୍ଲାଜମା ଦ୍ୱାରା କ୍ଷୟକୁ ପ୍ରତିରୋଧ କରିପାରିବ।
▪କଷ୍ଟମାଇଜ୍ ହୋଇଥିବା ସେବା:ଗ୍ରାହକଙ୍କ ଆବଶ୍ୟକତା ଅନୁସାରେ ବିଭିନ୍ନ ଆକାର ଏବଂ ଆକୃତିର ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସପୋର୍ଟ ଟେବୁଲଗୁଡ଼ିକୁ କଷ୍ଟମାଇଜ୍ କରାଯାଇପାରିବ।
ଉତ୍ପାଦର ଲାଭ
▪ଫିଲ୍ମର ଗୁଣବତ୍ତା ଉନ୍ନତ କରିବା:ସମାନ ଭାବରେ ଫିଲ୍ମ ଜମା କରିବା ସୁନିଶ୍ଚିତ କରନ୍ତୁ ଏବଂ ଫିଲ୍ମର ଗୁଣବତ୍ତା ଉନ୍ନତ କରନ୍ତୁ।
▪ଉପକରଣର ଜୀବନ ବୃଦ୍ଧି କରନ୍ତୁ:ଉତ୍କୃଷ୍ଟ କ୍ଷରଣ ପ୍ରତିରୋଧ, PECVD ଉପକରଣର ସେବା ଜୀବନ ବୃଦ୍ଧି କରେ।
▪ଉତ୍ପାଦନ ଖର୍ଚ୍ଚ ହ୍ରାସ କରନ୍ତୁ:ଉଚ୍ଚମାନର ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଟ୍ରେଗୁଡ଼ିକ ସ୍କ୍ରାପ୍ ହାର ହ୍ରାସ କରିପାରିବ ଏବଂ ଉତ୍ପାଦନ ଖର୍ଚ୍ଚ ହ୍ରାସ କରିପାରିବ।
SGL ରୁ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ସାମଗ୍ରୀ:
| ସାଧାରଣ ପାରାମିଟର: R6510 | |||
| ସୂଚୀ | ପରୀକ୍ଷାର ମାନକ | ମୂଲ୍ୟ | ୟୁନିଟ୍ |
| ହାରାହାରି ଶସ୍ୟ ଆକାର | ISO 13320 | ୧୦ | μମି |
| ବହୁତ ଘନତ୍ୱ | ଡିଆଇଏନ୍ ଆଇଇସି ୬୦୪୧୩/୨୦୪ | ୧.୮୩ | ଗ୍ରାମ/ସେମି3 |
| ଖୋଲା ପୋରୋସିଟି | ଡିଆଇଏନ୍୬୬୧୩୩ | ୧୦ | % |
| ମଧ୍ୟମ ଛିଦ୍ର ଆକାର | ଡିଆଇଏନ୍୬୬୧୩୩ | ୧.୮ | μମି |
| ପାରଗମ୍ୟତା | ଡିଆଇଏନ୍ ୫୧୯୩୫ | ୦.୦୬ | ସେମି²/ସେ |
| ରକୱେଲ କଠୋରତା HR5/100 | ଡିଆଇଏନ୍ ଆଇଇସି୬୦୪୧୩/୩୦୩ | 90 | HR |
| ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ବୈଦ୍ୟୁତିକ ପ୍ରତିରୋଧକତା | ଡିଆଇଏନ୍ ଆଇଇସି ୬୦୪୧୩/୪୦୨ | ୧୩ | μΩମି |
| ନମନୀୟ ଶକ୍ତି | ଡିଆଇଏନ୍ ଆଇଇସି ୬୦୪୧୩/୫୦୧ | 60 | MPa |
| ସଙ୍କୋଚନ ଶକ୍ତି | ଡିଆଇଏନ୍ ୫୧୯୧୦ | ୧୩୦ | MPa |
| ୟଙ୍ଗ୍ଙ୍କ ମଡ୍ୟୁଲ୍ସ | ଡିଆଇଏନ୍ ୫୧୯୧୫ | ୧୧.୫×୧୦³ | MPa |
| ତାପଜ ବିସ୍ତାର (୨୦-୨୦୦℃) | ଡିଆଇଏନ୍ ୫୧୯୦୯ | ୪.୨X୧୦-6 | K-1 |
| ତାପଜ ପରିବାହୀତା (20℃) | ଡିଆଇଏନ୍ ୫୧୯୦୮ | ୧୦୫ | Wm-1K-1 |
ଏହା ବିଶେଷ ଭାବରେ ଉଚ୍ଚ-ଦକ୍ଷତା ସୌର ସେଲ୍ ନିର୍ମାଣ ପାଇଁ ଡିଜାଇନ୍ କରାଯାଇଛି, ଯାହା G12 ବଡ଼ ଆକାରର ୱେଫର ପ୍ରକ୍ରିୟାକରଣକୁ ସମର୍ଥନ କରେ। ଅପ୍ଟିମାଇଜ୍ଡ କ୍ୟାରିଅର୍ ଡିଜାଇନ୍ ଥ୍ରୁପୁଟ୍କୁ ଉଲ୍ଲେଖନୀୟ ଭାବରେ ବୃଦ୍ଧି କରେ, ଯାହା ଉଚ୍ଚ ଅମଳ ହାର ଏବଂ କମ୍ ଉତ୍ପାଦନ ଖର୍ଚ୍ଚକୁ ସକ୍ଷମ କରିଥାଏ।
| ଆଇଟମ୍ | ପ୍ରକାର | ନମ୍ବର ୱାଫର କ୍ୟାରିଅର୍ |
| PEVCD ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା - ୧୫୬ ସିରିଜ୍ | ୧୫୬-୧୩ ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | ୧୪୪ |
| ୧୫୬-୧୯ ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | ୨୧୬ | |
| ୧୫୬-୨୧ ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | ୨୪୦ | |
| ୧୫୬-୨୩ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | ୩୦୮ | |
| PEVCD ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା - 125 ସିରିଜ୍ | ୧୨୫-୧୫ ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | ୧୯୬ |
| ୧୨୫-୧୯ ଗ୍ରେଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | ୨୫୨ | |
| ୧୨୫-୨୧ ଗ୍ରାଫାଇଟ୍ ଡଙ୍ଗା | ୨୮୦ |







