Дорандаи вафли зеризаминии графити VET Energy як интиқолдиҳандаи дақиқ аст, ки барои раванди PECVD (Чопкунии буғи кимиёвии плазмавӣ бо роҳи такмилёфта) тарҳрезӣ шудааст. Ин Дорандаи зеризаминии графити босифат аз маводи графити бо тозагии баланд ва зичии баланд сохта шудааст, ки дорои муқовимати аъло ба ҳарорати баланд, муқовимат ба зангзанӣ, устувории андоза ва дигар хусусиятҳо мебошад. Он метавонад платформаи устувори дастгирии раванди PECVD-ро фароҳам оварад ва якрангӣ ва ҳамвории плёнкаи ҷойгиршавиро таъмин кунад.
Мизи дастгирии вафли графитии раванди PECVD VET Energy дорои хусусиятҳои зерин мебошад:
▪Покӣ будани баланд:миқдори хеле пасти ифлосӣ, аз ифлосшавии филм пешгирӣ кунед ва сифати филмро таъмин кунед.
▪Зичии баланд:зичии баланд, қувваи механикии баланд, метавонад ҳарорати баланд ва муҳити PECVD-ро тоб оварад.
▪Устувории хуби андозагирӣ:Тағйироти андозаи хурд дар ҳарорати баланд, ки устувории равандро таъмин мекунад.
▪Гузаронидани гармии аъло:интиқоли самараноки гармӣ барои пешгирии аз ҳад зиёд гарм шудани вафли.
▪Муқовимати қавии зангзанӣ:метавонад ба эрозия аз газҳои гуногуни зангзананда ва плазма муқовимат кунад.
▪Хизматрасонии фармоишӣ:Мизҳои дастгирии графитӣ аз андоза ва шаклҳои гуногун мувофиқи ниёзҳои муштариён танзим карда мешаванд.
Бартариятҳои маҳсулот
▪Беҳтар кардани сифати филм:Таъмини якхелаи ҷойгиркунии филм ва беҳтар кардани сифати он.
▪Мӯҳлати истифодаи таҷҳизотро дароз кунед:Муқовимати аъло ба зангзанӣ, мӯҳлати хидмати таҷҳизоти PECVD-ро дароз мекунад.
▪Хароҷоти истеҳсолотро кам кунед:Табақчаҳои графити баландсифат метавонанд сатҳи партовҳоро кам кунанд ва хароҷоти истеҳсолотро кам кунанд.
Маводи графитӣ аз SGL:
| Параметри маъмулӣ: R6510 | |||
| Индекс | Стандарти санҷиш | Арзиш | Воҳид |
| Андозаи миёнаи донаҳо | ISO 13320 | 10 | мкм |
| Зичии оммавӣ | DIN IEC 60413/204 | 1.83 | г/см3 |
| Сӯрохии кушода | DIN66133 | 10 | % |
| Андозаи сӯрохиҳои миёна | DIN66133 | 1.8 | мкм |
| Гузаришпазирӣ | DIN 51935 | 0.06 | см²/с |
| Сахтии Роквелл HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Муқовимати мушаххаси барқӣ | DIN IEC 60413/402 | 13 | мкΩм |
| Қувваи хамшавӣ | DIN IEC 60413/501 | 60 | МПа |
| Қувваи фишурдашавӣ | DIN 51910 | 130 | МПа |
| Модули Янг | DIN 51915 | 11.5×10³ | МПа |
| Васеъшавии гармӣ (20-200℃) | DIN 51909 | 4.2X10-6 | K-1 |
| Гузаронидани гармӣ (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Он махсусан барои истеҳсоли батареяҳои офтобии баландсифат тарҳрезӣ шудааст, ки коркарди вафли андозаи калони G12-ро дастгирӣ мекунад. Тарҳи интиқолдиҳандаи оптимизатсияшуда қобилияти интиқолро ба таври назаррас афзоиш медиҳад, ки имкон медиҳад ҳосилнокии баландтар ва хароҷоти истеҳсолӣ кам карда шавад.
| Ашё | Навъ | Рақами интиқолдиҳандаи вафли |
| Қаиқи Грефитӣ PEVCD - Силсилаи 156 | Қаиқи грифитӣ 156-13 | 144 |
| Қаиқи грифитӣ 156-19 | 216 | |
| Қаиқи грифитӣ 156-21 | 240 | |
| Қаиқи графитии 156-23 | 308 | |
| Қаиқи Грефитӣ PEVCD - Силсилаи 125 | Қаиқи грифитии 125-15 | 196 |
| Қаиқи грифитии 125-19 | 252 | |
| Қаиқи грфитӣ 125-21 | 280 |
