Sealbhdair Wafer Fo-strat Grafait airson PECVD

Sealbhdair Wafer Fo-strat Grafait airson Ìomhaigh Sònraichte PECVD

Tuairisgeul Goirid:

Tha Neach-gleidhidh Fo-strat Graphite aig VET Energy air a dhealbhadh gus co-thaobhadh agus seasmhachd nan uaifearan a chumail suas tron phròiseas PECVD, a’ cur casg air truailleadh agus a’ lughdachadh cunnart milleadh. Tha an Neach-gleidhidh Uaifearan Graphite a’ toirt seachad àrd-ùrlar tèarainte, cothromach, a’ dèanamh cinnteach gu bheil na h-uaifearan fosgailte gu cothromach don phlasma airson tasgadh cunbhalach agus àrd-inbhe. Leis an t-seòltachd teirmeach àrd agus an neart air leth aige, bidh an neach-gleidhidh seo a’ cuideachadh le bhith a’ leasachadh èifeachdas iomlan a’ phròiseis agus coileanadh toraidh.

Cuir post-d thugainn Luchdaich sìos mar PDF

Mion-fhiosrachadh Toraidh

Tagaichean Bathar

’S e giùlan mionaideach a th’ ann an Neach-gleidhidh Uabhar Fo-strat Grafait Lùtha VET a chaidh a dhealbhadh airson pròiseas PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Tha an Neach-gleidhidh Fo-strat Grafait àrd-inbhe seo air a dhèanamh de stuth grafait àrd-ghlanachd, àrd-dùmhlachd, le strì an aghaidh teòthachd àrd, strì an aghaidh creimeadh, seasmhachd tomhasach agus feartan eile. Faodaidh e àrd-ùrlar taic seasmhach a thoirt seachad airson pròiseas PECVD agus dèanamh cinnteach à cunbhalachd agus rèidh tasgadh film.

Tha na feartan a leanas aig bòrd taic uaifearan grafait pròiseas VET Energy PECVD:

▪Glanachd àrd:susbaint neo-ghlainead glè ìosal, seachain truailleadh film, dèan cinnteach à càileachd film.

▪Dùmhlachd àrd:dùmhlachd àrd, neart meacanaigeach àrd, is urrainn dha seasamh an aghaidh teòthachd àrd agus àrainneachd PECVD le cuideam àrd.

▪Seasmhachd tomhasach math:atharrachadh beag meudach aig teòthachd àrd, a’ dèanamh cinnteach à seasmhachd a’ phròiseis.

▪Seòltachd teirmeach sàr-mhath:gluasad teas gu h-èifeachdach gus casg a chuir air cus teasachadh wafer.

▪Frith-aghaidh creimeadh làidir:faodaidh e seasamh an aghaidh bleith le diofar ghasaichean creimneach agus plasma.

▪Seirbheis gnàthaichte:Faodar bùird taic grafait de dhiofar mheudan agus chumaidhean a ghnàthachadh a rèir feumalachdan luchd-ceannach.

Buannachdan Bathar

▪Leasaich càileachd film:Dèan cinnteach gu bheil tasgadh film cunbhalach agus gu bheil càileachd film air a leasachadh.

▪Leudaich beatha uidheamachd:Frith-aghaidh creimeadh sàr-mhath, leudaich beatha seirbheis uidheamachd PECVD.

▪Lùghdaich cosgaisean cinneasachaidh:Faodaidh treallaich grafait àrd-inbhe an ìre sgudail a lughdachadh agus cosgaisean cinneasachaidh a lughdachadh.

Stuth grafait bho SGL:

Paramadair àbhaisteach: R6510
Clàr-amais	Inbhe deuchainn	Luach	Aonad
Meud cuibheasach gràin	ISO 13320	10	μm
Dlùths mòr-chuid	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³
Porachd fosgailte	DIN66133	10	%
Meud meadhanach pore	DIN66133	1.8	μm
Treòiteachd	DIN 51935	0.06	cm²/s
Cruas Rockwell HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Frith-sheasmhachd dealain sònraichte	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Neart lùbadh	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Neart teannachaidh	DIN 51910	130	MPa
Modúl Young	DIN 51915	11.5 × 10³	MPa
Leudachadh teirmeach (20-200 ℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Seoltachd teirmeach (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Tha e air a dhealbhadh gu sònraichte airson saothrachadh ceallan grèine àrd-èifeachdais, a’ toirt taic do ghiullachd uaifearan mòra G12. Bidh dealbhadh giùlain leasaichte a’ meudachadh an toraidh gu mòr, a’ comasachadh ìrean toraidh nas àirde agus cosgaisean cinneasachaidh nas ìsle.

Nì	Seòrsa	Àireamh giùlain wafer
Bàta Grephite PEVCD - An t-sreath 156	Bàta greaphite 156-13	144
	Bàta greaphite 156-19	216
	Bàta greaphite 156-21	240
	Bàta grafait 156-23	308
Bàta Grephite PEVCD - An t-sreath 125	Bàta greaphite 125-15	196
	Bàta greaphite 125-19	252
	Bàta grafait 125-21	280