גראַפיט סאַבסטראַט וואַפער האָלדער פֿאַר PECVD

VET ענערגיע גראַפיט סאַבסטראַט וואַפער האָלדער איז אַ פּרעציזיע טרעגער דיזיינד פֿאַר PECVD (פּלאַזמאַ ענהאַנסט כעמישער דאַמפער דעפּאַזישאַן) פּראָצעס. דער הויך-קוואַליטעט גראַפיט סאַבסטראַט האָלדער איז געמאַכט פון הויך-ריינקייט, הויך-דענסיטי גראַפיט מאַטעריאַל, מיט ויסגעצייכנט הויך טעמפּעראַטור קעגנשטעל, קעראָוזשאַן קעגנשטעל, דימענשאַנאַל פעסטקייט און אנדערע קעראַקטעריסטיקס. עס קען צושטעלן אַ סטאַביל שטיצע פּלאַטפאָרמע פֿאַר PECVD פּראָצעס און ענשור די יונאַפאָרמאַטי און פלאַךקייט פון פילם דעפּאַזישאַן.

VET ענערגיע PECVD פּראָצעס גראַפיט וועיפער שטיצע טיש האט די פאלגענדע קעראַקטעריסטיקס:

▪הויך ריינקייט:גאָר נידעריקע אומריינקייט אינהאַלט, פאַרמייַדן קאַנטאַמאַניישאַן פון פילם, ענשור פילם קוואַליטעט.

▪הויכע געדיכטקייט:הויך געדיכטקייט, הויך מעטשאַניקאַל שטאַרקייט, קענען וויטסטאַנד הויך טעמפּעראַטור און הויך דרוק PECVD סוויווע.

▪גוטע דימענשאַנאַל פעסטקייט:קליינע דימענסיאָנעלע ענדערונג ביי הויך טעמפּעראַטור, וואָס ענשורז פּראָצעס פעסטקייט.

▪אויסגעצייכנטע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי:עפעקטיוולי אַריבערפירן היץ צו פאַרמייַדן ווייפער אָוווערכיטינג.

▪שטאַרקע קעראָוזשאַן קעגנשטעל:קען אַנטקעגנשטעלנ זיך עראָוזיע דורך פֿאַרשידענע קעראָוסיוו גאַזן און פּלאַזמע.

▪קאַסטאַמייזד סערוויס:גראַפיט שטיצע טישן פון פאַרשידענע סיזעס און שאַפּעס קענען זיין קאַסטאַמייזד לויט קונה באדערפענישן.

פּראָדוקט מעלות

▪פֿאַרבעסערן פֿילם קוואַליטעט:ענשור מונדיר פילם דעפּאַזישאַן און פֿאַרבעסערן פילם קוואַליטעט.

▪פֿאַרלענגערן די לעבן פֿון עקוויפּמענט:אויסגעצייכנטע קעראָוזשאַן קעגנשטעל, פאַרלענגערן די לעבן פון PECVD עקוויפּמענט.

▪רעדוצירן פּראָדוקציע קאָסטן:הויך-קוואַליטעט גראַפיט טאַץ קענען רעדוצירן סקראָט קורס און רעדוצירן פּראָדוקציע קאָס.