Grafita Substrata Oblateja Tenilo por PECVD

Mallonga Priskribo:

La Grafita Substrata Tenilo de VET Energy estas desegnita por konservi la vicigon kaj stabilecon de la oblatoj dum la tuta PECVD-procezo, malhelpante poluadon kaj minimumigante la riskon de difekto. La Grafita Oblata Tenilo provizas sekuran, ebenan platformon, certigante ke la oblatoj estas egale eksponitaj al la plasmo por kohera kaj altkvalita deponado. Kun sia alta varmokondukteco kaj escepta forto, ĉi tiu tenilo helpas plibonigi la ĝeneralan procezan efikecon kaj produktan rendimenton.

Sendu retpoŝton al ni Elŝuti kiel PDF

Produkta Detalo

Produktaj Etikedoj

La tenilo por oblato de grafita substrato de VET Energy estas preciza portanto desegnita por la procezo PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition - Plasmo-plibonigita kemia vapora deponado). Ĉi tiu altkvalita tenilo por grafita substrato estas farita el altpureca, altdenseca grafita materialo, kun bonega rezisto al altaj temperaturoj, korodrezisto, dimensia stabileco kaj aliaj karakterizaĵoj. Ĝi povas provizi stabilan subtenan platformon por la procezo PECVD kaj certigi la homogenecon kaj platecon de la filmdeponado.

La subtentablo por grafita oblato de VET Energy PECVD-procezo havas la jenajn karakterizaĵojn:

▪Alta pureco:ekstreme malalta enhavo de malpuraĵoj, evitu poluadon de filmo, certigu filmkvaliton.

▪Alta denseco:alta denseco, alta mekanika forto, povas elteni altan temperaturon kaj altan premon PECVD-medion.

▪Bona dimensia stabileco:malgranda dimensia ŝanĝo ĉe alta temperaturo, certigante procezan stabilecon.

▪Bonega varmokondukteco:efike transdonas varmon por malhelpi trovarmiĝon de la oblato.

▪Forta korodrezisto:povas rezisti erozion per diversaj korodaj gasoj kaj plasmo.

▪Personigita servo:Grafitaj subtentabloj de malsamaj grandecoj kaj formoj povas esti adaptitaj laŭ la bezonoj de la kliento.

Produktaj Avantaĝoj

▪Plibonigi la filmkvaliton:Certigu unuforman filmdemetadon kaj plibonigu la filmkvaliton.

▪Plilongigi la vivdaŭron de ekipaĵo:Bonega korodrezisto, plilongigas la servodaŭron de PECVD-ekipaĵo.

▪Malpliigi produktokostojn:Altkvalitaj grafitaj pletoj povas redukti ruboftecon kaj redukti produktokostojn.

Grafita materialo de SGL:

Tipa parametro: R6510
Indekso	Testnormo	Valoro	Unuo
Meza grengrandeco	ISO 13320	10	μm
Groca denseco	DIN IEC 60413/204	1.83	g/cm³³
Malferma poreco	DIN66133	10	%
Meza porgrandeco	DIN66133	1.8	μm
Permeablo	DIN 51935	0.06	cm²/s
Rockwell-malmoleco HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Specifa elektra rezisteco	DIN IEC 60413/402	13	μΩm
Fleksforto	DIN IEC 60413/501	60	MPa
Kunprema forto	DIN 51910	130	MPa
Modulo de Young	DIN 51915	11.5×10³	MPa
Termika ekspansio (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Termika konduktiveco (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ĝi estas specife desegnita por alt-efikeca fabrikado de sunĉeloj, subtenante la prilaboradon de grand-grandaj oblatoj G12. Optimumigita dezajno de portanto signife pliigas la trairon, ebligante pli altajn rendimentojn kaj pli malaltajn produktokostojn.

Ero	Tipo	Numero-oblato-portanto
PEVCD Grephite-boato - La serio 156	156-13 grefita boato	144
	156-19 grefita boato	216
	156-21 grefita boato	240
	156-23 grafita boato	308
PEVCD Grephite-boato - La 125-serio	125-15 grefita boato	196
	125-19 grefita boato	252
	125-21 grafita boato	280