VET Energy držač grafitne podloge je precizni nosač dizajniran za PECVD (plazma Enhanced Chemical Vapor Deposition) proces. Ovaj visokokvalitetni držač grafitne podloge izrađen je od grafitnog materijala visoke čistoće i gustoće, s izvrsnom otpornošću na visoke temperature, otpornosti na koroziju, dimenzijske stabilnosti i drugim karakteristikama. Može pružiti stabilnu potpornu platformu za PECVD proces i osigurati ujednačenost i ravnost nanošenja filma.
VET Energy PECVD procesni stol za podršku grafitnih pločica ima sljedeće karakteristike:
▪Visoka čistoća:izuzetno nizak sadržaj nečistoća, izbjegavanje kontaminacije filma, osiguranje kvalitete filma.
▪Visoka gustoća:visoke gustoće, visoke mehaničke čvrstoće, može izdržati visoke temperature i visoki tlak PECVD okruženja.
▪Dobra dimenzijska stabilnost:mala promjena dimenzija na visokoj temperaturi, što osigurava stabilnost procesa.
▪Izvrsna toplinska vodljivost:učinkovito prenose toplinu kako bi spriječili pregrijavanje pločice.
▪Jaka otpornost na koroziju:može odoljeti eroziji uzrokovanoj raznim korozivnim plinovima i plazmom.
▪Prilagođena usluga:Grafitni potporni stolovi različitih veličina i oblika mogu se prilagoditi potrebama kupaca.
Prednosti proizvoda
▪Poboljšajte kvalitetu filma:Osigurajte ravnomjerno nanošenje filma i poboljšajte kvalitetu filma.
▪Produžite vijek trajanja opreme:Izvrsna otpornost na koroziju, produžava vijek trajanja PECVD opreme.
▪Smanjite troškove proizvodnje:Visokokvalitetne grafitne posude mogu smanjiti stopu otpada i smanjiti troškove proizvodnje.
Grafitni materijal od SGL-a:
| Tipični parametar: R6510 | |||
| Indeks | Standard ispitivanja | Vrijednost | Jedinica |
| Prosječna veličina zrna | ISO 13320 | 10 | μm |
| Gustoća nasipnog materijala | DIN IEC 60413/204 | 1,83 | g/cm3 |
| Otvorena poroznost | DIN66133 | 10 | % |
| Srednja veličina pora | DIN66133 | 1,8 | μm |
| Propusnost | DIN 51935 | 0,06 | cm²/s |
| Tvrdoća po Rockwellu HR5/100 | DIN IEC60413/303 | 90 | HR |
| Specifični električni otpor | DIN IEC 60413/402 | 13 | μΩm |
| Fleksibilna čvrstoća | DIN IEC 60413/501 | 60 | MPa |
| Tlačna čvrstoća | DIN 51910 | 130 | MPa |
| Youngov modul | DIN 51915 | 11,5 × 10³ | MPa |
| Toplinsko širenje (20-200℃) | DIN 51909 | 4,2 x 10-6 | K-1 |
| Toplinska vodljivost (20℃) | DIN 51908 | 105 | Wm-1K-1 |
Posebno je dizajniran za visokoučinkovitu proizvodnju solarnih ćelija, podržavajući obradu velikih G12 pločica. Optimizirani dizajn nosača značajno povećava protok, omogućujući veće stope prinosa i niže troškove proizvodnje.
| Artikal | Tip | Nosač pločice s brojem |
| PEVCD Grephite brod - Serija 156 | 156-13 gramofnasti brod | 144 |
| 156-19 grafitni brod | 216 | |
| 156-21 gramozna čamac | 240 | |
| 156-23 grafitni čamac | 308 | |
| PEVCD Grephite brod - Serija 125 | 125-15 gramozna čamac | 196 |
| 125-19 gramozna čamac | 252 | |
| 125-21 grafitni brod | 280 |
