PECVD үшін графит субстрат пластинасын ұстағыш

PECVD үшін графит субстрат пластина ұстағышы Таңдаулы сурет

Қысқаша сипаттама:

VET Energy компаниясының графит негізін ұстағышы PECVD процесінде пластиналардың туралануын және тұрақтылығын сақтау, ластанудың алдын алу және зақымдану қаупін азайту үшін жасалған. Графит пластинасын ұстағыш қауіпсіз, біркелкі платформаны қамтамасыз етеді, бұл пластиналардың плазмаға біркелкі әсер етуін қамтамасыз етеді, бұл тұрақты және жоғары сапалы тұндыру үшін қажет. Жоғары жылу өткізгіштігі мен ерекше беріктігінің арқасында бұл ұстағыш жалпы процестің тиімділігі мен өнімнің өнімділігін жақсартуға көмектеседі.

Бізге электрондық пошта жіберіңіз PDF форматында жүктеп алу

Өнімнің егжей-тегжейі

Өнім тегтері

VET Energy графит субстрат пластина ұстағышы - PECVD (плазмалық күшейтілген химиялық бу тұндыру) процесіне арналған дәлдіктегі тасымалдаушы. Бұл жоғары сапалы графит субстрат ұстағышы жоғары тазалықтағы, жоғары тығыздықтағы графит материалынан жасалған, жоғары температураға төзімділікке, коррозияға төзімділікке, өлшемдік тұрақтылыққа және басқа да сипаттамаларға ие. Ол PECVD процесі үшін тұрақты тірек платформасын қамтамасыз ете алады және пленка тұндыруының біркелкілігі мен жазықтығын қамтамасыз ете алады.

VET Energy PECVD процесінің графит пластинасын тіреу үстелі келесі сипаттамаларға ие:

▪Жоғары тазалық:қоспаның өте төмен мөлшері, пленканың ластануын болдырмайды, пленка сапасын қамтамасыз етеді.

▪Жоғары тығыздық:жоғары тығыздық, жоғары механикалық беріктік, жоғары температура мен жоғары қысымды PECVD ортасына төтеп бере алады.

▪Жақсы өлшемдік тұрақтылық:жоғары температурада шағын өлшемді өзгеріс, бұл процестің тұрақтылығын қамтамасыз етеді.

▪Жылу өткізгіштігі өте жақсы:пластинаның қызып кетуіне жол бермеу үшін жылуды тиімді түрде тасымалдайды.

▪Коррозияға төзімділігі жоғары:әртүрлі коррозиялық газдар мен плазма эрозиясына төтеп бере алады.

▪Жекешелендірілген қызмет:Әртүрлі өлшемдегі және пішіндегі графит тірек үстелдерін тұтынушының қажеттіліктеріне сәйкес реттеуге болады.

Өнімнің артықшылықтары

▪Фильм сапасын жақсарту:Біркелкі пленка түсіруді қамтамасыз ету және пленка сапасын жақсарту.

▪Жабдықтың қызмет ету мерзімін ұзарту:Коррозияға төзімділігі жоғары, PECVD жабдықтарының қызмет ету мерзімін ұзартады.

▪Өндіріс шығындарын азайту:Жоғары сапалы графит науалары қалдықтардың мөлшерін азайтып, өндіріс шығындарын азайта алады.

SGL графит материалы:

Типтік параметр: R6510
Индекс	Сынақ стандарты	Құндылық	Бірлік
Орташа дән мөлшері	ISO 13320	10	мкм
Көлемдік тығыздық	DIN IEC 60413/204	1.83	г/см³
Ашық кеуектілік	DIN66133	10	%
Орташа тесік өлшемі	DIN66133	1.8	мкм
Өткізгіштік	DIN 51935	0,06	см²/с
Роквелл қаттылығы HR5/100	DIN IEC60413/303	90	HR
Меншікті электрлік кедергі	DIN IEC 60413/402	13	мкОм
Иілу күші	DIN IEC 60413/501	60	МПа
Қысым күші	DIN 51910	130	МПа
Янг модулі	DIN 51915	11,5×10³	МПа
Термиялық кеңею (20-200℃)	DIN 51909	4.2X10^-6	K^-1
Жылу өткізгіштік (20℃)	DIN 51908	105	Wm^-1K^-1

Ол G12 үлкен өлшемді пластиналарды өңдеуді қолдайтын жоғары тиімді күн батареяларын өндіру үшін арнайы жасалған. Оңтайландырылған тасымалдаушы дизайны өткізу қабілеттілігін айтарлықтай арттырады, бұл өнімділіктің жоғары деңгейіне және өндіріс шығындарының төмендеуіне мүмкіндік береді.

Тауар	Түрі	Нөмірлік пластина тасымалдаушысы
PEVCD Grephite қайығы - 156 сериясы	156-13 грифит қайығы	144
	156-19 грефит қайығы	216
	156-21 грифит қайығы	240
	156-23 графит қайығы	308
PEVCD Grephite қайығы - 125 сериясы	125-15 грифит қайығы	196
	125-19 грифит қайығы	252
	125-21 грфит қайығы	280