PECVD માટે ગ્રેફાઇટ સબસ્ટ્રેટ વેફર હોલ્ડર

VET એનર્જી ગ્રેફાઇટ સબસ્ટ્રેટ વેફર હોલ્ડર એ PECVD (પ્લાઝ્મા એન્હાન્સ્ડ કેમિકલ વેપર ડિપોઝિશન) પ્રક્રિયા માટે રચાયેલ એક ચોકસાઇ વાહક છે. આ ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળા ગ્રેફાઇટ સબસ્ટ્રેટ હોલ્ડર ઉચ્ચ-શુદ્ધતા, ઉચ્ચ-ઘનતાવાળા ગ્રેફાઇટ સામગ્રીથી બનેલું છે, જેમાં ઉત્તમ ઉચ્ચ તાપમાન પ્રતિકાર, કાટ પ્રતિકાર, પરિમાણીય સ્થિરતા અને અન્ય લાક્ષણિકતાઓ છે. તે PECVD પ્રક્રિયા માટે સ્થિર સપોર્ટ પ્લેટફોર્મ પૂરું પાડી શકે છે અને ફિલ્મ ડિપોઝિશનની એકરૂપતા અને સપાટતા સુનિશ્ચિત કરી શકે છે.

VET એનર્જી PECVD પ્રોસેસ ગ્રેફાઇટ વેફર સપોર્ટ ટેબલમાં નીચેની લાક્ષણિકતાઓ છે:

▪ઉચ્ચ શુદ્ધતા:અત્યંત ઓછી અશુદ્ધિ સામગ્રી, ફિલ્મના દૂષણને ટાળો, ફિલ્મની ગુણવત્તા સુનિશ્ચિત કરો.

▪ઉચ્ચ ઘનતા:ઉચ્ચ ઘનતા, ઉચ્ચ યાંત્રિક શક્તિ, ઉચ્ચ તાપમાન અને ઉચ્ચ દબાણ PECVD વાતાવરણનો સામનો કરી શકે છે.

▪સારી પરિમાણીય સ્થિરતા:ઊંચા તાપમાને નાના પરિમાણીય ફેરફાર, પ્રક્રિયા સ્થિરતા સુનિશ્ચિત કરે છે.

▪ઉત્તમ થર્મલ વાહકતા:વેફરને વધુ ગરમ થવાથી બચાવવા માટે અસરકારક રીતે ગરમીનું સ્થાનાંતરણ કરો.

▪મજબૂત કાટ પ્રતિકાર:વિવિધ કાટ લાગતા વાયુઓ અને પ્લાઝ્મા દ્વારા ધોવાણનો પ્રતિકાર કરી શકે છે.

▪કસ્ટમાઇઝ્ડ સેવા:વિવિધ કદ અને આકારના ગ્રેફાઇટ સપોર્ટ ટેબલ ગ્રાહકની જરૂરિયાતો અનુસાર કસ્ટમાઇઝ કરી શકાય છે.

ઉત્પાદનના ફાયદા

▪ફિલ્મની ગુણવત્તામાં સુધારો:ફિલ્મનું એકસમાન નિક્ષેપણ સુનિશ્ચિત કરો અને ફિલ્મની ગુણવત્તામાં સુધારો કરો.

▪સાધનોનું આયુષ્ય વધારવું:ઉત્તમ કાટ પ્રતિકાર, PECVD સાધનોની સેવા જીવન લંબાવે છે.

▪ઉત્પાદન ખર્ચ ઘટાડો:ઉચ્ચ-ગુણવત્તાવાળી ગ્રેફાઇટ ટ્રે સ્ક્રેપ રેટ ઘટાડી શકે છે અને ઉત્પાદન ખર્ચ ઘટાડી શકે છે.